ನೀಲಮಣಿ ವೇಫರ್ ಮತ್ತು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ವಿಂಡೋ ಉತ್ಪಾದನೆಗಾಗಿ ನೀಲಮಣಿ ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಕುಲುಮೆ KY ಕೈರೊಪೌಲೋಸ್ ವಿಧಾನ
ಕೆಲಸದ ತತ್ವ
KY ವಿಧಾನದ ಮೂಲ ತತ್ವವೆಂದರೆ 2050°C ನಲ್ಲಿ ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್/ಮಾಲಿಬ್ಡಿನಮ್ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ನಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ Al₂O₃ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಕರಗಿಸುವುದು. α-Al₂O₃ ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕಗಳ ದಿಕ್ಕಿನ ಬೆಳವಣಿಗೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಬೀಜದ ಸ್ಫಟಿಕವನ್ನು ಕರಗುವಿಕೆಗೆ ಇಳಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ನಂತರ ನಿಯಂತ್ರಿತ ಹಿಂತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳುವಿಕೆ (0.5–10 mm/h) ಮತ್ತು ತಿರುಗುವಿಕೆ (0.5–20 rpm) ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. ಪ್ರಮುಖ ಲಕ್ಷಣಗಳು:
• ದೊಡ್ಡ ಆಯಾಮದ ಹರಳುಗಳು (ಗರಿಷ್ಠ Φ400 ಮಿಮೀ × 500 ಮಿಮೀ)
• ಕಡಿಮೆ-ಒತ್ತಡದ ಆಪ್ಟಿಕಲ್-ದರ್ಜೆಯ ನೀಲಮಣಿ (ತರಂಗಮುಖ ಅಸ್ಪಷ್ಟತೆ <λ/8 @ 633 nm)
• ಡೋಪ್ ಮಾಡಿದ ಹರಳುಗಳು (ಉದಾ. ನಕ್ಷತ್ರ ನೀಲಮಣಿಗೆ Ti³⁰ ಡೋಪಿಂಗ್)
ಕೋರ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಘಟಕಗಳು
1. ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನ ಕರಗುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆ
• ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್-ಮಾಲಿಬ್ಡಿನಮ್ ಸಂಯೋಜಿತ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ (ಗರಿಷ್ಠ ತಾಪಮಾನ 2300°C)
• ಬಹು-ವಲಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಹೀಟರ್ (±0.5°C ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣ)
2. ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ವ್ಯವಸ್ಥೆ
• ಸರ್ವೋ-ಚಾಲಿತ ಎಳೆಯುವ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನ (± 0.01 ಮಿಮೀ ನಿಖರತೆ)
• ಕಾಂತೀಯ ದ್ರವ ರೋಟರಿ ಸೀಲ್ (0–30 rpm ಸ್ಟೆಪ್ಲೆಸ್ ವೇಗ ನಿಯಂತ್ರಣ)
3. ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರ ನಿಯಂತ್ರಣ
• 5-ವಲಯ ಸ್ವತಂತ್ರ ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣ (1800–2200°C)
• ಹೊಂದಿಸಬಹುದಾದ ಶಾಖ ಶೀಲ್ಡ್ (±2°C/ಸೆಂ.ಮೀ. ಗ್ರೇಡಿಯಂಟ್)
• ನಿರ್ವಾತ ಮತ್ತು ವಾತಾವರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆ
• 10⁻⁴ Pa ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ
• Ar/N₂/H₂ ಮಿಶ್ರ ಅನಿಲ ನಿಯಂತ್ರಣ
4. ಬುದ್ಧಿವಂತ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ
• ಸಿಸಿಡಿ ನೈಜ-ಸಮಯದ ಸ್ಫಟಿಕ ವ್ಯಾಸದ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ
• ಬಹು-ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರಲ್ ಕರಗುವ ಮಟ್ಟದ ಪತ್ತೆ
KY vs. CZ ವಿಧಾನ ಹೋಲಿಕೆ
ನಿಯತಾಂಕ | KY ವಿಧಾನ | CZ ವಿಧಾನ |
ಗರಿಷ್ಠ ಸ್ಫಟಿಕ ಗಾತ್ರ | Φ400 ಮಿಮೀ | Φ200 ಮಿ.ಮೀ. |
ಬೆಳವಣಿಗೆ ದರ | 5–15 ಮಿ.ಮೀ/ಗಂಟೆಗೆ | 20–50 ಮಿ.ಮೀ/ಗಂಟೆಗೆ |
ದೋಷ ಸಾಂದ್ರತೆ | <100/ಸೆಂ² | 500–1000/ಸೆಂ² |
ಶಕ್ತಿಯ ಬಳಕೆ | 80–120 ಕಿ.ವ್ಯಾ.ಗಂ/ಕೆ.ಜಿ. | 50–80 ಕಿ.ವ್ಯಾ.ಗಂ/ಕೆ.ಜಿ. |
ವಿಶಿಷ್ಟ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳು | ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಕಿಟಕಿಗಳು/ದೊಡ್ಡ ವೇಫರ್ಗಳು | ಎಲ್ಇಡಿ ತಲಾಧಾರಗಳು/ಆಭರಣಗಳು |
ಪ್ರಮುಖ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳು
1. ಆಪ್ಟೊಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಂಡೋಸ್
• ಮಿಲಿಟರಿ ಐಆರ್ ಗುಮ್ಮಟಗಳು (ಪ್ರಸರಣ >85%@3–5 μm)
• UV ಲೇಸರ್ ಕಿಟಕಿಗಳು (200 W/cm² ವಿದ್ಯುತ್ ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಬಲ್ಲವು)
2. ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಲಾಧಾರಗಳು
• GaN ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ವೇಫರ್ಗಳು (2–8 ಇಂಚು, TTV <10 μm)
• SOI ತಲಾಧಾರಗಳು (ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ <0.2 nm)
3. ಗ್ರಾಹಕ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್
• ಸ್ಮಾರ್ಟ್ಫೋನ್ ಕ್ಯಾಮೆರಾ ಕವರ್ ಗ್ಲಾಸ್ (ಮೊಹ್ಸ್ ಗಡಸುತನ 9)
• ಸ್ಮಾರ್ಟ್ವಾಚ್ ಡಿಸ್ಪ್ಲೇಗಳು (10× ಸ್ಕ್ರಾಚ್ ರೆಸಿಸ್ಟೆನ್ಸ್ ಸುಧಾರಣೆ)
4. ವಿಶೇಷ ಸಾಮಗ್ರಿಗಳು
• ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಐಆರ್ ದೃಗ್ವಿಜ್ಞಾನ (ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವ ಗುಣಾಂಕ <10⁻³ ಸೆಂ⁻¹)
• ಪರಮಾಣು ರಿಯಾಕ್ಟರ್ ವೀಕ್ಷಣಾ ಕಿಟಕಿಗಳು (ವಿಕಿರಣ ಸಹಿಷ್ಣುತೆ: 10¹⁶ n/cm²)
ಕೈರೋಪೌಲೋಸ್ (KY) ನೀಲಮಣಿ ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಪ್ರಯೋಜನಗಳು
ಕೈರೋಪೌಲೋಸ್ (KY) ವಿಧಾನ ಆಧಾರಿತ ನೀಲಮಣಿ ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಉಪಕರಣವು ಸಾಟಿಯಿಲ್ಲದ ತಾಂತ್ರಿಕ ಪ್ರಯೋಜನಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ, ಕೈಗಾರಿಕಾ-ಪ್ರಮಾಣದ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ಪರಿಹಾರವಾಗಿ ಇದನ್ನು ಸ್ಥಾನೀಕರಿಸುತ್ತದೆ. ಪ್ರಮುಖ ಪ್ರಯೋಜನಗಳಲ್ಲಿ ಇವು ಸೇರಿವೆ:
1. ದೊಡ್ಡ ವ್ಯಾಸದ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ: 12 ಇಂಚುಗಳಷ್ಟು (300 ಮಿಮೀ) ವ್ಯಾಸದವರೆಗೆ ನೀಲಮಣಿ ಹರಳುಗಳನ್ನು ಬೆಳೆಯುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ, GaN ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ ಮತ್ತು ಮಿಲಿಟರಿ ದರ್ಜೆಯ ಕಿಟಕಿಗಳಂತಹ ಮುಂದುವರಿದ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ವೇಫರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳ ಹೆಚ್ಚಿನ ಇಳುವರಿ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
2. ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಲೋ ಡಿಫೆಕ್ಟ್ ಡೆನ್ಸಿಟಿ: ಆಪ್ಟಿಮೈಸ್ಡ್ ಥರ್ಮಲ್ ಫೀಲ್ಡ್ ವಿನ್ಯಾಸ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ತಾಪಮಾನ ಗ್ರೇಡಿಯಂಟ್ ನಿಯಂತ್ರಣದ ಮೂಲಕ ಡಿಸ್ಲೊಕೇಶನ್ ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು <100/cm² ಸಾಧಿಸುತ್ತದೆ, ಆಪ್ಟೊಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ಉನ್ನತ ಸ್ಫಟಿಕ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
3. ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ: ಗೋಚರ ಅತಿಗೆಂಪು ವರ್ಣಪಟಲಕ್ಕೆ (400–5500 nm) 85% ರಷ್ಟು ಪ್ರಸರಣವನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ, ಇದು UV ಲೇಸರ್ ಕಿಟಕಿಗಳು ಮತ್ತು ಅತಿಗೆಂಪು ದೃಗ್ವಿಜ್ಞಾನಕ್ಕೆ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ.
4. ಸುಧಾರಿತ ಯಾಂತ್ರೀಕರಣ: ಸರ್ವೋ-ಚಾಲಿತ ಎಳೆಯುವ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನಗಳು (± 0.01 ಮಿಮೀ ನಿಖರತೆ) ಮತ್ತು ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟಿಕ್ ದ್ರವ ರೋಟರಿ ಸೀಲ್ಗಳು (0–30 ಆರ್ಪಿಎಂ ಸ್ಟೆಪ್ಲೆಸ್ ನಿಯಂತ್ರಣ) ಒಳಗೊಂಡಿವೆ, ಇದು ಮಾನವ ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ.
5. ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಡೋಪಿಂಗ್ ಆಯ್ಕೆಗಳು: Cr³⁰ (ಮಾಣಿಕ್ಯಕ್ಕಾಗಿ) ಮತ್ತು Ti³⁰ (ನಕ್ಷತ್ರ ನೀಲಮಣಿಗಾಗಿ) ನಂತಹ ಡೋಪಂಟ್ಗಳೊಂದಿಗೆ ಕಸ್ಟಮೈಸೇಶನ್ ಅನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ, ಆಪ್ಟೊಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು ಆಭರಣಗಳಲ್ಲಿ ಸ್ಥಾಪಿತ ಮಾರುಕಟ್ಟೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ.
6. ಶಕ್ತಿ ದಕ್ಷತೆ: ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ನಿರೋಧನ (ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್-ಮಾಲಿಬ್ಡಿನಮ್ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್) ಶಕ್ತಿಯ ಬಳಕೆಯನ್ನು 80–120 kWh/kg ಗೆ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಪರ್ಯಾಯ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ವಿಧಾನಗಳೊಂದಿಗೆ ಸ್ಪರ್ಧಾತ್ಮಕವಾಗಿರುತ್ತದೆ.
7. ಸ್ಕೇಲೆಬಲ್ ಉತ್ಪಾದನೆ: 200 ಕ್ಕೂ ಹೆಚ್ಚು ಜಾಗತಿಕ ಸ್ಥಾಪನೆಗಳಿಂದ ಮೌಲ್ಯೀಕರಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ತ್ವರಿತ ಸೈಕಲ್ ಸಮಯಗಳೊಂದಿಗೆ (30–40 ಕೆಜಿ ಸ್ಫಟಿಕಗಳಿಗೆ 8–10 ದಿನಗಳು) 5,000+ ವೇಫರ್ಗಳ ಮಾಸಿಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸುತ್ತದೆ.
8. ಮಿಲಿಟರಿ ದರ್ಜೆಯ ಬಾಳಿಕೆ: ವಿಕಿರಣ-ನಿರೋಧಕ ವಿನ್ಯಾಸಗಳು ಮತ್ತು ಶಾಖ-ನಿರೋಧಕ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು (10¹⁶ n/cm² ತಡೆದುಕೊಳ್ಳುವ) ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಬಾಹ್ಯಾಕಾಶ ಮತ್ತು ಪರಮಾಣು ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ಅಗತ್ಯವಾಗಿರುತ್ತದೆ.
ಈ ನಾವೀನ್ಯತೆಗಳು ಉನ್ನತ-ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ನೀಲಮಣಿ ಹರಳುಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಲು, 5G ಸಂವಹನಗಳು, ಕ್ವಾಂಟಮ್ ಕಂಪ್ಯೂಟಿಂಗ್ ಮತ್ತು ರಕ್ಷಣಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳಲ್ಲಿ ಪ್ರಗತಿಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು KY ವಿಧಾನವನ್ನು ಚಿನ್ನದ ಮಾನದಂಡವಾಗಿ ಗಟ್ಟಿಗೊಳಿಸುತ್ತವೆ.
ಎಕ್ಸ್.ಕೆ.ಹೆಚ್. ಸರ್ವಿಸೆಸ್
XKH ನೀಲಮಣಿ ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಿಗೆ ಸಮಗ್ರ ಟರ್ನ್ಕೀ ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ, ಅನುಸ್ಥಾಪನೆಯನ್ನು ಒಳಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಆಪ್ಟಿಮೈಸೇಶನ್ ಮತ್ತು ಸಿಬ್ಬಂದಿ ತರಬೇತಿಯನ್ನು ತಡೆರಹಿತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಏಕೀಕರಣವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ವೈವಿಧ್ಯಮಯ ಕೈಗಾರಿಕಾ ಅಗತ್ಯಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ನಾವು ಪೂರ್ವ-ಮೌಲ್ಯಮಾಪನಗೊಂಡ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಪಾಕವಿಧಾನಗಳನ್ನು (50+) ತಲುಪಿಸುತ್ತೇವೆ, ಕ್ಲೈಂಟ್ಗಳಿಗೆ R&D ಸಮಯವನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತೇವೆ. ವಿಶೇಷ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗಾಗಿ, ಕಸ್ಟಮ್ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಸೇವೆಗಳು ಕುಹರದ ಗ್ರಾಹಕೀಕರಣವನ್ನು (Φ200–400 mm) ಮತ್ತು ಸುಧಾರಿತ ಡೋಪಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳನ್ನು (Cr/Ti/Ni) ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತವೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳು ಮತ್ತು ವಿಕಿರಣ-ನಿರೋಧಕ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ.
ಮೌಲ್ಯವರ್ಧಿತ ಸೇವೆಗಳಲ್ಲಿ ಸ್ಲೈಸಿಂಗ್, ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ನಂತಹ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ನಂತರದ ಸಂಸ್ಕರಣೆ ಸೇರಿವೆ, ಜೊತೆಗೆ ವೇಫರ್ಗಳು, ಟ್ಯೂಬ್ಗಳು ಮತ್ತು ರತ್ನದ ಕಲ್ಲುಗಳಂತಹ ಪೂರ್ಣ ಶ್ರೇಣಿಯ ನೀಲಮಣಿ ಉತ್ಪನ್ನಗಳಿಂದ ಪೂರಕವಾಗಿದೆ. ಈ ಕೊಡುಗೆಗಳು ಗ್ರಾಹಕ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ನಿಂದ ಏರೋಸ್ಪೇಸ್ವರೆಗಿನ ವಲಯಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತವೆ. ನಮ್ಮ ತಾಂತ್ರಿಕ ಬೆಂಬಲವು 24-ತಿಂಗಳ ಖಾತರಿ ಮತ್ತು ನೈಜ-ಸಮಯದ ದೂರಸ್ಥ ರೋಗನಿರ್ಣಯವನ್ನು ಖಾತರಿಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಕನಿಷ್ಠ ಡೌನ್ಟೈಮ್ ಮತ್ತು ನಿರಂತರ ಉತ್ಪಾದನಾ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.


