8 ಇಂಚಿನ 200mm ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ SiC ವೇಫರ್ಸ್ 4H-N ಪ್ರಕಾರದ ಉತ್ಪಾದನಾ ದರ್ಜೆಯ 500um ದಪ್ಪ

ಸಣ್ಣ ವಿವರಣೆ:

ಶಾಂಘೈ Xinkehui ಟೆಕ್.Co., Ltd ಉತ್ತಮ-ಗುಣಮಟ್ಟದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ವೇಫರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು N- ಮತ್ತು ಅರೆ-ನಿರೋಧಕ ಪ್ರಕಾರಗಳೊಂದಿಗೆ 8 ಇಂಚಿನ ವ್ಯಾಸದವರೆಗಿನ ಸಬ್‌ಸ್ಟ್ರೇಟ್‌ಗಳಿಗೆ ಉತ್ತಮ ಆಯ್ಕೆ ಮತ್ತು ಬೆಲೆಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ.ಸಣ್ಣ ಮತ್ತು ದೊಡ್ಡ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸಾಧನ ಕಂಪನಿಗಳು ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾದ್ಯಂತ ಸಂಶೋಧನಾ ಪ್ರಯೋಗಾಲಯಗಳು ನಮ್ಮ ಸಿಲಿಕೋನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಅವಲಂಬಿಸಿವೆ.

ನಮಗೆ ಇಮೇಲ್ ಕಳುಹಿಸಿ

ಉತ್ಪನ್ನದ ವಿವರ

ಉತ್ಪನ್ನ ಟ್ಯಾಗ್ಗಳು

200mm 8inch SiC ಸಬ್‌ಸ್ಟ್ರೇಟ್ ವಿವರಣೆ

ಗಾತ್ರ: 8 ಇಂಚು;

ವ್ಯಾಸ: 200mm ± 0.2;

ದಪ್ಪ: 500um±25;

ಮೇಲ್ಮೈ ದೃಷ್ಟಿಕೋನ: 4 ಕಡೆಗೆ [11-20]±0.5°;

ನಾಚ್ ಓರಿಯಂಟೇಶನ್:[1-100]±1°;

ನಾಚ್ ಆಳ: 1 ± 0.25mm;

ಮೈಕ್ರೊಪೈಪ್: <1cm2;

ಹೆಕ್ಸ್ ಪ್ಲೇಟ್‌ಗಳು: ಯಾವುದನ್ನೂ ಅನುಮತಿಸಲಾಗಿಲ್ಲ;

ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆ: 0.015~0.028Ω;

EPD:<8000cm2;

TED:<6000cm2

BPD:<2000cm2

TSD:<1000cm2

SF: ಪ್ರದೇಶ<1%

TTV≤15um;

ವಾರ್ಪ್≤40um;

ಬಿಲ್ಲು≤25um;

ಪಾಲಿ ಪ್ರದೇಶಗಳು: ≤5%;

ಸ್ಕ್ರಾಚ್: <5 ಮತ್ತು ಸಂಚಿತ ಉದ್ದ< 1 ವೇಫರ್ ವ್ಯಾಸ;

ಚಿಪ್ಸ್/ಇಂಡೆಂಟ್‌ಗಳು: ಯಾವುದೂ ಅನುಮತಿಸುವುದಿಲ್ಲ D>0.5mm ಅಗಲ ಮತ್ತು ಆಳ;

ಬಿರುಕುಗಳು: ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ;

ಸ್ಟೇನ್: ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ

ವೇಫರ್ ಅಂಚು: ಚೇಂಫರ್;

ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ: ಡಬಲ್ ಸೈಡ್ ಪೋಲಿಷ್, ಸಿ ಫೇಸ್ CMP;

ಪ್ಯಾಕಿಂಗ್: ಮಲ್ಟಿ-ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ಅಥವಾ ಸಿಂಗಲ್ ವೇಫರ್ ಕಂಟೈನರ್;

200mm 4H-SiC ಸ್ಫಟಿಕಗಳ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಪ್ರಸ್ತುತ ತೊಂದರೆಗಳು ಮೈನ್ಲ್

1) ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ 200mm 4H-SiC ಬೀಜ ಹರಳುಗಳ ತಯಾರಿಕೆ;

2) ದೊಡ್ಡ ಗಾತ್ರದ ತಾಪಮಾನ ಕ್ಷೇತ್ರ ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ನ್ಯೂಕ್ಲಿಯೇಶನ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿಯಂತ್ರಣ;

3) ಬೃಹತ್ ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಅನಿಲ ಘಟಕಗಳ ಸಾರಿಗೆ ದಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ವಿಕಸನ;

4) ದೊಡ್ಡ ಗಾತ್ರದ ಉಷ್ಣ ಒತ್ತಡದ ಹೆಚ್ಚಳದಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಸ್ಫಟಿಕ ಬಿರುಕು ಮತ್ತು ದೋಷದ ಪ್ರಸರಣ.

ಈ ಸವಾಲುಗಳನ್ನು ಜಯಿಸಲು ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ 200mm SiC ವೇಫರ್ಸ್ಸೊಲ್ಯೂಷನ್‌ಗಳನ್ನು ಪಡೆಯಲು ಪ್ರಸ್ತಾಪಿಸಲಾಗಿದೆ:

200 ಮಿಮೀ ಬೀಜದ ಸ್ಫಟಿಕ ತಯಾರಿಕೆ, ಸೂಕ್ತವಾದ ತಾಪಮಾನ ಕ್ಷೇತ್ರ ಹರಿವಿನ ಕ್ಷೇತ್ರ ಮತ್ತು ವಿಸ್ತರಿಸುವ ಜೋಡಣೆಯ ಪರಿಭಾಷೆಯಲ್ಲಿ ಸ್ಫಟಿಕದ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ವಿಸ್ತರಿಸುವ ಗಾತ್ರವನ್ನು ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳಲು ಅಧ್ಯಯನ ಮತ್ತು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ;150mm SiC se:d ಸ್ಫಟಿಕದಿಂದ ಪ್ರಾರಂಭಿಸಿ, 200mm ತಲುಪುವವರೆಗೆ SiC ಸ್ಫಟಿಕೀಕರಣವನ್ನು ಕ್ರಮೇಣ ವಿಸ್ತರಿಸಲು ಬೀಜ ಸ್ಫಟಿಕ ಪುನರಾವರ್ತನೆಯನ್ನು ಕೈಗೊಳ್ಳಿ;ಬಹು ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಮೂಲಕ, ಸ್ಫಟಿಕ ವಿಸ್ತರಿಸುವ ಪ್ರದೇಶದಲ್ಲಿ ಸ್ಫಟಿಕದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಕ್ರಮೇಣ ಉತ್ತಮಗೊಳಿಸಿ ಮತ್ತು 200 ಮಿಮೀ ಬೀಜ ಹರಳುಗಳ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಿ.

200mm ವಾಹಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರದ ತಯಾರಿಕೆಯ ವಿಷಯದಲ್ಲಿ, ಸಂಶೋಧನೆಯು ದೊಡ್ಡ ಗಾತ್ರದ ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಗೆ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಹರಿವಿನ ಕ್ಷೇತ್ರದ ವಿನ್ಯಾಸವನ್ನು ಹೊಂದುವಂತೆ ಮಾಡಿದೆ, 200mm ವಾಹಕ SiC ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯನ್ನು ನಡೆಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಡೋಪಿಂಗ್ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸುತ್ತದೆ.ಸ್ಫಟಿಕದ ಒರಟು ಸಂಸ್ಕರಣೆ ಮತ್ತು ಆಕಾರದ ನಂತರ, ಪ್ರಮಾಣಿತ ವ್ಯಾಸವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ 8-ಇನ್ಚೆಕ್ಟ್ರಿಕಲಿ ವಾಹಕ 4H-SiC ಇಂಗೋಟ್ ಅನ್ನು ಪಡೆಯಲಾಯಿತು.525um ಅಥವಾ ಅದಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ದಪ್ಪವಿರುವ SiC 200mm ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಪಡೆಯಲು ಕತ್ತರಿಸಿದ, ರುಬ್ಬುವ, ಹೊಳಪು, ಸಂಸ್ಕರಿಸಿದ ನಂತರ