ಸಿಲಿಕಾನ್ ಡೈಆಕ್ಸೈಡ್ ವೇಫರ್ SiO2 ವೇಫರ್ ದಪ್ಪ ಪಾಲಿಶ್ಡ್, ಪ್ರೈಮ್ ಮತ್ತು ಟೆಸ್ಟ್ ಗ್ರೇಡ್

ಸಣ್ಣ ವಿವರಣೆ:

ಥರ್ಮಲ್ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣವು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಡೈಆಕ್ಸೈಡ್ (SiO2) ಪದರವನ್ನು ಮಾಡಲು ಆಕ್ಸಿಡೈಸಿಂಗ್ ಏಜೆಂಟ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಶಾಖದ ಸಂಯೋಜನೆಗೆ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಒಡ್ಡುವ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿದೆ. ನಮ್ಮ ಕಂಪನಿಯು ಗ್ರಾಹಕರಿಗೆ ವಿಭಿನ್ನ ನಿಯತಾಂಕಗಳೊಂದಿಗೆ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಡೈಆಕ್ಸೈಡ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಫ್ಲೇಕ್‌ಗಳನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದೊಂದಿಗೆ ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಬಹುದು;ಆಕ್ಸೈಡ್ ಪದರದ ದಪ್ಪ, ಸಾಂದ್ರತೆ, ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ಪ್ರತಿರೋಧಕ ಸ್ಫಟಿಕ ದೃಷ್ಟಿಕೋನವನ್ನು ರಾಷ್ಟ್ರೀಯ ಮಾನದಂಡಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಅಳವಡಿಸಲಾಗಿದೆ.

ನಮಗೆ ಇಮೇಲ್ ಕಳುಹಿಸಿ

ಉತ್ಪನ್ನದ ವಿವರ

ಉತ್ಪನ್ನ ಟ್ಯಾಗ್ಗಳು

ವೇಫರ್ ಬಾಕ್ಸ್ನ ಪರಿಚಯ

ಉತ್ಪನ್ನ	ಥರ್ಮಲ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ (Si+SiO2) ವೇಫರ್‌ಗಳು
ಉತ್ಪಾದನಾ ವಿಧಾನ	LPCVD
ಮೇಲ್ಮೈ ಹೊಳಪು	SSP/DSP
ವ್ಯಾಸ	2inch / 3inch / 4inch / 5inch/ 6inch
ಮಾದರಿ	ಪಿ ಟೈಪ್ / ಎನ್ ಟೈಪ್
ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಪದರದ ದಪ್ಪ	100nm ~ 1000nm
ದೃಷ್ಟಿಕೋನ	<100> <111>
ವಿದ್ಯುತ್ ಪ್ರತಿರೋಧ	0.001-25000(Ω•cm)
ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್	ಸಿಂಕ್ರೊಟ್ರಾನ್ ವಿಕಿರಣ ಮಾದರಿ ವಾಹಕಕ್ಕಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, PVD/CVD ಲೇಪನವನ್ನು ತಲಾಧಾರವಾಗಿ, ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಮಾದರಿ, XRD, SEM,ಪರಮಾಣು ಬಲ, ಅತಿಗೆಂಪು ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರೋಸ್ಕೋಪಿ, ಫ್ಲೋರೊಸೆನ್ಸ್ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರೋಸ್ಕೋಪಿ ಮತ್ತು ಇತರ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ ಪರೀಕ್ಷಾ ತಲಾಧಾರಗಳು, ಆಣ್ವಿಕ ಕಿರಣದ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ತಲಾಧಾರಗಳು, ಸ್ಫಟಿಕದ ಅರೆವಾಹಕಗಳ ಎಕ್ಸ್-ರೇ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ

ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ ವೇಫರ್‌ಗಳು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಡೈಆಕ್ಸೈಡ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಆಮ್ಲಜನಕ ಅಥವಾ ನೀರಿನ ಆವಿಯ ಮೂಲಕ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ (800 ° C~ 1150 ° C) ವಾತಾವರಣದ ಒತ್ತಡದ ಕುಲುಮೆಯ ಟ್ಯೂಬ್ ಉಪಕರಣಗಳೊಂದಿಗೆ ಉಷ್ಣ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಬೆಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ದಪ್ಪವು 50 ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್‌ಗಳಿಂದ 2 ಮೈಕ್ರಾನ್‌ಗಳವರೆಗೆ ಇರುತ್ತದೆ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಉಷ್ಣತೆಯು 1100 ಡಿಗ್ರಿ ಸೆಲ್ಸಿಯಸ್‌ವರೆಗೆ ಇರುತ್ತದೆ, ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ವಿಧಾನವನ್ನು "ಆರ್ದ್ರ ಆಮ್ಲಜನಕ" ಮತ್ತು "ಶುಷ್ಕ ಆಮ್ಲಜನಕ" ಎಂದು ಎರಡು ವಿಧಗಳಾಗಿ ವಿಂಗಡಿಸಲಾಗಿದೆ.ಥರ್ಮಲ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಒಂದು "ಬೆಳೆದ" ಆಕ್ಸೈಡ್ ಪದರವಾಗಿದೆ, ಇದು CVD ಠೇವಣಿ ಮಾಡಿದ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಪದರಗಳಿಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಏಕರೂಪತೆ, ಉತ್ತಮ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ, ಇದು ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ.

ಒಣ ಆಮ್ಲಜನಕ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ

ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆಮ್ಲಜನಕದೊಂದಿಗೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಆಕ್ಸೈಡ್ ಪದರವು ನಿರಂತರವಾಗಿ ತಲಾಧಾರದ ಪದರದ ಕಡೆಗೆ ಚಲಿಸುತ್ತದೆ.ಒಣ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣವನ್ನು 850 ರಿಂದ 1200 ° C ವರೆಗಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ನಿರ್ವಹಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ, ಕಡಿಮೆ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ದರಗಳೊಂದಿಗೆ, ಮತ್ತು MOS ಇನ್ಸುಲೇಟೆಡ್ ಗೇಟ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಗೆ ಬಳಸಬಹುದು.ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ, ಅಲ್ಟ್ರಾ-ತೆಳುವಾದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಪದರದ ಅಗತ್ಯವಿರುವಾಗ ಆರ್ದ್ರ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣಕ್ಕಿಂತ ಒಣ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣವನ್ನು ಆದ್ಯತೆ ನೀಡಲಾಗುತ್ತದೆ.ಒಣ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ: 15nm~300nm.

2. ಆರ್ದ್ರ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ

ಈ ವಿಧಾನವು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ ಕುಲುಮೆಯ ಟ್ಯೂಬ್ ಅನ್ನು ಪ್ರವೇಶಿಸುವ ಮೂಲಕ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಪದರವನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ನೀರಿನ ಆವಿಯನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ.ಆರ್ದ್ರ ಆಮ್ಲಜನಕದ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣದ ಸಾಂದ್ರತೆಯು ಒಣ ಆಮ್ಲಜನಕದ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣಕ್ಕಿಂತ ಸ್ವಲ್ಪ ಕೆಟ್ಟದಾಗಿದೆ, ಆದರೆ ಒಣ ಆಮ್ಲಜನಕದ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣಕ್ಕೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಅದರ ಪ್ರಯೋಜನವೆಂದರೆ ಅದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ದರವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಇದು 500nm ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಫಿಲ್ಮ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.ಆರ್ದ್ರ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ: 500nm~2µm.

AEMD ಯ ವಾತಾವರಣದ ಒತ್ತಡದ ಉತ್ಕರ್ಷಣ ಕುಲುಮೆಯ ಟ್ಯೂಬ್ ಝೆಕ್ ಸಮತಲವಾದ ಕುಲುಮೆಯ ಕೊಳವೆಯಾಗಿದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸ್ಥಿರತೆ, ಉತ್ತಮ ಫಿಲ್ಮ್ ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ಉನ್ನತ ಕಣ ನಿಯಂತ್ರಣದಿಂದ ನಿರೂಪಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ.ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಫರ್ನೇಸ್ ಟ್ಯೂಬ್ ಪ್ರತಿ ಟ್ಯೂಬ್‌ಗೆ 50 ವೇಫರ್‌ಗಳವರೆಗೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೊಳಿಸಬಹುದು, ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾದ ಒಳ- ಮತ್ತು ಅಂತರ-ವೇಫರ್‌ಗಳ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ.