4 ಇಂಚಿನ SiC ವೇಫರ್ಸ್ 6H ಸೆಮಿ-ಇನ್ಸುಲೇಟಿಂಗ್ SiC ಸಬ್‌ಸ್ಟ್ರೇಟ್‌ಗಳು ಪ್ರೈಮ್, ರಿಸರ್ಚ್ ಮತ್ತು ಡಮ್ಮಿ ಗ್ರೇಡ್

ಸಂಕ್ಷಿಪ್ತ ವಿವರಣೆ:

ಅರೆ-ನಿರೋಧಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸ್ಫಟಿಕದ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ನಂತರ ಕತ್ತರಿಸುವುದು, ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್, ಹೊಳಪು, ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಇತರ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದಿಂದ ಅರೆ-ನಿರೋಧಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ತಲಾಧಾರವು ರೂಪುಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಾಗಿ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುವ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಪದರ ಅಥವಾ ಬಹುಪದರದ ಸ್ಫಟಿಕ ಪದರವನ್ನು ಬೆಳೆಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ನಂತರ ಮೈಕ್ರೋವೇವ್ RF ಸಾಧನವನ್ನು ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ವಿನ್ಯಾಸ ಮತ್ತು ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುವ ಮೂಲಕ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. 2inch 3inch 4incgh 6inch 8 ಇಂಚಿನ ಕೈಗಾರಿಕಾ, ಸಂಶೋಧನೆ ಮತ್ತು ಪರೀಕ್ಷಾ ದರ್ಜೆಯ ಸೆಮಿ-ಇನ್ಸುಲೇಟೆಡ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸಿಂಗಲ್ ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಸಬ್‌ಸ್ಟ್ರೇಟ್‌ಗಳಾಗಿ ಲಭ್ಯವಿದೆ.


ಉತ್ಪನ್ನದ ವಿವರ

ಉತ್ಪನ್ನ ಟ್ಯಾಗ್ಗಳು

ಉತ್ಪನ್ನದ ನಿರ್ದಿಷ್ಟತೆ

ಗ್ರೇಡ್

ಶೂನ್ಯ MPD ಪ್ರೊಡಕ್ಷನ್ ಗ್ರೇಡ್ (Z ಗ್ರೇಡ್)

ಸ್ಟ್ಯಾಂಡರ್ಡ್ ಪ್ರೊಡಕ್ಷನ್ ಗ್ರೇಡ್(ಪಿ ಗ್ರೇಡ್)

ಡಮ್ಮಿ ಗ್ರೇಡ್ (ಡಿ ಗ್ರೇಡ್)

 
ವ್ಯಾಸ 99.5 mm~100.0 mm  
  4H-SI 500 μm ± 20 μm

500 μm±25 μm

 
ವೇಫರ್ ಓರಿಯಂಟೇಶನ್  

 

ಆಫ್ ಅಕ್ಷ : 4.0° ಕಡೆಗೆ< 1120 > ±0.5° 4H-N, ಆನ್ ಅಕ್ಷ : <0001>±0.5° 4H-SI ಗಾಗಿ

 
  4H-SI

≤1cm-2

≤5 ಸೆಂ-2

≤15 ಸೆಂ.ಮೀ-2

 
  4H-SI

≥1E9 Ω·cm

≥1E5 Ω·cm

 
ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಫ್ಲಾಟ್ ಓರಿಯಂಟೇಶನ್

{10-10} ±5.0°

 
ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಫ್ಲಾಟ್ ಉದ್ದ 32.5 ಮಿಮೀ ± 2.0 ಮಿಮೀ  
ಸೆಕೆಂಡರಿ ಫ್ಲಾಟ್ ಉದ್ದ 18.0 ಮಿಮೀ ± 2.0 ಮಿಮೀ  
ಸೆಕೆಂಡರಿ ಫ್ಲಾಟ್ ಓರಿಯಂಟೇಶನ್

ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮುಖ: 90 ° CW. ಪ್ರೈಮ್ ಫ್ಲಾಟ್ ± 5.0 ° ನಿಂದ

 
ಎಡ್ಜ್ ಹೊರಗಿಡುವಿಕೆ

3 ಮಿ.ಮೀ

 
LTV/TTV/Bow/Warp ≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm  
 

ಒರಟುತನ

ಸಿ ಮುಖ

    ಪೋಲಿಷ್ Ra≤1 nm

ಸಿ ಮುಖ

CMP Ra≤0.2 nm    

Ra≤0.5 nm

ಹೆಚ್ಚಿನ ತೀವ್ರತೆಯ ಬೆಳಕಿನಿಂದ ಎಡ್ಜ್ ಬಿರುಕುಗಳು

ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ

ಸಂಚಿತ ಉದ್ದ ≤ 10 ಮಿಮೀ, ಏಕ

ಉದ್ದ≤2 ಮಿಮೀ

 
ಹೆಚ್ಚಿನ ತೀವ್ರತೆಯ ಬೆಳಕಿನಿಂದ ಹೆಕ್ಸ್ ಪ್ಲೇಟ್‌ಗಳು ಸಂಚಿತ ಪ್ರದೇಶ ≤0.05% ಸಂಚಿತ ಪ್ರದೇಶ ≤0.1%  
ಹೆಚ್ಚಿನ ತೀವ್ರತೆಯ ಬೆಳಕಿನಿಂದ ಪಾಲಿಟೈಪ್ ಪ್ರದೇಶಗಳು

ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ

ಸಂಚಿತ ಪ್ರದೇಶ≤3%  
ವಿಷುಯಲ್ ಕಾರ್ಬನ್ ಸೇರ್ಪಡೆಗಳು ಸಂಚಿತ ಪ್ರದೇಶ ≤0.05% ಸಂಚಿತ ಪ್ರದೇಶ ≤3%  
ಹೆಚ್ಚಿನ ತೀವ್ರತೆಯ ಬೆಳಕಿನಿಂದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮೇಲ್ಮೈ ಗೀರುಗಳು  

ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ

ಸಂಚಿತ ಉದ್ದ≤1*ವೇಫರ್ ವ್ಯಾಸ  
ಎಡ್ಜ್ ಚಿಪ್ಸ್ ಹೈ ಇಂಟೆನ್ಸಿಟಿ ಲೈಟ್ ಯಾವುದಕ್ಕೂ ≥0.2 ಮಿಮೀ ಅಗಲ ಮತ್ತು ಆಳವನ್ನು ಅನುಮತಿಸಲಾಗಿಲ್ಲ 5 ಅನುಮತಿಸಲಾಗಿದೆ, ಪ್ರತಿ ≤1 ಮಿಮೀ  
ಹೆಚ್ಚಿನ ತೀವ್ರತೆಯಿಂದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮೇಲ್ಮೈ ಮಾಲಿನ್ಯ

ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ

 
ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್

ಮಲ್ಟಿ-ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ಅಥವಾ ಸಿಂಗಲ್ ವೇಫರ್ ಕಂಟೈನರ್

 

ವಿವರವಾದ ರೇಖಾಚಿತ್ರ

ವಿವರವಾದ ರೇಖಾಚಿತ್ರ (1)
ವಿವರವಾದ ರೇಖಾಚಿತ್ರ (2)

  • ಹಿಂದಿನ:
  • ಮುಂದೆ:

  • ನಿಮ್ಮ ಸಂದೇಶವನ್ನು ಇಲ್ಲಿ ಬರೆಯಿರಿ ಮತ್ತು ಅದನ್ನು ನಮಗೆ ಕಳುಹಿಸಿ