SiC ನೀಲಮಣಿ Si GAAs ವೇಫರ್‌ಗಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಚಕ್

ಸಣ್ಣ ವಿವರಣೆ:

ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಚಕ್ ಅರೆವಾಹಕ ತಪಾಸಣೆ, ವೇಫರ್ ತಯಾರಿಕೆ ಮತ್ತು ಬಂಧದ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ಉನ್ನತ-ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ವೇದಿಕೆಯಾಗಿದೆ. ಸಿಂಟರ್ಡ್ SiC (SSiC), ರಿಯಾಕ್ಷನ್-ಬಾಂಡೆಡ್ SiC (RSiC), ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಮತ್ತು ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಸೇರಿದಂತೆ ಸುಧಾರಿತ ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳೊಂದಿಗೆ ನಿರ್ಮಿಸಲಾಗಿದೆ - ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಿಗಿತ, ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ, ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ದೀರ್ಘ ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ.

ನಮಗೆ ಇಮೇಲ್ ಕಳುಹಿಸಿ

ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು

ವಿವರವಾದ ರೇಖಾಚಿತ್ರ

ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ಸೆರಾಮಿಕ್ ಚಕ್‌ನ ಅವಲೋಕನ

ದಿಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಚಕ್ಅರೆವಾಹಕ ತಪಾಸಣೆ, ವೇಫರ್ ತಯಾರಿಕೆ ಮತ್ತು ಬಂಧದ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ಉನ್ನತ-ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ವೇದಿಕೆಯಾಗಿದೆ. ಸುಧಾರಿತ ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳೊಂದಿಗೆ ನಿರ್ಮಿಸಲಾಗಿದೆ—ಸೇರಿದಂತೆಸಿಂಟರ್ಡ್ SiC (SSiC), ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾ-ಬಂಧಿತ SiC (RSiC), ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್, ಮತ್ತುಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್—ಇದು ನೀಡುತ್ತದೆಹೆಚ್ಚಿನ ಬಿಗಿತ, ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ, ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ದೀರ್ಘ ಸೇವಾ ಜೀವನ.

ನಿಖರವಾದ ಎಂಜಿನಿಯರಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ಹೊಳಪು ನೀಡುವಿಕೆಯೊಂದಿಗೆ, ಚಕ್ ನೀಡುತ್ತದೆಮೈಕ್ರಾನ್ ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಚಪ್ಪಟೆತನ, ಕನ್ನಡಿ-ಗುಣಮಟ್ಟದ ಮೇಲ್ಮೈಗಳು ಮತ್ತು ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆ, ಇದು ನಿರ್ಣಾಯಕ ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತ ಪರಿಹಾರವಾಗಿದೆ.

ಪ್ರಮುಖ ಅನುಕೂಲಗಳು

ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ
ಒಳಗೆ ಚಪ್ಪಟೆತನ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲ್ಪಡುತ್ತದೆ0.3–0.5 μm, ವೇಫರ್ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಕನ್ನಡಿ ಹೊಳಪು ನೀಡುವುದು
ಸಾಧಿಸುತ್ತದೆರಾ 0.02 μmಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ, ವೇಫರ್ ಗೀರುಗಳು ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವುದು - ಅತಿ ಸ್ವಚ್ಛ ಪರಿಸರಕ್ಕೆ ಪರಿಪೂರ್ಣ.
ಅತಿ ಹಗುರ
ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆ ಅಥವಾ ಲೋಹದ ತಲಾಧಾರಗಳಿಗಿಂತ ಬಲಶಾಲಿಯಾದರೂ ಹಗುರ, ಚಲನೆಯ ನಿಯಂತ್ರಣ, ಸ್ಪಂದಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಿಗಿತ
ಎಕ್ಸೆಪ್ಷನಲ್ ಯಂಗ್‌ನ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ ಭಾರವಾದ ಹೊರೆಗಳು ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ
CTE ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳಿಗೆ ನಿಕಟವಾಗಿ ಹೊಂದಿಕೆಯಾಗುತ್ತದೆ, ಉಷ್ಣ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ.
ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ
ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ, ಅಧಿಕ-ಆವರ್ತನ ಬಳಕೆಯಲ್ಲೂ ಸಹ ತೀವ್ರ ಗಡಸುತನವು ಚಪ್ಪಟೆತನ ಮತ್ತು ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡುತ್ತದೆ.

ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ

ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳ ತಯಾರಿ
ನಿಯಂತ್ರಿತ ಕಣದ ಗಾತ್ರ ಮತ್ತು ಅತಿ ಕಡಿಮೆ ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ SiC ಪುಡಿಗಳು.
ರಚನೆ ಮತ್ತು ಸಿಂಟರಿಂಗ್
ತಂತ್ರಗಳು ಉದಾಹರಣೆಗೆಒತ್ತಡರಹಿತ ಸಿಂಟರ್ರಿಂಗ್ (SSiC) or ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾ ಬಂಧ (RSiC)ದಟ್ಟವಾದ, ಏಕರೂಪದ ಸೆರಾಮಿಕ್ ತಲಾಧಾರಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಿ.
ನಿಖರ ಯಂತ್ರೀಕರಣ
CNC ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್, ಲೇಸರ್ ಟ್ರಿಮ್ಮಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಯಂತ್ರಗಳು ±0.01 mm ಸಹಿಷ್ಣುತೆ ಮತ್ತು ≤3 μm ಸಮಾನಾಂತರತೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸುತ್ತವೆ.
ಮೇಲ್ಮೈ ಚಿಕಿತ್ಸೆ
Ra 0.02 μm ಗೆ ಬಹು-ಹಂತದ ರುಬ್ಬುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಹೊಳಪು; ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ ಅಥವಾ ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಿದ ಘರ್ಷಣೆ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಿಗಾಗಿ ಐಚ್ಛಿಕ ಲೇಪನಗಳು ಲಭ್ಯವಿದೆ.
ತಪಾಸಣೆ ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟ ನಿಯಂತ್ರಣ
ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಒರಟುತನ ಪರೀಕ್ಷಕರು ಅರೆವಾಹಕ-ದರ್ಜೆಯ ವಿಶೇಷಣಗಳ ಅನುಸರಣೆಯನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸುತ್ತಾರೆ.

ತಾಂತ್ರಿಕ ವಿಶೇಷಣಗಳು

ಪ್ಯಾರಾಮೀಟರ್	ಮೌಲ್ಯ	ಘಟಕ
ಚಪ್ಪಟೆತನ	≤0.5 ≤0.5	μm
ವೇಫರ್ ಗಾತ್ರಗಳು	6'', 8'', 12'' (ಕಸ್ಟಮ್ ಲಭ್ಯವಿದೆ)	—
ಮೇಲ್ಮೈ ಪ್ರಕಾರ	ಪಿನ್ ಪ್ರಕಾರ / ರಿಂಗ್ ಪ್ರಕಾರ	—
ಪಿನ್ ಎತ್ತರ	0.05–0.2	mm
ಕನಿಷ್ಠ ಪಿನ್ ವ್ಯಾಸ	ϕ0.2	mm
ಕನಿಷ್ಠ ಪಿನ್ ಅಂತರ	3	mm
ಕನಿಷ್ಠ ಸೀಲ್ ರಿಂಗ್ ಅಗಲ	0.7	mm
ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ	ರಾ 0.02	μm
ದಪ್ಪ ಸಹಿಷ್ಣುತೆ	±0.01	mm
ವ್ಯಾಸ ಸಹಿಷ್ಣುತೆ	±0.01	mm
ಸಮಾನಾಂತರ ಸಹಿಷ್ಣುತೆ	≤3	μm

ಮುಖ್ಯ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳು

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವೇಫರ್ ತಪಾಸಣೆ ಉಪಕರಣಗಳು
ವೇಫರ್ ತಯಾರಿಕೆ ಮತ್ತು ವರ್ಗಾವಣೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು
ವೇಫರ್ ಬಾಂಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಪರಿಕರಗಳು
ಸುಧಾರಿತ ಆಪ್ಟೊಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನ ತಯಾರಿಕೆ
ಅತಿ-ಸಮತಟ್ಟಾದ, ಅತಿ-ಶುದ್ಧ ಮೇಲ್ಮೈಗಳ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ನಿಖರ ಉಪಕರಣಗಳು

ಪ್ರಶ್ನೋತ್ತರ – ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಚಕ್

Q1: SiC ಸೆರಾಮಿಕ್ ಚಕ್‌ಗಳು ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆ ಅಥವಾ ಲೋಹದ ಚಕ್‌ಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೇಗೆ ಹೋಲಿಕೆಯಾಗುತ್ತವೆ?
A1: SiC ಚಕ್‌ಗಳು ಹಗುರವಾಗಿರುತ್ತವೆ, ಗಟ್ಟಿಯಾಗಿರುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳಿಗೆ ಹತ್ತಿರವಿರುವ CTE ಅನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತವೆ, ಉಷ್ಣ ವಿರೂಪತೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಅವು ಉತ್ತಮ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ಸಹ ನೀಡುತ್ತವೆ.

ಪ್ರಶ್ನೆ 2: ಯಾವ ರೀತಿಯ ಚಪ್ಪಟೆತನವನ್ನು ಸಾಧಿಸಬಹುದು?
A2: ಒಳಗೆ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ0.3–0.5 μm, ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಕಠಿಣ ಬೇಡಿಕೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ.

ಪ್ರಶ್ನೆ 3: ಮೇಲ್ಮೈ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಗೀಚುತ್ತದೆಯೇ?
A3: ಇಲ್ಲ—ಕನ್ನಡಿ ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಲಾಗಿದೆರಾ 0.02 μm, ಗೀರು-ಮುಕ್ತ ನಿರ್ವಹಣೆ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಕಣ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.

ಪ್ರಶ್ನೆ 4: ಯಾವ ವೇಫರ್ ಗಾತ್ರಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ?
A4: ಪ್ರಮಾಣಿತ ಗಾತ್ರಗಳು6'', 8'', ಮತ್ತು 12'', ಗ್ರಾಹಕೀಕರಣ ಲಭ್ಯವಿದೆ.

ಪ್ರಶ್ನೆ 5: ಉಷ್ಣ ಪ್ರತಿರೋಧ ಹೇಗಿದೆ?
A5: SiC ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ಉಷ್ಣ ಚಕ್ರದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಕನಿಷ್ಠ ವಿರೂಪತೆಯೊಂದಿಗೆ ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.

ನಮ್ಮ ಬಗ್ಗೆ

XKH ವಿಶೇಷ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಗ್ಲಾಸ್ ಮತ್ತು ಹೊಸ ಸ್ಫಟಿಕ ವಸ್ತುಗಳ ಹೈಟೆಕ್ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ, ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಮಾರಾಟದಲ್ಲಿ ಪರಿಣತಿ ಹೊಂದಿದೆ. ನಮ್ಮ ಉತ್ಪನ್ನಗಳು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್, ಗ್ರಾಹಕ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು ಮಿಲಿಟರಿಗೆ ಸೇವೆ ಸಲ್ಲಿಸುತ್ತವೆ. ನಾವು ನೀಲಮಣಿ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳು, ಮೊಬೈಲ್ ಫೋನ್ ಲೆನ್ಸ್ ಕವರ್‌ಗಳು, ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್, LT, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ SIC, ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಮತ್ತು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸ್ಫಟಿಕ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತೇವೆ. ನುರಿತ ಪರಿಣತಿ ಮತ್ತು ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ಉಪಕರಣಗಳೊಂದಿಗೆ, ನಾವು ಪ್ರಮುಖ ಆಪ್ಟೊಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳ ಹೈಟೆಕ್ ಉದ್ಯಮವಾಗುವ ಗುರಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಪ್ರಮಾಣಿತವಲ್ಲದ ಉತ್ಪನ್ನ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯಲ್ಲಿ ಶ್ರೇಷ್ಠತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದೇವೆ.