ವೆಟ್ ಎಚಿಂಗ್

ಆರ್ದ್ರ ಎಚ್ಚಣೆಯು ನೀಲಮಣಿ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಆಯ್ದವಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಮತ್ತು ಅಪೇಕ್ಷಿತ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ರಚನೆಗಳನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ವಿಶೇಷ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ. ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಹೆಚ್ಚಿನ ಥ್ರೋಪುಟ್, ಉತ್ತಮ ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ, ಇದು ದೊಡ್ಡ-ಪ್ರದೇಶದ ವಿನ್ಯಾಸ ಮತ್ತು ಮಧ್ಯಮ ಪಕ್ಕದ ಗೋಡೆಯ ಪ್ರೊಫೈಲ್ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.

ದ್ರಾವಣ ಸಂಯೋಜನೆ, ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಎಚ್ಚಣೆ ಸಮಯವನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸುವ ಮೂಲಕ, ಎಚ್ಚಣೆ ಆಳ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ರೂಪವಿಜ್ಞಾನದ ಸ್ಥಿರ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಸಾಧಿಸಬಹುದು. ಆರ್ದ್ರ-ಕೆತ್ತನೆ ಮಾಡಿದ ನೀಲಮಣಿ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು LED ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ತಲಾಧಾರಗಳು, ರಚನಾತ್ಮಕ ಬೆಂಬಲ ಪದರಗಳು ಮತ್ತು ಆಯ್ದ MEMS ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಒಣ ಎಚ್ಚಣೆ

ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಣೆ ಅಥವಾ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಅಯಾನು ಎಚ್ಚಣೆ (RIE) ನಂತಹ ಒಣ ಎಚ್ಚಣೆಯು ಭೌತಿಕ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನಗಳ ಮೂಲಕ ನೀಲಮಣಿಯನ್ನು ಕೆತ್ತಲು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯ ಅಯಾನುಗಳು ಅಥವಾ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಪ್ರಭೇದಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಈ ವಿಧಾನವು ಉತ್ತಮ ಅನಿಸೊಟ್ರೊಪಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಮಾದರಿ ವರ್ಗಾವಣೆ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಸೂಕ್ಷ್ಮ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ-ಅನುಪಾತ-ಅನುಪಾತ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ರಚನೆಗಳ ತಯಾರಿಕೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.

ಮೈಕ್ರೋ-ಎಲ್ಇಡಿ ಸಾಧನಗಳು, ಮುಂದುವರಿದ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ MEMS ರಚನೆಗಳಂತಹ ಲಂಬವಾದ ಪಕ್ಕದ ಗೋಡೆಗಳು, ತೀಕ್ಷ್ಣವಾದ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯ ವ್ಯಾಖ್ಯಾನ ಮತ್ತು ಬಿಗಿಯಾದ ಆಯಾಮದ ನಿಯಂತ್ರಣದ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ಒಣ ಎಚ್ಚಣೆ ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.