ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ SiC ಏರ್-ಬೇರಿಂಗ್ ಹಂತ

ಸಣ್ಣ ವಿವರಣೆ:

ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದ ನಿರಂತರ ವಿಕಸನದೊಂದಿಗೆ, ಸಂಸ್ಕರಣೆ ಮತ್ತು ತಪಾಸಣಾ ಉಪಕರಣಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಬಯಸುತ್ತವೆ. ಚಲನೆಯ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮತ್ತು ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್-ಮಟ್ಟದ ಸ್ಥಾನೀಕರಣದಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕ ಪರಿಣತಿಯ ಮೇಲೆ ನಿರ್ಮಿಸುತ್ತಾ, ನಾವು ಪ್ಲ್ಯಾನರ್ H-ಟೈಪ್ ಡ್ಯುಯಲ್-ಆಕ್ಸಿಸ್ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಗಾಳಿ-ಬೇರಿಂಗ್ ಹಂತವನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಿದ್ದೇವೆ.

ನಮಗೆ ಇಮೇಲ್ ಕಳುಹಿಸಿ

ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು

ವಿವರವಾದ ರೇಖಾಚಿತ್ರ

ಅವಲೋಕನ

ಸೀಮಿತ ಅಂಶ-ಆಪ್ಟಿಮೈಸ್ಡ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ಸೆರಾಮಿಕ್ ರಚನೆ ಮತ್ತು ಸರಿದೂಗಿಸಲಾದ ಗಾಳಿ-ಬೇರಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದೊಂದಿಗೆ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ಈ ಹಂತವು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ನಿಖರತೆ, ಬಿಗಿತ ಮತ್ತು ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ. ಇದು ಸೂಕ್ತವಾಗಿ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ:

ಅರೆವಾಹಕ ಸಂಸ್ಕರಣೆ ಮತ್ತು ಪರಿಶೀಲನೆ
ಸೂಕ್ಷ್ಮ/ನ್ಯಾನೋ ತಯಾರಿಕೆ ಮತ್ತು ಮಾಪನಶಾಸ್ತ್ರ
ನ್ಯಾನೋಮೀಟರ್-ಸ್ಕೇಲ್ ಫ್ಲೈ-ಕಟಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡುವುದು
ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ನಿಖರ ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್

ಪ್ರಮುಖ ಲಕ್ಷಣಗಳು

SiC ಗಾಳಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ ಮಾರ್ಗಅತಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಿಗಿತ ಮತ್ತು ನಿಖರತೆಗಾಗಿ
ಹೆಚ್ಚಿನ ಚಲನಶಾಸ್ತ್ರ: 1 ಮೀ/ಸೆಕೆಂಡ್ ವರೆಗೆ ವೇಗ, 4 ಗ್ರಾಂ ವರೆಗೆ ವೇಗವರ್ಧನೆ, ತ್ವರಿತ ನೆಲೆಗೊಳ್ಳುವಿಕೆ
ಡ್ಯುಯಲ್-ಡ್ರೈವ್ ಗ್ಯಾಂಟ್ರಿ Y-ಆಕ್ಸಿಸ್ಹೆಚ್ಚಿನ ಹೊರೆ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ
ಎನ್‌ಕೋಡರ್ ಆಯ್ಕೆಗಳು: ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಗ್ರೇಟಿಂಗ್ ಅಥವಾ ಲೇಸರ್ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್
ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ನಿಖರತೆ: ±0.15 μm;ಪುನರಾವರ್ತನೀಯತೆ: ±75 ಎನ್ಎಂ
ಆಪ್ಟಿಮೈಸ್ಡ್ ಕೇಬಲ್ ರೂಟಿಂಗ್ಸ್ವಚ್ಛ ವಿನ್ಯಾಸ ಮತ್ತು ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಗಾಗಿ
ಗ್ರಾಹಕೀಯಗೊಳಿಸಬಹುದಾದ ಸಂರಚನೆಗಳುಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್-ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಅಗತ್ಯಗಳಿಗಾಗಿ

ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ವಿನ್ಯಾಸ ಮತ್ತು ನೇರ-ಡ್ರೈವ್, ಸಂಪರ್ಕವಿಲ್ಲದ ವಾಸ್ತುಶಿಲ್ಪ

SiC ಸೆರಾಮಿಕ್ ಫ್ರೇಮ್: ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಮಿಶ್ರಲೋಹದ ~5× ಬಿಗಿತ ಮತ್ತು ~5× ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ದೃಢತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಪರಿಹಾರಿತ ಗಾಳಿ-ಬೇರಿಂಗ್: ಸ್ವಾಮ್ಯದ ವಿನ್ಯಾಸವು ಬಿಗಿತ, ಹೊರೆ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ ಮತ್ತು ಚಲನೆಯ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ.
ಡೈನಾಮಿಕ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ: 1 ಮೀ/ಸೆ ವೇಗ ಮತ್ತು 4 ಗ್ರಾಂ ವೇಗವರ್ಧನೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಥ್ರೋಪುಟ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
ತಡೆರಹಿತ ಏಕೀಕರಣ: ಕಂಪನ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು, ರೋಟರಿ ಹಂತಗಳು, ಟಿಲ್ಟ್ ಮಾಡ್ಯೂಲ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ಹ್ಯಾಂಡ್ಲಿಂಗ್ ಪ್ಲಾಟ್‌ಫಾರ್ಮ್‌ಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.
ಕೇಬಲ್ ನಿರ್ವಹಣೆ: ನಿಯಂತ್ರಿತ ಬಾಗುವ ತ್ರಿಜ್ಯವು ವಿಸ್ತೃತ ಸೇವಾ ಜೀವನಕ್ಕಾಗಿ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಕೋರ್‌ಲೆಸ್ ಲೀನಿಯರ್ ಮೋಟಾರ್: ಶೂನ್ಯ ಕೋಗಿಂಗ್ ಬಲದೊಂದಿಗೆ ಸುಗಮ ಚಲನೆ.
ಬಹು-ಮೋಟಾರ್ ಡ್ರೈವ್: ಲೋಡ್-ಪ್ಲೇನ್ ಮೋಟಾರ್ ನಿಯೋಜನೆಯು ನೇರತೆ, ಚಪ್ಪಟೆತನ ಮತ್ತು ಕೋನೀಯ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.
ಉಷ್ಣ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆ: ಮೋಟಾರ್‌ಗಳನ್ನು ವೇದಿಕೆಯ ರಚನೆಯಿಂದ ಪ್ರತ್ಯೇಕಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ; ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಚಕ್ರಗಳಿಗೆ ಐಚ್ಛಿಕ ಗಾಳಿ ಅಥವಾ ನೀರಿನ ತಂಪಾಗಿಸುವಿಕೆ.

ವಿಶೇಷಣಗಳು

ಮಾದರಿ	400-400	500-500	600-600
ಅಕ್ಷಗಳು	X (ಸ್ಕ್ಯಾನ್) / Y (ಹಂತ)	X (ಸ್ಕ್ಯಾನ್) / Y (ಹಂತ)	X (ಸ್ಕ್ಯಾನ್) / Y (ಹಂತ)
ಪ್ರಯಾಣ (ಮಿಮೀ)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
ನಿಖರತೆ (μm)	±0.15	±0.2	±0.2
ಪುನರಾವರ್ತನೀಯತೆ (nm)	±75	±100	±100
ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ (nm)	0.3	0.3	0.3
ಗರಿಷ್ಠ ವೇಗ (ಮೀ/ಸೆ)	1	1	1
ವೇಗವರ್ಧನೆ (ಗ್ರಾಂ)	4	4	4
ನೇರತೆ (μm)	±0.2	±0.3	±0.4
ಸ್ಥಿರತೆ (nm)	±5	±5	±5
ಗರಿಷ್ಠ ಲೋಡ್ (ಕೆಜಿ)	20	20	20
ಪಿಚ್/ರೋಲ್/ಯಾವ್ (ಆರ್ಕ್-ಸೆಕೆಂಡ್)	±1	±1	±1

ಪರೀಕ್ಷಾ ಷರತ್ತುಗಳು:

ಗಾಳಿಯ ಪೂರೈಕೆ: ಶುದ್ಧ, ಶುಷ್ಕ; ಇಬ್ಬನಿ ಬಿಂದು ≤ 0°F; ಕಣ ಶೋಧನೆ ≤ 0.25 μm; ಅಥವಾ 99.99% ಸಾರಜನಕ.
20±1 °C, 40–60% RH ನಲ್ಲಿ ಹಂತದ ಕೇಂದ್ರದಿಂದ 25 ಮಿಮೀ ಮೇಲೆ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಅಳೆಯಲಾಗಿದೆ.

ಅರ್ಜಿಗಳನ್ನು

ಅರೆವಾಹಕ ಶಿಲಾಮುದ್ರಣ, ತಪಾಸಣೆ ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ನಿರ್ವಹಣೆ
ಸೂಕ್ಷ್ಮ/ನ್ಯಾನೋ ತಯಾರಿಕೆ ಮತ್ತು ನಿಖರ ಮಾಪನಶಾಸ್ತ್ರ
ಉನ್ನತ ಮಟ್ಟದ ದೃಗ್ವಿಜ್ಞಾನ ತಯಾರಿಕೆ ಮತ್ತು ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೆಟ್ರಿ
ಬಾಹ್ಯಾಕಾಶ ಮತ್ತು ಮುಂದುವರಿದ ವೈಜ್ಞಾನಿಕ ಸಂಶೋಧನೆ

FAQ - ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಏರ್-ಬೇರಿಂಗ್ ಹಂತ

1. ಗಾಳಿಯನ್ನು ಹೊತ್ತ ಹಂತ ಎಂದರೇನು?

ಗಾಳಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ವೇದಿಕೆಯು ವೇದಿಕೆ ಮತ್ತು ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ ಮಾರ್ಗದ ನಡುವೆ ಒತ್ತಡಕ್ಕೊಳಗಾದ ಗಾಳಿಯ ತೆಳುವಾದ ಪದರವನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ, ಇದುಘರ್ಷಣೆರಹಿತ, ಸವೆತ-ಮುಕ್ತ ಮತ್ತು ಅತಿ-ನಯವಾದ ಚಲನೆಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಬೇರಿಂಗ್‌ಗಳಿಗಿಂತ ಭಿನ್ನವಾಗಿ, ಇದು ಸ್ಟಿಕ್-ಸ್ಲಿಪ್ ಅನ್ನು ನಿವಾರಿಸುತ್ತದೆ, ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್-ಮಟ್ಟದ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ.

2. ವೇದಿಕೆಯ ರಚನೆಗೆ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ಅನ್ನು ಏಕೆ ಬಳಸಬೇಕು?

ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಿಗಿತ: ~5× ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಮಿಶ್ರಲೋಹದಷ್ಟು, ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಚಲನೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ವಿರೂಪತೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ: ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂಗಿಂತ ~5× ಕಡಿಮೆ, ತಾಪಮಾನ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಕಾಯ್ದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.
ಹಗುರ: ಉಕ್ಕಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಕಡಿಮೆ ಸಾಂದ್ರತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗವರ್ಧನೆಯ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಸ್ಥಿರತೆ: ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಸ್ಥಾನೀಕರಣಕ್ಕಾಗಿ ಉನ್ನತ ಡ್ಯಾಂಪಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಬಿಗಿತ.

3. ವೇದಿಕೆಗೆ ನಯಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಅಥವಾ ನಿರ್ವಹಣೆ ಅಗತ್ಯವಿದೆಯೇ?

ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ನಯಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಅಗತ್ಯವಿಲ್ಲ ಏಕೆಂದರೆಯಾಂತ್ರಿಕ ಸಂಪರ್ಕವಿಲ್ಲ.ಶಿಫಾರಸು ಮಾಡಲಾದ ನಿರ್ವಹಣೆಯು ಇವುಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ:

ಸರಬರಾಜು ಮಾಡಲಾಗುತ್ತಿದೆಶುದ್ಧ, ಒಣ ಸಂಕುಚಿತ ಗಾಳಿ ಅಥವಾ ಸಾರಜನಕ
ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಡ್ರೈಯರ್‌ಗಳ ಆವರ್ತಕ ಪರಿಶೀಲನೆ
ಕೇಬಲ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಕೂಲಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ

4. ವಾಯು ಪೂರೈಕೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು ಯಾವುವು?

ಇಬ್ಬನಿ ಬಿಂದು: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
ಕಣ ಶೋಧನೆ: ≤ 0.25 μm
ಶುದ್ಧ, ಒಣ ಗಾಳಿ ಅಥವಾ 99.99% ಶುದ್ಧ ಸಾರಜನಕ
ಕನಿಷ್ಠ ಏರಿಳಿತಗಳೊಂದಿಗೆ ಸ್ಥಿರ ಒತ್ತಡ

ನಮ್ಮ ಬಗ್ಗೆ

XKH ವಿಶೇಷ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಗ್ಲಾಸ್ ಮತ್ತು ಹೊಸ ಸ್ಫಟಿಕ ವಸ್ತುಗಳ ಹೈಟೆಕ್ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ, ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಮಾರಾಟದಲ್ಲಿ ಪರಿಣತಿ ಹೊಂದಿದೆ. ನಮ್ಮ ಉತ್ಪನ್ನಗಳು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್, ಗ್ರಾಹಕ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು ಮಿಲಿಟರಿಗೆ ಸೇವೆ ಸಲ್ಲಿಸುತ್ತವೆ. ನಾವು ನೀಲಮಣಿ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳು, ಮೊಬೈಲ್ ಫೋನ್ ಲೆನ್ಸ್ ಕವರ್‌ಗಳು, ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್, LT, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ SIC, ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಮತ್ತು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸ್ಫಟಿಕ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತೇವೆ. ನುರಿತ ಪರಿಣತಿ ಮತ್ತು ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ಉಪಕರಣಗಳೊಂದಿಗೆ, ನಾವು ಪ್ರಮುಖ ಆಪ್ಟೊಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳ ಹೈಟೆಕ್ ಉದ್ಯಮವಾಗುವ ಗುರಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಪ್ರಮಾಣಿತವಲ್ಲದ ಉತ್ಪನ್ನ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯಲ್ಲಿ ಶ್ರೇಷ್ಠತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದೇವೆ.