ಸಿಲಿಕಾನ್ / ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ವೇಫರ್ ಫೋರ್-ಸ್ಟೇಜ್ ಲಿಂಕ್ಡ್ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ಆಟೊಮೇಷನ್ ಲೈನ್ (ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಪೋಸ್ಟ್-ಪೋಲಿಷ್ ಹ್ಯಾಂಡ್ಲಿಂಗ್ ಲೈನ್)

ಈ ನಾಲ್ಕು-ಹಂತದ ಲಿಂಕ್ಡ್ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ಆಟೊಮೇಷನ್ ಲೈನ್ ಒಂದು ಸಂಯೋಜಿತ, ಇನ್-ಲೈನ್ ಪರಿಹಾರವಾಗಿದ್ದು, ಇದಕ್ಕಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆಪೋಸ್ಟ್-ಪಾಲಿಶ್ / ಪೋಸ್ಟ್-CMPಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಳುಸಿಲಿಕಾನ್ಮತ್ತುಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC)ವೇಫರ್‌ಗಳು. ಸುತ್ತಲೂ ನಿರ್ಮಿಸಲಾಗಿದೆಸೆರಾಮಿಕ್ ವಾಹಕಗಳು (ಸೆರಾಮಿಕ್ ಫಲಕಗಳು), ಈ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಬಹು ಕೆಳಮುಖ ಕಾರ್ಯಗಳನ್ನು ಒಂದು ಸಂಘಟಿತ ಮಾರ್ಗಕ್ಕೆ ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತದೆ - ಫ್ಯಾಬ್‌ಗಳು ಹಸ್ತಚಾಲಿತ ನಿರ್ವಹಣೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು, ಟೇಕ್ ಸಮಯವನ್ನು ಸ್ಥಿರಗೊಳಿಸಲು ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಬಲಪಡಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ,ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ CMP ನಂತರದ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಮುಂದಿನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಮೊದಲು ದೋಷಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವ ಪ್ರಮುಖ ಹೆಜ್ಜೆಯಾಗಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಗುರುತಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ ಮತ್ತು ಮುಂದುವರಿದ ವಿಧಾನಗಳು (ಸೇರಿದಂತೆಮೆಗಾಸಾನಿಕ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ) ಕಣ ತೆಗೆಯುವ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಚರ್ಚಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ SiC ಗೆ, ಅದರಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಜಡತ್ವಹೊಳಪು ಮಾಡುವುದನ್ನು ಸವಾಲಿನದ್ದಾಗಿ ಮಾಡುತ್ತದೆ (ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ವಸ್ತು ತೆಗೆಯುವ ದರ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ/ಉಪಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯ ಹೆಚ್ಚಿನ ಅಪಾಯದೊಂದಿಗೆ ಸಂಬಂಧಿಸಿದೆ), ಇದು ಸ್ಥಿರವಾದ ನಂತರದ ಹೊಳಪು ಯಾಂತ್ರೀಕರಣ ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಿತ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ/ನಿರ್ವಹಣೆಯನ್ನು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಮೌಲ್ಯಯುತವಾಗಿಸುತ್ತದೆ.