ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಟ್ರೇ ಸಕ್ಕರ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಟ್ಯೂಬ್ ಪೂರೈಕೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಸಿಂಟರಿಂಗ್ ಕಸ್ಟಮ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆ
ಮುಖ್ಯ ಲಕ್ಷಣಗಳು:
1. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಟ್ರೇ
- ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನ ಮತ್ತು ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ: ಗಡಸುತನವು ವಜ್ರಕ್ಕೆ ಹತ್ತಿರದಲ್ಲಿದೆ ಮತ್ತು ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯಲ್ಲಿ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಉಡುಗೆಯನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಬಲ್ಲದು.
- ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕ: ವೇಗದ ಶಾಖ ಪ್ರಸರಣ ಮತ್ತು ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆ, ಉಷ್ಣ ಒತ್ತಡದಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ವಿರೂಪವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸುತ್ತದೆ.
- ಹೆಚ್ಚಿನ ಚಪ್ಪಟೆತನ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ: ಮೇಲ್ಮೈ ಚಪ್ಪಟೆತನವು ಮೈಕ್ರಾನ್ ಮಟ್ಟದವರೆಗೆ ಇರುತ್ತದೆ, ಇದು ವೇಫರ್ ಮತ್ತು ಡಿಸ್ಕ್ ನಡುವಿನ ಸಂಪೂರ್ಣ ಸಂಪರ್ಕವನ್ನು ಖಾತ್ರಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, ಮಾಲಿನ್ಯ ಮತ್ತು ಹಾನಿಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ಥಿರತೆ: ಬಲವಾದ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ, ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಆರ್ದ್ರ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
2. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಟ್ಯೂಬ್
- ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧ: ಇದು 1600°C ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ ದೀರ್ಘಕಾಲ ಕೆಲಸ ಮಾಡಬಹುದು, ಅರೆವಾಹಕ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
ಅತ್ಯುತ್ತಮ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ: ಆಮ್ಲಗಳು, ಕ್ಷಾರಗಳು ಮತ್ತು ವಿವಿಧ ರಾಸಾಯನಿಕ ದ್ರಾವಕಗಳಿಗೆ ನಿರೋಧಕ, ಕಠಿಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಪರಿಸರಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
- ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನ ಮತ್ತು ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ: ಕಣ ಸವೆತ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಉಡುಗೆಗಳನ್ನು ವಿರೋಧಿಸಿ, ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸಿ.
- ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಕಡಿಮೆ ಗುಣಾಂಕ: ಶಾಖದ ವೇಗದ ವಹನ ಮತ್ತು ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆ, ಉಷ್ಣ ಒತ್ತಡದಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ವಿರೂಪ ಅಥವಾ ಬಿರುಕುಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಉತ್ಪನ್ನ ನಿಯತಾಂಕ:
ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಟ್ರೇ ನಿಯತಾಂಕ:
| (ವಸ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣ) | (ಘಟಕ) | (ssic) | |
| (SiC ವಿಷಯ) | (ಪಶ್ಚಿಮ)% | >99 | |
| (ಸರಾಸರಿ ಧಾನ್ಯದ ಗಾತ್ರ) | ಮೈಕ್ರಾನ್ | 4-10 | |
| (ಸಾಂದ್ರತೆ) | ಕೆಜಿ/ಡಿಎಂ3 | > 3.14 | |
| (ಸ್ಪಷ್ಟ ರಂಧ್ರಗಳು) | Vo1% | <0.5 | |
| (ವಿಕರ್ಸ್ ಗಡಸುತನ) | ಎಚ್‌ವಿ 0.5 | ಜಿಪಿಎ | 28 |
| *() ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ* (ಮೂರು ಅಂಕಗಳು) | 20ºC | ಎಂಪಿಎ | 450 |
| (ಸಂಕೋಚನ ಶಕ್ತಿ) | 20ºC | ಎಂಪಿಎ | 3900 |
| (ಸ್ಥಿತಿಸ್ಥಾಪಕ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್) | 20ºC | ಜಿಪಿಎ | 420 (420) |
| (ಮುರಿತದ ಗಡಸುತನ) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ) | 20°ºC | ಪ/(ಮೀ*ಕೆ) | 160 |
| (ಪ್ರತಿರೋಧ) | 20°ºC | ಓಮ್.ಸೆಂ.ಮೀ. | 106-108 |
(ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕ) | ಎ (ಆರ್‌ಟಿ**...80ºC) | ಕೆ-1*10-6 | 4.3 |
(ಗರಿಷ್ಠ ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ತಾಪಮಾನ) | oºC | 1700 | |
ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಟ್ಯೂಬ್ ನಿಯತಾಂಕ:
| ವಸ್ತುಗಳು | ಸೂಚ್ಯಂಕ |
| α-SIC | 99% ನಿಮಿಷ |
| ಸ್ಪಷ್ಟ ರಂಧ್ರತೆ | 16% ಗರಿಷ್ಠ |
| ಬೃಹತ್ ಸಾಂದ್ರತೆ | 2.7 ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ3 ನಿಮಿಷ |
| ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಬಾಗುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ | 100 ಎಂಪಿಎ ನಿಮಿಷ |
| ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಗುಣಾಂಕ | ಕೆ -1 4.7x10 -6 |
| ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯ ಗುಣಾಂಕ (1400ºC) | 24 ವಾಟ್/ಮಾರ್ಗ |
| ಗರಿಷ್ಠ ಕೆಲಸದ ತಾಪಮಾನ | 1650ºC |
ಮುಖ್ಯ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳು:
1. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಪ್ಲೇಟ್
- ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಹೊಳಪು ಮಾಡುವುದು: ಕತ್ತರಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಹೊಳಪು ಮಾಡುವಾಗ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಬೇರಿಂಗ್ ವೇದಿಕೆಯಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ.
- ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ: ಒಡ್ಡುವಿಕೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಸ್ಥಾನವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರಗೊಳಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
- ಕೆಮಿಕಲ್ ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ (CMP): ಪ್ಯಾಡ್‌ಗಳನ್ನು ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಲು ಬೆಂಬಲ ವೇದಿಕೆಯಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ, ಏಕರೂಪದ ಒತ್ತಡ ಮತ್ತು ಶಾಖ ವಿತರಣೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.
2. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಟ್ಯೂಬ್
- ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಕುಲುಮೆ ಕೊಳವೆ: ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಚಿಕಿತ್ಸೆಗಾಗಿ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಸಾಗಿಸಲು ಪ್ರಸರಣ ಕುಲುಮೆ ಮತ್ತು ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಕುಲುಮೆಯಂತಹ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
- ಸಿವಿಡಿ/ಪಿವಿಡಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ: ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿ ಬೇರಿಂಗ್ ಟ್ಯೂಬ್ ಆಗಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲಗಳಿಗೆ ನಿರೋಧಕ.
- ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಪರಿಕರಗಳು: ಶಾಖ ವಿನಿಮಯಕಾರಕಗಳು, ಅನಿಲ ಪೈಪ್‌ಲೈನ್‌ಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳಿಗೆ, ಉಪಕರಣಗಳ ಉಷ್ಣ ನಿರ್ವಹಣಾ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು.
XKH ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಟ್ರೇಗಳು, ಸಕ್ಷನ್ ಕಪ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಟ್ಯೂಬ್‌ಗಳಿಗೆ ಸಂಪೂರ್ಣ ಶ್ರೇಣಿಯ ಕಸ್ಟಮ್ ಸೇವೆಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಟ್ರೇಗಳು ಮತ್ತು ಸಕ್ಷನ್ ಕಪ್‌ಗಳು, ವಿವಿಧ ಗಾತ್ರಗಳು, ಆಕಾರಗಳು ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನದ ಗ್ರಾಹಕರ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ XKH ಅನ್ನು ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಬಹುದು ಮತ್ತು ವಿಶೇಷ ಲೇಪನ ಚಿಕಿತ್ಸೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸಬಹುದು, ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಬಹುದು; ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಟ್ಯೂಬ್‌ಗಳಿಗೆ, XKH ವಿವಿಧ ಒಳಗಿನ ವ್ಯಾಸ, ಹೊರಗಿನ ವ್ಯಾಸ, ಉದ್ದ ಮತ್ತು ಸಂಕೀರ್ಣ ರಚನೆಯನ್ನು (ಆಕಾರದ ಟ್ಯೂಬ್ ಅಥವಾ ಪೋರೋಸ್ ಟ್ಯೂಬ್‌ನಂತಹ) ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಬಹುದು ಮತ್ತು ಹೊಳಪು, ಆಂಟಿ-ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಲೇಪನ ಮತ್ತು ಇತರ ಮೇಲ್ಮೈ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್‌ಗಳು, ಲೆಡ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಫೋಟೊವೋಲ್ಟಾಯಿಕ್ಸ್‌ನಂತಹ ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ ಉತ್ಪಾದನಾ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳ ಬೇಡಿಕೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಗ್ರಾಹಕರು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಉತ್ಪನ್ನಗಳ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಪ್ರಯೋಜನಗಳ ಸಂಪೂರ್ಣ ಪ್ರಯೋಜನವನ್ನು ಪಡೆಯಬಹುದು ಎಂದು XKH ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ವಿವರವಾದ ರೇಖಾಚಿತ್ರ
