ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ (SiC ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್)

ಸಣ್ಣ ವಿವರಣೆ:

ನಮಗೆ ಇಮೇಲ್ ಕಳುಹಿಸಿ

ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು

ವಿವರವಾದ ರೇಖಾಚಿತ್ರ

ಉತ್ಪನ್ನದ ಮೇಲ್ನೋಟ

ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ-ಬಂಧಿತ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (RBSiC) ನಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್, ಅರೆವಾಹಕ ಮತ್ತು ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗಾಗಿ ವೇಫರ್ ಲೋಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಅಂಶವಾಗಿದೆ.
ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆ ಅಥವಾ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಪ್ಯಾಡಲ್‌ಗಳಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, SiC ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್‌ಗಳು ಉತ್ತಮ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನ, ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತವೆ. ಅವು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ರಚನಾತ್ಮಕ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಕಾಯ್ದುಕೊಳ್ಳುತ್ತವೆ, ದೊಡ್ಡ ವೇಫರ್ ಗಾತ್ರಗಳು, ವಿಸ್ತೃತ ಸೇವಾ ಜೀವನ ಮತ್ತು ಅತಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಲಿನ್ಯದ ಕಠಿಣ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತವೆ.

ದೊಡ್ಡ ವೇಫರ್ ವ್ಯಾಸಗಳು, ಹೆಚ್ಚಿನ ಥ್ರೋಪುಟ್ ಮತ್ತು ಕ್ಲೀನರ್ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಪರಿಸರಗಳ ಕಡೆಗೆ ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ನಿರಂತರ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯೊಂದಿಗೆ, SiC ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್‌ಗಳು ಕ್ರಮೇಣ ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಿವೆ, ಪ್ರಸರಣ ಕುಲುಮೆಗಳು, LPCVD ಮತ್ತು ಸಂಬಂಧಿತ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಆದ್ಯತೆಯ ಆಯ್ಕೆಯಾಗಿದೆ.

ಉತ್ಪನ್ನ ಲಕ್ಷಣಗಳು

ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಸ್ಥಿರತೆ
- 1000–1300℃ ನಲ್ಲಿ ವಿರೂಪಗೊಳ್ಳದೆ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ.
- ಗರಿಷ್ಠ ಸೇವಾ ತಾಪಮಾನ 1380℃ ವರೆಗೆ.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಹೊರೆ ಹೊರುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ
- 250–280 MPa ವರೆಗೆ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ, ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಪ್ಯಾಡಲ್‌ಗಳಿಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು.
- ದೊಡ್ಡ ವ್ಯಾಸದ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು (300 ಮಿಮೀ ಮತ್ತು ಅದಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನದು) ನಿರ್ವಹಿಸುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ ಹೊಂದಿದೆ.
ವಿಸ್ತೃತ ಸೇವಾ ಜೀವನ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ನಿರ್ವಹಣೆ
- ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕ (4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹), LPCVD ಲೇಪನ ವಸ್ತುಗಳೊಂದಿಗೆ ಚೆನ್ನಾಗಿ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.
- ಒತ್ತಡದಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಬಿರುಕುಗಳು ಮತ್ತು ಸಿಪ್ಪೆಸುಲಿಯುವಿಕೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣಾ ಚಕ್ರಗಳನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ವಿಸ್ತರಿಸುತ್ತದೆ.
ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ ಮತ್ತು ಶುದ್ಧತೆ
- ಆಮ್ಲಗಳು ಮತ್ತು ಕ್ಷಾರಗಳಿಗೆ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಪ್ರತಿರೋಧ.
- ದಟ್ಟವಾದ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ರಚನೆಯು ತೆರೆದ ಸರಂಧ್ರತೆ <0.1% ರಷ್ಟು, ಕಣ ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಕಲ್ಮಶ ಬಿಡುಗಡೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಆಟೋಮೇಷನ್-ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯ ವಿನ್ಯಾಸ
- ಹೆಚ್ಚಿನ ಆಯಾಮದ ನಿಖರತೆಯೊಂದಿಗೆ ಸ್ಥಿರವಾದ ಅಡ್ಡ-ವಿಭಾಗದ ಜ್ಯಾಮಿತಿ.
- ರೋಬೋಟಿಕ್ ವೇಫರ್ ಲೋಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಅನ್‌ಲೋಡಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಮನಬಂದಂತೆ ಸಂಯೋಜನೆಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ, ಸಂಪೂರ್ಣ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.

ಭೌತಿಕ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು

ಐಟಂ	ಘಟಕ	ಡೇಟಾ
ಗರಿಷ್ಠ ಸೇವಾ ತಾಪಮಾನ	℃ ℃	1380 · ಪ್ರಾಚೀನ
ಸಾಂದ್ರತೆ	ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ³	3.04 - 3.08
ತೆರೆದ ಸರಂಧ್ರತೆ	%	< 0.1
ಬಾಗುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ	ಎಂಪಿಎ	250 (20℃), 280 (1200℃)
ಸ್ಥಿತಿಸ್ಥಾಪಕತ್ವದ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್	ಜಿಪಿಎ	330 (20℃), 300 (1200℃)
ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ	ಪಶ್ಚಿಮ/ಚ.ಕಿ.	45 (1200℃)
ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕ	ಕೆ⁻¹×10⁻⁶	4.5
ವಿಕರ್ಸ್ ಗಡಸುತನ	ಎಚ್‌ವಿ2	≥ 2100
ಆಮ್ಲ/ಕ್ಷಾರೀಯ ಪ್ರತಿರೋಧ	-	ಅತ್ಯುತ್ತಮ

ಪ್ರಮಾಣಿತ ಉದ್ದಗಳು:೨೩೭೮ ಮಿ.ಮೀ., ೨೫೫೦ ಮಿ.ಮೀ., ೨೬೬೦ ಮಿ.ಮೀ.
ವಿನಂತಿಯ ಮೇರೆಗೆ ಕಸ್ಟಮ್ ಆಯಾಮಗಳು ಲಭ್ಯವಿದೆ

ಅರ್ಜಿಗಳನ್ನು

ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮ
- LPCVD (ಕಡಿಮೆ ಒತ್ತಡದ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ)
- ಪ್ರಸರಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು (ರಂಜಕ, ಬೋರಾನ್, ಇತ್ಯಾದಿ)
- ಉಷ್ಣ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ
ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಉದ್ಯಮ
- ಪಾಲಿಸಿಲಿಕಾನ್ ಮತ್ತು ಮೊನೊಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ವೇಫರ್ ಪ್ರಸರಣ ಮತ್ತು ಲೇಪನ
- ಅಧಿಕ-ತಾಪಮಾನದ ಅನೀಲಿಂಗ್ ಮತ್ತು ನಿಷ್ಕ್ರಿಯೀಕರಣ
ಇತರ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳು
- ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ನಾಶಕಾರಿ ಪರಿಸರಗಳು
- ದೀರ್ಘ ಸೇವಾ ಜೀವನ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಮಾಲಿನ್ಯದ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ನಿಖರವಾದ ವೇಫರ್ ನಿರ್ವಹಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು

ಗ್ರಾಹಕರ ಪ್ರಯೋಜನಗಳು

ಕಡಿಮೆಯಾದ ನಿರ್ವಹಣಾ ವೆಚ್ಚಗಳು- ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಪ್ಯಾಡಲ್‌ಗಳಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ ಜೀವಿತಾವಧಿ, ಡೌನ್‌ಟೈಮ್ ಮತ್ತು ಬದಲಿ ಆವರ್ತನವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಇಳುವರಿ- ಅತ್ಯಂತ ಕಡಿಮೆ ಮಾಲಿನ್ಯವು ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈ ಶುಚಿತ್ವವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ದೋಷಗಳ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಭವಿಷ್ಯ-ಪುರಾವೆ- ದೊಡ್ಡ ವೇಫರ್ ಗಾತ್ರಗಳು ಮತ್ತು ಮುಂದಿನ ಪೀಳಿಗೆಯ ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.
ಸುಧಾರಿತ ಉತ್ಪಾದಕತೆ- ರೋಬೋಟಿಕ್ ಯಾಂತ್ರೀಕೃತಗೊಂಡ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಮಾಣದ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ.

FAQ - ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್

ಪ್ರಶ್ನೆ 1: ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ ಎಂದರೇನು?
A: ಇದು ರಿಯಾಕ್ಷನ್-ಬಂಧಿತ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (RBSiC) ನಿಂದ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟ ವೇಫರ್ ಬೆಂಬಲ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣಾ ಘಟಕವಾಗಿದೆ. ಇದನ್ನು ಪ್ರಸರಣ ಕುಲುಮೆಗಳು, LPCVD ಮತ್ತು ಇತರ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಅರೆವಾಹಕ ಮತ್ತು ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

Q2: ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಪ್ಯಾಡಲ್‌ಗಳಿಗಿಂತ SiC ಅನ್ನು ಏಕೆ ಆರಿಸಬೇಕು?
A: ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಪ್ಯಾಡಲ್‌ಗಳಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, SiC ಪ್ಯಾಡಲ್‌ಗಳು ಇವುಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತವೆ:

ಹೆಚ್ಚಿನ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ಹೊರೆ ಹೊರುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ
1380℃ ವರೆಗಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಉತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ
ಹೆಚ್ಚು ದೀರ್ಘ ಸೇವಾ ಜೀವನ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ನಿರ್ವಹಣಾ ಚಕ್ರಗಳು
ಕಣಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯದ ಅಪಾಯ ಕಡಿಮೆಯಾಗಿದೆ
ದೊಡ್ಡ ವೇಫರ್ ಗಾತ್ರಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ (300 ಮಿಮೀ ಮತ್ತು ಅದಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನದು)

Q3: SiC ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ ಯಾವ ವೇಫರ್ ಗಾತ್ರಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ?
A: 2378 mm, 2550 mm, ಮತ್ತು 2660 mm ಫರ್ನೇಸ್ ಸಿಸ್ಟಮ್‌ಗಳಿಗೆ ಪ್ರಮಾಣಿತ ಪ್ಯಾಡಲ್‌ಗಳು ಲಭ್ಯವಿದೆ. 300 mm ಮತ್ತು ಅದಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸಲು ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಿದ ಆಯಾಮಗಳು ಲಭ್ಯವಿದೆ.

ನಮ್ಮ ಬಗ್ಗೆ

XKH ವಿಶೇಷ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಗ್ಲಾಸ್ ಮತ್ತು ಹೊಸ ಸ್ಫಟಿಕ ವಸ್ತುಗಳ ಹೈಟೆಕ್ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ, ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಮಾರಾಟದಲ್ಲಿ ಪರಿಣತಿ ಹೊಂದಿದೆ. ನಮ್ಮ ಉತ್ಪನ್ನಗಳು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್, ಗ್ರಾಹಕ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು ಮಿಲಿಟರಿಗೆ ಸೇವೆ ಸಲ್ಲಿಸುತ್ತವೆ. ನಾವು ನೀಲಮಣಿ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳು, ಮೊಬೈಲ್ ಫೋನ್ ಲೆನ್ಸ್ ಕವರ್‌ಗಳು, ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್, LT, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ SIC, ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಮತ್ತು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸ್ಫಟಿಕ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತೇವೆ. ನುರಿತ ಪರಿಣತಿ ಮತ್ತು ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ಉಪಕರಣಗಳೊಂದಿಗೆ, ನಾವು ಪ್ರಮುಖ ಆಪ್ಟೊಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳ ಹೈಟೆಕ್ ಉದ್ಯಮವಾಗುವ ಗುರಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಪ್ರಮಾಣಿತವಲ್ಲದ ಉತ್ಪನ್ನ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯಲ್ಲಿ ಶ್ರೇಷ್ಠತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದೇವೆ.