ಸಲಕರಣೆಗಾಗಿ ಸಿವಿಡಿ ಸಿಸಿ ಲೇಪನದೊಂದಿಗೆ SiC ಸೆರಾಮಿಕ್ ಟ್ರೇ ಪ್ಲೇಟ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್

ಸಲಕರಣೆಗಾಗಿ CVD SiC ಲೇಪನದೊಂದಿಗೆ SiC ಸೆರಾಮಿಕ್ ಟ್ರೇ ಪ್ಲೇಟ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗೊಳಿಸಿದ ಚಿತ್ರ

ಸಂಕ್ಷಿಪ್ತ ವಿವರಣೆ:

ಶಾಂಘೈ ಕ್ಸಿಂಕೆಹುಯಿ ನ್ಯೂ ಮೆಟೀರಿಯಲ್ಸ್ ಕಂ., ಲಿಮಿಟೆಡ್ Φ380mm–Φ600mm ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಎಚಿಂಗ್ ಡಿಸ್ಕ್, ವೇಫರ್ ಬೇರಿಂಗ್ ಡಿಸ್ಕ್, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಟ್ರೇ, SIC ಟ್ರೇ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಟ್ರೇ, ICP ಎಚ್ಚಿಂಗ್ ಟ್ರೇ, ಎಚ್ಚಿಂಗ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಟ್ರೇ, % 9IC ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಟ್ರೇ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್-ಆಧಾರಿತ CVD ಟ್ರೇಗಿಂತ ನಾಲ್ಕು ಪಟ್ಟು ಹೆಚ್ಚು, ವಿರೂಪವಿಲ್ಲದೆ ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ ಬಳಕೆ, FH ಆಮ್ಲಕ್ಕೆ ನಿರೋಧಕ, ಕೇಂದ್ರೀಕೃತ H2So4 ತುಕ್ಕು.

ನಮಗೆ ಇಮೇಲ್ ಕಳುಹಿಸಿ

ಉತ್ಪನ್ನದ ವಿವರ

ಉತ್ಪನ್ನ ಟ್ಯಾಗ್ಗಳು

ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ಅನ್ನು ಎಪಿಟ್ಯಾಕ್ಸಿ ಅಥವಾ MOCVD ಯಂತಹ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಠೇವಣಿ ಹಂತದಲ್ಲಿ ಅಥವಾ ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯಲ್ಲಿ ಮಾತ್ರ ಬಳಸಲಾಗುವುದಿಲ್ಲ, ಇದರ ಹೃದಯಭಾಗದಲ್ಲಿ MOCVD ಗಾಗಿ ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಟ್ರೇಗಳನ್ನು ಮೊದಲು ಠೇವಣಿ ಪರಿಸರಕ್ಕೆ ಒಳಪಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಆದ್ದರಿಂದ ಹೆಚ್ಚು ನಿರೋಧಕವಾಗಿರುತ್ತವೆ. ಶಾಖ ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು.SiC-ಲೇಪಿತ ವಾಹಕಗಳು ಸಹ ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಿತರಣಾ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ.

ಶುದ್ಧ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಠೇವಣಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (CVD SiC) ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್‌ಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಲೋಹದ ಸಾವಯವ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಠೇವಣಿ (MOCVD) ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ.

ಶುದ್ಧ CVD SiC ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್‌ಗಳು ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್‌ಗಳಿಗಿಂತ ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಉತ್ತಮವಾಗಿವೆ, ಅವುಗಳು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಮತ್ತು CVD SiC ಯ ಪದರದಿಂದ ಲೇಪಿತವಾಗಿವೆ. ಈ ಲೇಪಿತ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್-ಆಧಾರಿತ ವಾಹಕಗಳು ಇಂದಿನ ಹೆಚ್ಚಿನ ಹೊಳಪಿನ ನೀಲಿ ಮತ್ತು ಬಿಳಿ ಲೆಡ್‌ನ GaN ಶೇಖರಣೆಗೆ ಅಗತ್ಯವಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನವನ್ನು (1100 ರಿಂದ 1200 ಡಿಗ್ರಿ ಸೆಲ್ಸಿಯಸ್) ತಡೆದುಕೊಳ್ಳುವುದಿಲ್ಲ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣತೆಯು ಲೇಪನವು ಸಣ್ಣ ಪಿನ್‌ಹೋಲ್‌ಗಳನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಲು ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ, ಅದರ ಮೂಲಕ ರಾಸಾಯನಿಕಗಳು ಕೆಳಗಿರುವ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಅನ್ನು ಸವೆಸುತ್ತವೆ. ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಕಣಗಳು ನಂತರ ಉದುರಿಹೋಗುತ್ತವೆ ಮತ್ತು GaN ಅನ್ನು ಕಲುಷಿತಗೊಳಿಸುತ್ತವೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಲೇಪಿತ ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಅನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

CVD SiC 99.999% ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಆಘಾತ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಹೊಳಪಿನ ಎಲ್ಇಡಿ ತಯಾರಿಕೆಯ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಕಠಿಣ ಪರಿಸರವನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಬಲ್ಲದು. ಇದು ಘನ ಏಕಶಿಲೆಯ ವಸ್ತುವಾಗಿದ್ದು, ಸೈದ್ಧಾಂತಿಕ ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು ತಲುಪುತ್ತದೆ, ಕನಿಷ್ಠ ಕಣಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅತಿ ಹೆಚ್ಚು ತುಕ್ಕು ಮತ್ತು ಸವೆತ ನಿರೋಧಕತೆಯನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತದೆ. ಲೋಹದ ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸದೆಯೇ ವಸ್ತುವು ಅಪಾರದರ್ಶಕತೆ ಮತ್ತು ವಾಹಕತೆಯನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಬಹುದು. ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್‌ಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 17 ಇಂಚು ವ್ಯಾಸವನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತವೆ ಮತ್ತು 40 2-4 ಇಂಚಿನ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಹಿಡಿದಿಟ್ಟುಕೊಳ್ಳಬಹುದು.