ICP ಗಾಗಿ 4 ಇಂಚಿನ 6 ಇಂಚಿನ ವೇಫರ್ ಹೋಲ್ಡರ್‌ಗಾಗಿ SiC ಸೆರಾಮಿಕ್ ಪ್ಲೇಟ್/ಟ್ರೇ

ಸಣ್ಣ ವಿವರಣೆ:

SiC ಸೆರಾಮಿಕ್ ಪ್ಲೇಟ್ ಎಂಬುದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್‌ನಿಂದ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ಉನ್ನತ-ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಘಟಕವಾಗಿದ್ದು, ಇದನ್ನು ತೀವ್ರ ಉಷ್ಣ, ರಾಸಾಯನಿಕ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಬಳಸಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. ಅಸಾಧಾರಣ ಗಡಸುತನ, ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಗೆ ಹೆಸರುವಾಸಿಯಾದ SiC ಪ್ಲೇಟ್ ಅನ್ನು ಅರೆವಾಹಕ, LED, ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಮತ್ತು ಏರೋಸ್ಪೇಸ್ ಉದ್ಯಮಗಳಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್, ಸಸೆಪ್ಟರ್ ಅಥವಾ ರಚನಾತ್ಮಕ ಘಟಕವಾಗಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ನಮಗೆ ಇಮೇಲ್ ಕಳುಹಿಸಿ

ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು

SiC ಸೆರಾಮಿಕ್ ಪ್ಲೇಟ್ ಸಾರಾಂಶ

1600°C ವರೆಗಿನ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಅನಿಲಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪರಿಸರಗಳಿಗೆ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಪ್ರತಿರೋಧದೊಂದಿಗೆ, SiC ಪ್ಲೇಟ್ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಎಚ್ಚಣೆ, ಶೇಖರಣೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಸರಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರವಾದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಇದರ ದಟ್ಟವಾದ, ರಂಧ್ರಗಳಿಲ್ಲದ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ರಚನೆಯು ಕಣ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದು ನಿರ್ವಾತ ಅಥವಾ ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್ ಸೆಟ್ಟಿಂಗ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಕ್ಲೀನ್ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.

SiC ಸೆರಾಮಿಕ್ ಪ್ಲೇಟ್ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್

1. ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆ

SiC ಸೆರಾಮಿಕ್ ಪ್ಲೇಟ್‌ಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ CVD (ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ), PVD (ಭೌತಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ) ಮತ್ತು ಎಚ್ಚಣೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಂತಹ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್‌ಗಳು, ಸಸೆಪ್ಟರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಪೀಠದ ಪ್ಲೇಟ್‌ಗಳಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಅವುಗಳ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯು ಏಕರೂಪದ ತಾಪಮಾನ ವಿತರಣೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಗೆ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ. SiC ಯ ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾಗಳಿಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧವು ಕಠಿಣ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಬಾಳಿಕೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಕಣ ಮಾಲಿನ್ಯ ಮತ್ತು ಉಪಕರಣಗಳ ನಿರ್ವಹಣೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

2. ಎಲ್ಇಡಿ ಇಂಡಸ್ಟ್ರಿ - ಐಸಿಪಿ ಎಚ್ಚಣೆ

LED ಉತ್ಪಾದನಾ ವಲಯದಲ್ಲಿ, SiC ಪ್ಲೇಟ್‌ಗಳು ICP (ಇಂಡಕ್ಟಿವ್ಲಿ ಕಪಲ್ಡ್ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ) ಎಚ್ಚಣೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶಗಳಾಗಿವೆ. ವೇಫರ್ ಹೋಲ್ಡರ್‌ಗಳಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುವ ಅವು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ನೀಲಮಣಿ ಅಥವಾ GaN ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸಲು ಸ್ಥಿರ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣವಾಗಿ ದೃಢವಾದ ವೇದಿಕೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತವೆ. ಅವುಗಳ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪ್ರತಿರೋಧ, ಮೇಲ್ಮೈ ಚಪ್ಪಟೆತನ ಮತ್ತು ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆಯು ಹೆಚ್ಚಿನ ಎಚ್ಚಣೆ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದು LED ಚಿಪ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿದ ಇಳುವರಿ ಮತ್ತು ಸಾಧನದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.

3. ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕಗಳು (PV) ಮತ್ತು ಸೌರಶಕ್ತಿ

SiC ಸೆರಾಮಿಕ್ ಪ್ಲೇಟ್‌ಗಳನ್ನು ಸೌರ ಕೋಶ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿಯೂ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಸಿಂಟರ್ರಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಅನೀಲಿಂಗ್ ಹಂತಗಳಲ್ಲಿ. ಎತ್ತರದ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಅವುಗಳ ಜಡತ್ವ ಮತ್ತು ವಾರ್ಪಿಂಗ್ ಅನ್ನು ವಿರೋಧಿಸುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳ ಸ್ಥಿರ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚುವರಿಯಾಗಿ, ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಕೋಶಗಳ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು ಅವುಗಳ ಕಡಿಮೆ ಮಾಲಿನ್ಯದ ಅಪಾಯವು ಅತ್ಯಗತ್ಯ.

SiC ಸೆರಾಮಿಕ್ ಪ್ಲೇಟ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು

1. ಅಸಾಧಾರಣ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ಗಡಸುತನ

SiC ಸೆರಾಮಿಕ್ ಪ್ಲೇಟ್‌ಗಳು ಅತಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತವೆ, ವಿಶಿಷ್ಟವಾದ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ 400 MPa ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಾಗಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವಿಕರ್ಸ್ ಗಡಸುತನ >2000 HV ತಲುಪುತ್ತದೆ. ಇದು ಅವುಗಳನ್ನು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಉಡುಗೆ, ಸವೆತ ಮತ್ತು ವಿರೂಪಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚು ನಿರೋಧಕವಾಗಿಸುತ್ತದೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಹೊರೆ ಅಥವಾ ಪುನರಾವರ್ತಿತ ಉಷ್ಣ ಚಕ್ರದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿಯೂ ಸಹ ದೀರ್ಘ ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.

2. ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ

SiC ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ (ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 120–200 W/m·K), ಇದು ತನ್ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಶಾಖವನ್ನು ಸಮವಾಗಿ ವಿತರಿಸಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ. ಈ ಗುಣವು ವೇಫರ್ ಎಚ್ಚಿಂಗ್, ಶೇಖರಣೆ ಅಥವಾ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡುವಿಕೆಯಂತಹ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ, ಅಲ್ಲಿ ತಾಪಮಾನದ ಏಕರೂಪತೆಯು ಉತ್ಪನ್ನದ ಇಳುವರಿ ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟದ ಮೇಲೆ ನೇರವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.

3. ಉನ್ನತ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ

ಹೆಚ್ಚಿನ ಕರಗುವ ಬಿಂದು (2700°C) ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕ (4.0 × 10⁻⁶/K) ಹೊಂದಿರುವ SiC ಸೆರಾಮಿಕ್ ಪ್ಲೇಟ್‌ಗಳು ತ್ವರಿತ ತಾಪನ ಮತ್ತು ತಂಪಾಗಿಸುವ ಚಕ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಆಯಾಮದ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ರಚನಾತ್ಮಕ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಕಾಯ್ದುಕೊಳ್ಳುತ್ತವೆ. ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಕುಲುಮೆಗಳು, ನಿರ್ವಾತ ಕೋಣೆಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪರಿಸರಗಳಲ್ಲಿ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.

ತಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು
ಸೂಚ್ಯಂಕ	ಘಟಕ	ಮೌಲ್ಯ
ವಸ್ತುವಿನ ಹೆಸರು		ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಸಿಂಟರ್ಡ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್	ಒತ್ತಡರಹಿತ ಸಿಂಟರ್ಡ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್	ಮರುಸ್ಫಟಿಕೀಕರಿಸಿದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್
ಸಂಯೋಜನೆ		ಆರ್‌ಬಿಎಸ್‌ಐಸಿ	ಎಸ್‌ಎಸ್‌ಐಸಿ	ಆರ್-ಸಿಐಸಿ
ಬೃಹತ್ ಸಾಂದ್ರತೆ	ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ	ಎಂಪಿಎ (ಕೆಪಿಎಸ್ಐ)	338(49) 338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
ಸಂಕುಚಿತ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ	ಎಂಪಿಎ (ಕೆಪಿಎಸ್ಐ)	೧೧೨೦(೧೫೮)	3970(560)	> 600
ಗಡಸುತನ	ನೂಪ್	2700 \|	2800	/
ದೃಢತೆಯನ್ನು ಮುರಿಯುವುದು	MPa m1/2	4.5	4	/
ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ	ಪಶ್ಚಿಮ/ಪಶ್ಚಿಮ	95	120 (120)	23
ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಗುಣಾಂಕ	10^-6.1/°C	5	4	4.7
ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಶಾಖ	ಜೌಲ್/ಗ್ರಾಂ 0k	0.8	0.67 (0.67)	/
ಗಾಳಿಯಲ್ಲಿ ಗರಿಷ್ಠ ತಾಪಮಾನ	℃ ℃	1200 (1200)	1500	1600 ಕನ್ನಡ
ಸ್ಥಿತಿಸ್ಥಾಪಕ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್	ಜಿಪಿಎ	360 ·	410 (ಅನುವಾದ)	240

SiC ಸೆರಾಮಿಕ್ ಪ್ಲೇಟ್ ಪ್ರಶ್ನೋತ್ತರಗಳು

ಪ್ರಶ್ನೆ: ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಪ್ಲೇಟ್‌ನ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಯಾವುವು?

ಎ: ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ಪ್ಲೇಟ್‌ಗಳು ಅವುಗಳ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿ, ಗಡಸುತನ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಗೆ ಹೆಸರುವಾಸಿಯಾಗಿದೆ. ಅವು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತವೆ, ತೀವ್ರ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತವೆ. SiC ರಾಸಾಯನಿಕವಾಗಿ ಜಡವಾಗಿದ್ದು, ಆಮ್ಲಗಳು, ಕ್ಷಾರಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪರಿಸರಗಳಿಗೆ ನಿರೋಧಕವಾಗಿದೆ, ಇದು ಅರೆವಾಹಕ ಮತ್ತು LED ಸಂಸ್ಕರಣೆಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ. ಇದರ ದಟ್ಟವಾದ, ನಯವಾದ ಮೇಲ್ಮೈ ಕಣ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. SiC ಪ್ಲೇಟ್‌ಗಳನ್ನು ಅರೆವಾಹಕ, ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಮತ್ತು ಏರೋಸ್ಪೇಸ್ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ನಾಶಕಾರಿ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್‌ಗಳು, ಸಸೆಪ್ಟರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಬೆಂಬಲ ಘಟಕಗಳಾಗಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.