ಸಿಕ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಚಕ್ ಟ್ರೇ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸಕ್ಷನ್ ಕಪ್ಸ್ ನಿಖರ ಯಂತ್ರವನ್ನು ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ
ವಸ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು:
.
2. ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ: ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್‌ನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯು 120-200 w/m · k ನಷ್ಟು ಹೆಚ್ಚಾಗಿದೆ, ಇದು ಶಾಖವನ್ನು ತ್ವರಿತವಾಗಿ ಕರಗಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ವಾತಾವರಣಕ್ಕೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
3. ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಗುಣಾಂಕ: ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಗುಣಾಂಕ ಕಡಿಮೆ (4.0-4.5 × 10⁻⁶/k), ಇನ್ನೂ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು.
4. ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ಥಿರತೆ: ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಆಮ್ಲ ಮತ್ತು ಕ್ಷಾರ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ, ರಾಸಾಯನಿಕ ನಾಶಕಾರಿ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ ಬಳಸಲು ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
5. ಹೆಚ್ಚಿನ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿ: ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ಸಂಕೋಚಕ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಮತ್ತು ದೊಡ್ಡ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಒತ್ತಡವನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಬಲ್ಲದು.
ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು:
.
2. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸಕ್ಕರ್ ಉತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ವ್ಯಾಕ್ಸಿಂಗ್ ಮತ್ತು ವ್ಯಾಕ್ಸಿಂಗ್ ಸಮಯವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಉತ್ಪಾದನಾ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.
3. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಸಕ್ಕರ್ ಉತ್ತಮ ಆಮ್ಲ ಮತ್ತು ಕ್ಷಾರ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯನ್ನು ಸಹ ಹೊಂದಿದೆ.
4. ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಕೊರುಂಡಮ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಪ್ಲೇಟ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, ಲೋಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಇಳಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಿ ಮತ್ತು ತಾಪನ ಮತ್ತು ತಂಪಾಗಿಸುವ ಸಮಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಿ, ಕೆಲಸದ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಿ; ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಇದು ಮೇಲಿನ ಮತ್ತು ಕೆಳಗಿನ ಫಲಕಗಳ ನಡುವಿನ ಉಡುಗೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಉತ್ತಮ ಸಮತಲ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು ಮತ್ತು ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ಸುಮಾರು 40%ರಷ್ಟು ವಿಸ್ತರಿಸಬಹುದು.
5. ವಸ್ತು ಪ್ರಮಾಣವು ಚಿಕ್ಕದಾಗಿದೆ, ಕಡಿಮೆ ತೂಕ. ಸಾರಿಗೆ ತೊಂದರೆಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಘರ್ಷಣೆಯ ಹಾನಿಯ ಅಪಾಯವನ್ನು ಸುಮಾರು 20%ರಷ್ಟು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
6. ಗಾತ್ರ: ಗರಿಷ್ಠ ವ್ಯಾಸ 640 ಮಿಮೀ; ಸಮತಟ್ಟಾದತೆ: 3um ಅಥವಾ ಅದಕ್ಕಿಂತ ಕಡಿಮೆ
ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಕ್ಷೇತ್ರ:
1. ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನೆ
● ವೇಫರ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ:
ಫೋಟೊಲಿಥೊಗ್ರಫಿ, ಎಚ್ಚಣೆ, ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಶೇಖರಣೆ ಮತ್ತು ಇತರ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ಸ್ಥಿರೀಕರಣಕ್ಕಾಗಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಾತ್ರಿಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಇದರ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯು ಕಠಿಣ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪರಿಸರಕ್ಕೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
● ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆ:
ಎಸ್‌ಐಸಿ ಅಥವಾ ಗ್ಯಾನ್ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಯಲ್ಲಿ, ಬಿಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ಬಿಸಿಮಾಡಲು ಮತ್ತು ಸರಿಪಡಿಸಲು ವಾಹಕವಾಗಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ತಾಪಮಾನ ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಫಟಿಕದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಖಾತ್ರಿಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಸಾಧನದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.
2. ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುತ್ ಉಪಕರಣಗಳು
● ಎಲ್ಇಡಿ ಉತ್ಪಾದನೆ:
ನೀಲಮಣಿ ಅಥವಾ ಎಸ್‌ಐಸಿ ತಲಾಧಾರವನ್ನು ಸರಿಪಡಿಸಲು ಮತ್ತು ಎಂಒಸಿವಿಡಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ತಾಪನ ವಾಹಕವಾಗಿ, ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು, ಎಲ್ಇಡಿ ಪ್ರಕಾಶಮಾನವಾದ ದಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
● ಲೇಸರ್ ಡಯೋಡ್:
ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ತಾಪಮಾನದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರವಾದ ಪಂದ್ಯವಾಗಿ, ಫಿಕ್ಸಿಂಗ್ ಮತ್ತು ತಾಪನ ತಲಾಧಾರ, ಲೇಸರ್ ಡಯೋಡ್‌ನ output ಟ್‌ಪುಟ್ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಿ.
3. ನಿಖರ ಯಂತ್ರ
● ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಕಾಂಪೊನೆಂಟ್ ಪ್ರೊಸೆಸಿಂಗ್:
ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಮಸೂರಗಳು ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳಂತಹ ನಿಖರ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಸರಿಪಡಿಸಲು ಇದನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತೀವ್ರತೆಯ ಯಂತ್ರಕ್ಕೆ ಇದು ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆ:
ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಿರತೆಯ ಪಂದ್ಯವಾಗಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ನಾಶಕಾರಿ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ ಯಂತ್ರದ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳ ನಿಖರ ಯಂತ್ರಕ್ಕೆ ಇದು ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
4. ವೈಜ್ಞಾನಿಕ ಪ್ರಯೋಗಗಳು
Temperature ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರಯೋಗ:
ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಮಾದರಿ ಸ್ಥಿರೀಕರಣ ಸಾಧನವಾಗಿ, ತಾಪಮಾನ ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ಮಾದರಿ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಇದು 1600 ° C ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರಯೋಗಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ.
● ನಿರ್ವಾತ ಪರೀಕ್ಷೆ:
ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಮಾದರಿ ಫಿಕ್ಸಿಂಗ್ ಮತ್ತು ತಾಪನ ವಾಹಕವಾಗಿ, ಪ್ರಯೋಗದ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಪುನರಾವರ್ತನೀಯತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು, ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಮತ್ತು ಶಾಖ ಚಿಕಿತ್ಸೆಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
ತಾಂತ್ರಿಕ ವಿಶೇಷಣಗಳು
| (ವಸ್ತು ಆಸ್ತಿ) | (ಘಟಕ) | (ಎಸ್‌ಎಸ್‌ಐಸಿ) | |
| (ಎಸ್‌ಐಸಿ ವಿಷಯ) |
| (ಡಬ್ಲ್ಯೂಟಿ)% | > 99 |
| (ಸರಾಸರಿ ಧಾನ್ಯದ ಗಾತ್ರ) |
| ಸೂಕ್ಷ್ಮ | 4-10 |
| (ಸಾಂದ್ರತೆ) |
| ಕೆಜಿ/ಡಿಎಂ 3 | > 3.14 |
| (ಸ್ಪಷ್ಟ ಸರಂಧ್ರತೆ) |
| Vo1% | <0.5 |
| (ವಿಕರ್ಸ್ ಗಡಸುತನ) | HV 0.5 | ಜಿಪಿಎ | 28 |
| *(ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಶಕ್ತಿ) | 20ºC | ಎಂಪಿಎ ಎಂಪಿಎಗಳನ್ನು ಯುಪಿಎ ಎದೆಗೈ | 450 |
| (ಸಂಕೋಚಕ ಶಕ್ತಿ) | 20ºC | ಎಂಪಿಎ ಎಂಪಿಎಗಳನ್ನು ಯುಪಿಎ ಎದೆಗೈ | 3900 |
| (ಸ್ಥಿತಿಸ್ಥಾಪಕ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್) | 20ºC | ಜಿಪಿಎ | 420 |
| (ಮುರಿತದ ಕಠಿಣತೆ) |
| ಎಂಪಿಎ/ಎಂ '% | 3.5 |
| (ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ) | 20 ° ºC | W/(m*k) | 160 |
| (ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆ) | 20 ° ºC | OHM.CM | 106-108 |
|
| ಎ (ಆರ್ಟಿ ** ... 80º ಸಿ) | ಕೆ -1*10-6 | 4.3 |
|
|
| OºC | 1700 |
ತಾಂತ್ರಿಕ ಶೇಖರಣೆ ಮತ್ತು ಉದ್ಯಮದ ಅನುಭವದ ವರ್ಷಗಳೊಂದಿಗೆ, ಗ್ರಾಹಕರ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಅಗತ್ಯಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಚಕ್‌ನ ಗಾತ್ರ, ತಾಪನ ವಿಧಾನ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತ ಹೊರಹೀರುವಿಕೆಯ ವಿನ್ಯಾಸದಂತಹ ಪ್ರಮುಖ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ಸರಿಹೊಂದಿಸಲು ಎಕ್ಸ್‌ಕೆಹೆಚ್ ಸಾಧ್ಯವಾಗುತ್ತದೆ, ಉತ್ಪನ್ನವನ್ನು ಗ್ರಾಹಕರ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳಲಾಗಿದೆಯೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಎಸ್‌ಐಸಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಚಕ್‌ಗಳು ಅವುಗಳ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ಥಿರತೆಯಿಂದಾಗಿ ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆ, ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆ ಮತ್ತು ಇತರ ಪ್ರಮುಖ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಅನಿವಾರ್ಯ ಅಂಶಗಳಾಗಿವೆ. ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಮೂರನೇ ತಲೆಮಾರಿನ ಅರೆವಾಹಕ ವಸ್ತುಗಳಾದ ಎಸ್‌ಐಸಿ ಮತ್ತು ಗ್ಯಾನ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಚಕ್‌ಗಳ ಬೇಡಿಕೆ ಬೆಳೆಯುತ್ತಲೇ ಇದೆ. ಭವಿಷ್ಯದಲ್ಲಿ, 5 ಜಿ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ವಾಹನಗಳು, ಕೃತಕ ಬುದ್ಧಿಮತ್ತೆ ಮತ್ತು ಇತರ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳ ತ್ವರಿತ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯೊಂದಿಗೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಚಕ್‌ಗಳ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ನಿರೀಕ್ಷೆಗಳು ವಿಶಾಲವಾಗಿರುತ್ತವೆ.
ವಿವರವಾದ ರೇಖಾಚಿತ್ರ
ಉತ್ಪನ್ನಗಳ ವರ್ಗಗಳು
-
ಸಿವಿಡಿ ಸಿಕ್ ಕೋ ಜೊತೆ ಸಿಕ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಟ್ರೇ ಪ್ಲೇಟ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ...
-
ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಟ್ರೇ ಸಕ್ಕರ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ ...
-
ಸಿಕ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಬಾಲ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ವೇರ್-ಆರ್ ...
-
ಕಸ್ಟಮ್ ಕೈಗಾರಿಕಾ ಎಸ್‌ಐಸಿ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಪಾರ್ಟ್ಸ್ ಫ್ಯಾಕ್ಟರಿ ರೆಸ್ ...
-
ಕಸ್ಟಮ್ ಕೈಗಾರಿಕಾ ಎಸ್‌ಐಸಿ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಪಾರ್ಟ್ಸ್ ಫ್ಯಾಕ್ಟರಿ ರೆಸ್ ...
-
ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಆರ್ಮ್ ಕಸ್ಟಮ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ರೊಬೊಟಿಕ್ ಆರ್ಮ್