ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಪರಮಾಣುಗಳ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಪದರವನ್ನು ಬೆಳೆಸುವುದು ಹಲವಾರು ಪ್ರಯೋಜನಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ:
CMOS ಸಿಲಿಕಾನ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ, ವೇಫರ್ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲಿನ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆ (EPI) ಒಂದು ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಹಂತವಾಗಿದೆ.
1, ಸ್ಫಟಿಕ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುವುದು
ಆರಂಭಿಕ ತಲಾಧಾರದ ದೋಷಗಳು ಮತ್ತು ಕಲ್ಮಶಗಳು: ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ವೇಫರ್ ತಲಾಧಾರವು ಕೆಲವು ದೋಷಗಳು ಮತ್ತು ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರಬಹುದು. ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಪದರದ ಬೆಳವಣಿಗೆಯು ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಮೊನೊಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಪದರವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಬಹುದು, ಕಡಿಮೆ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ದೋಷಗಳು ಮತ್ತು ಕಲ್ಮಶಗಳು ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ, ಇದು ನಂತರದ ಸಾಧನ ತಯಾರಿಕೆಗೆ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ.
ಏಕರೂಪದ ಸ್ಫಟಿಕ ರಚನೆ: ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಯು ಹೆಚ್ಚು ಏಕರೂಪದ ಸ್ಫಟಿಕ ರಚನೆಯನ್ನು ಖಾತ್ರಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, ಧಾನ್ಯದ ಗಡಿಗಳು ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರದ ವಸ್ತುಗಳಲ್ಲಿನ ದೋಷಗಳ ಪ್ರಭಾವವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ವೇಫರ್ನ ಒಟ್ಟಾರೆ ಸ್ಫಟಿಕ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.
2, ವಿದ್ಯುತ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಿ.
ಸಾಧನದ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಉತ್ತಮಗೊಳಿಸುವುದು: ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಪದರವನ್ನು ಬೆಳೆಸುವ ಮೂಲಕ, ಡೋಪಿಂಗ್ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ನ ಪ್ರಕಾರವನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಬಹುದು, ಸಾಧನದ ವಿದ್ಯುತ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಉತ್ತಮಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, MOSFET ಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ವಿದ್ಯುತ್ ನಿಯತಾಂಕಗಳ ಮಿತಿ ವೋಲ್ಟೇಜ್ ಅನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಲು ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಪದರದ ಡೋಪಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಉತ್ತಮವಾಗಿ ಸರಿಹೊಂದಿಸಬಹುದು.
ಸೋರಿಕೆ ಪ್ರವಾಹವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವುದು: ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಪದರವು ಕಡಿಮೆ ದೋಷದ ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಇದು ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿನ ಸೋರಿಕೆ ಪ್ರವಾಹವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಸಾಧನದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.
3, ವಿದ್ಯುತ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಿ.
ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯದ ಗಾತ್ರವನ್ನು ಕಡಿಮೆಗೊಳಿಸುವುದು: ಸಣ್ಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನೋಡ್‌ಗಳಲ್ಲಿ (ಉದಾಹರಣೆಗೆ 7nm, 5nm), ಸಾಧನಗಳ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯದ ಗಾತ್ರವು ಕುಗ್ಗುತ್ತಲೇ ಇರುತ್ತದೆ, ಹೆಚ್ಚು ಸಂಸ್ಕರಿಸಿದ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ-ಗುಣಮಟ್ಟದ ವಸ್ತುಗಳ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ. ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಈ ಬೇಡಿಕೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಬಲ್ಲದು, ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳ ತಯಾರಿಕೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ.
ಬ್ರೇಕ್‌ಡೌನ್ ವೋಲ್ಟೇಜ್ ಅನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುವುದು: ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಲೇಯರ್‌ಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ಬ್ರೇಕ್‌ಡೌನ್ ವೋಲ್ಟೇಜ್‌ಗಳೊಂದಿಗೆ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಬಹುದು, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ-ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ-ವೋಲ್ಟೇಜ್ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ವಿದ್ಯುತ್ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ, ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಲೇಯರ್‌ಗಳು ಸಾಧನದ ಸ್ಥಗಿತ ವೋಲ್ಟೇಜ್ ಅನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಬಹುದು, ಸುರಕ್ಷಿತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಬಹುದು.
4, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ ಮತ್ತು ಬಹುಪದರದ ರಚನೆಗಳು
ಬಹುಪದರದ ರಚನೆಗಳು: ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ತಲಾಧಾರಗಳ ಮೇಲೆ ಬಹುಪದರದ ರಚನೆಗಳ ಬೆಳವಣಿಗೆಗೆ ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ, ವಿವಿಧ ಪದರಗಳು ವಿಭಿನ್ನ ಡೋಪಿಂಗ್ ಸಾಂದ್ರತೆಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ರಕಾರಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತವೆ. ಸಂಕೀರ್ಣ CMOS ಸಾಧನಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಮತ್ತು ಮೂರು ಆಯಾಮದ ಏಕೀಕರಣವನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸಲು ಇದು ಹೆಚ್ಚು ಪ್ರಯೋಜನಕಾರಿಯಾಗಿದೆ.
ಹೊಂದಾಣಿಕೆ: ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಅಸ್ತಿತ್ವದಲ್ಲಿರುವ CMOS ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೆಚ್ಚು ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಾಲುಗಳಿಗೆ ಗಮನಾರ್ಹ ಮಾರ್ಪಾಡುಗಳ ಅಗತ್ಯವಿಲ್ಲದೇ ಪ್ರಸ್ತುತ ಉತ್ಪಾದನಾ ಕೆಲಸದ ಹರಿವುಗಳಿಗೆ ಸಂಯೋಜಿಸಲು ಸುಲಭವಾಗುತ್ತದೆ.
ಸಾರಾಂಶ: CMOS ಸಿಲಿಕಾನ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಅನ್ವಯವು ಪ್ರಾಥಮಿಕವಾಗಿ ವೇಫರ್ ಸ್ಫಟಿಕ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು, ಸಾಧನದ ವಿದ್ಯುತ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲು, ಸುಧಾರಿತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನೋಡ್‌ಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸಲು ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ಬೇಡಿಕೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುವ ಗುರಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ವಸ್ತುವಿನ ಡೋಪಿಂಗ್ ಮತ್ತು ರಚನೆಯ ನಿಖರವಾದ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ, ಒಟ್ಟಾರೆ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಸಾಧನಗಳ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಅಕ್ಟೋಬರ್-16-2024