ವೇಫರ್‌ಗಳಲ್ಲಿ TTV, BOW, WARP ಮತ್ತು TIR ಗಳ ಅರ್ಥವೇನು?

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳು ಅಥವಾ ಇತರ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ಮಾಡಿದ ತಲಾಧಾರಗಳನ್ನು ಪರೀಕ್ಷಿಸುವಾಗ, ನಾವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ತಾಂತ್ರಿಕ ಸೂಚಕಗಳನ್ನು ಎದುರಿಸುತ್ತೇವೆ: TTV, BOW, WARP, ಮತ್ತು ಬಹುಶಃ TIR, STIR, LTV, ಇತರವುಗಳಲ್ಲಿ ಸೇರಿವೆ. ಇವು ಯಾವ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ಪ್ರತಿನಿಧಿಸುತ್ತವೆ?

ಟಿಟಿವಿ — ಒಟ್ಟು ದಪ್ಪ ವ್ಯತ್ಯಾಸ
ಬಿಲ್ಲು - ಬಿಲ್ಲು
ವಾರ್ಪ್ - ವಾರ್ಪ್
TIR — ಒಟ್ಟು ಸೂಚಿಸಿದ ಓದುವಿಕೆ
STIR — ಸೈಟ್‌ನ ಒಟ್ಟು ಸೂಚಿಸಲಾದ ಓದುವಿಕೆ
LTV — ಸ್ಥಳೀಯ ದಪ್ಪ ವ್ಯತ್ಯಾಸ

1. ಒಟ್ಟು ದಪ್ಪ ವ್ಯತ್ಯಾಸ - ಟಿಟಿವಿ

ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಬಿಗಿಗೊಳಿಸಿದಾಗ ಮತ್ತು ನಿಕಟ ಸಂಪರ್ಕದಲ್ಲಿರುವಾಗ ಉಲ್ಲೇಖ ಸಮತಲಕ್ಕೆ ಸಂಬಂಧಿಸಿದಂತೆ ವೇಫರ್‌ನ ಗರಿಷ್ಠ ಮತ್ತು ಕನಿಷ್ಠ ದಪ್ಪದ ನಡುವಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸ. ಇದನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಮೈಕ್ರೋಮೀಟರ್‌ಗಳಲ್ಲಿ (μm) ವ್ಯಕ್ತಪಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಈ ಕೆಳಗಿನಂತೆ ಪ್ರತಿನಿಧಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ: ≤15 μm.

2. ಬಿಲ್ಲು - ಬಿಲ್ಲು

ವೇಫರ್ ಮುಕ್ತ (ಕ್ಲ್ಯಾಂಪ್ ಮಾಡದ) ಸ್ಥಿತಿಯಲ್ಲಿರುವಾಗ ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಯ ಮಧ್ಯದ ಬಿಂದುವಿನಿಂದ ಉಲ್ಲೇಖ ಸಮತಲಕ್ಕೆ ಕನಿಷ್ಠ ಮತ್ತು ಗರಿಷ್ಠ ಅಂತರದ ನಡುವಿನ ವಿಚಲನ. ಇದು ಕಾನ್ಕೇವ್ (ಋಣಾತ್ಮಕ ಬಿಲ್ಲು) ಮತ್ತು ಪೀನ (ಧನಾತ್ಮಕ ಬಿಲ್ಲು) ಪ್ರಕರಣಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ. ಇದನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಮೈಕ್ರೋಮೀಟರ್‌ಗಳಲ್ಲಿ (μm) ವ್ಯಕ್ತಪಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಈ ಕೆಳಗಿನಂತೆ ಪ್ರತಿನಿಧಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ: ≤40 μm.

3. ವಾರ್ಪ್ - ವಾರ್ಪ್

ವೇಫರ್ ಮುಕ್ತ (ಕ್ಲ್ಯಾಂಪ್ ಮಾಡದ) ಸ್ಥಿತಿಯಲ್ಲಿರುವಾಗ ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಯಿಂದ ಉಲ್ಲೇಖ ಸಮತಲಕ್ಕೆ (ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ವೇಫರ್‌ನ ಹಿಂಭಾಗದ ಮೇಲ್ಮೈ) ಕನಿಷ್ಠ ಮತ್ತು ಗರಿಷ್ಠ ಅಂತರದ ನಡುವಿನ ವಿಚಲನ. ಇದು ಕಾನ್ಕೇವ್ (ಋಣಾತ್ಮಕ ವಾರ್ಪ್) ಮತ್ತು ಪೀನ (ಧನಾತ್ಮಕ ವಾರ್ಪ್) ಪ್ರಕರಣಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ. ಇದನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಮೈಕ್ರೋಮೀಟರ್‌ಗಳಲ್ಲಿ (μm) ವ್ಯಕ್ತಪಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಈ ಕೆಳಗಿನಂತೆ ಪ್ರತಿನಿಧಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ: ≤30 μm.

4. ಒಟ್ಟು ಸೂಚಿಸಲಾದ ಓದುವಿಕೆ - TIR

ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಕ್ಲ್ಯಾಂಪ್ ಮಾಡಿ ನಿಕಟ ಸಂಪರ್ಕದಲ್ಲಿರುವಾಗ, ಗುಣಮಟ್ಟದ ಪ್ರದೇಶದೊಳಗಿನ ಎಲ್ಲಾ ಬಿಂದುಗಳ ಪ್ರತಿಬಂಧಕಗಳ ಮೊತ್ತವನ್ನು ಅಥವಾ ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ನಿರ್ದಿಷ್ಟಪಡಿಸಿದ ಸ್ಥಳೀಯ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವ ಉಲ್ಲೇಖ ಸಮತಲವನ್ನು ಬಳಸುವಾಗ, TIR ಎಂದರೆ ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಯಿಂದ ಈ ಉಲ್ಲೇಖ ಸಮತಲಕ್ಕೆ ಗರಿಷ್ಠ ಮತ್ತು ಕನಿಷ್ಠ ಅಂತರಗಳ ನಡುವಿನ ವಿಚಲನ.

TTV, BOW, WARP, ಮತ್ತು TIR ನಂತಹ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವಸ್ತು ವಿಶೇಷಣಗಳಲ್ಲಿ ಆಳವಾದ ಪರಿಣತಿಯ ಮೇಲೆ ಸ್ಥಾಪಿತವಾದ XKH, ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಉದ್ಯಮ ಮಾನದಂಡಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ನಿಖರವಾದ ಕಸ್ಟಮ್ ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸೇವೆಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ನಾವು ನೀಲಮಣಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC), ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳು, SOI ಮತ್ತು ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆ ಸೇರಿದಂತೆ ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಉನ್ನತ-ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತೇವೆ ಮತ್ತು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತೇವೆ, ಆಪ್ಟೊಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್, ವಿದ್ಯುತ್ ಸಾಧನಗಳು ಮತ್ತು MEMS ನಲ್ಲಿನ ಮುಂದುವರಿದ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ಅಸಾಧಾರಣ ಚಪ್ಪಟೆತನ, ದಪ್ಪ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತೇವೆ. ನಿಮ್ಮ ಅತ್ಯಂತ ಬೇಡಿಕೆಯ ವಿನ್ಯಾಸ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುವ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ವಸ್ತು ಪರಿಹಾರಗಳು ಮತ್ತು ನಿಖರ ಯಂತ್ರೋಪಕರಣವನ್ನು ತಲುಪಿಸಲು ನಮ್ಮನ್ನು ನಂಬಿರಿ.