ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಮೌಲ್ಯಮಾಪನದ ಸೂಚಕಗಳು ಯಾವುವು?

TTV, Bow, Warp ನಡುವಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸವೇನು?

TTV ದಪ್ಪದಲ್ಲಿನ ಬದಲಾವಣೆಗಳ ಮೇಲೆ ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವೇಫರ್‌ನ ಬಾಗುವಿಕೆ ಅಥವಾ ಅಸ್ಪಷ್ಟತೆಯ ಬಗ್ಗೆ ಚಿಂತಿಸುವುದಿಲ್ಲ.

ಬಿಲ್ಲು ಒಟ್ಟಾರೆ ಬೆಂಡ್ ಅನ್ನು ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸುತ್ತದೆ, ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಕೇಂದ್ರ ಬಿಂದು ಮತ್ತು ಅಂಚಿನ ಬೆಂಡ್ ಅನ್ನು ಪರಿಗಣಿಸುತ್ತದೆ.

ಸಂಪೂರ್ಣ ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಬಾಗುವುದು ಮತ್ತು ತಿರುಗಿಸುವುದು ಸೇರಿದಂತೆ ವಾರ್ಪ್ ಹೆಚ್ಚು ಸಮಗ್ರವಾಗಿದೆ.

ಈ ಮೂರು ನಿಯತಾಂಕಗಳು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ನ ಆಕಾರ ಮತ್ತು ಜ್ಯಾಮಿತೀಯ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಿಗೆ ಸಂಬಂಧಿಸಿದ್ದರೂ, ಅವುಗಳನ್ನು ಅಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವಿಭಿನ್ನವಾಗಿ ವಿವರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಮೇಲೆ ಅವುಗಳ ಪ್ರಭಾವವೂ ವಿಭಿನ್ನವಾಗಿರುತ್ತದೆ.

ಚಿಕ್ಕದಾದ ಮೂರು ನಿಯತಾಂಕಗಳು, ಉತ್ತಮ, ಮತ್ತು ದೊಡ್ಡದಾದ ನಿಯತಾಂಕ, ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಮೇಲೆ ಋಣಾತ್ಮಕ ಪ್ರಭಾವವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಅರೆವಾಹಕ ಅಭ್ಯಾಸಕಾರರಾಗಿ, ಸಂಪೂರ್ಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ವೇಫರ್ ಪ್ರೊಫೈಲ್ ನಿಯತಾಂಕಗಳ ಪ್ರಾಮುಖ್ಯತೆಯನ್ನು ನಾವು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳಬೇಕು, ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಮಾಡಿ, ವಿವರಗಳಿಗೆ ಗಮನ ಕೊಡಬೇಕು.

(ಸೆನ್ಸಾರ್)