ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಮೌಲ್ಯಮಾಪನದ ಸೂಚಕಗಳು ಯಾವುವು?

ಅರೆವಾಹಕ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ನಿರಂತರ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯೊಂದಿಗೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮ ಮತ್ತು ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿಯೂ ಸಹ, ವೇಫರ್ ತಲಾಧಾರ ಅಥವಾ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಹಾಳೆಯ ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು ಸಹ ತುಂಬಾ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾಗಿವೆ. ಹಾಗಾದರೆ, ವೇಫರ್‌ಗಳಿಗೆ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು ಯಾವುವು?ನೀಲಮಣಿ ವೇಫರ್ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ವೇಫರ್‌ಗಳ ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಮೌಲ್ಯಮಾಪನ ಮಾಡಲು ಯಾವ ಸೂಚಕಗಳನ್ನು ಬಳಸಬಹುದು?

ವೇಫರ್‌ಗಳ ಮೌಲ್ಯಮಾಪನ ಸೂಚಕಗಳು ಯಾವುವು?

ಮೂರು ಸೂಚಕಗಳು
ನೀಲಮಣಿ ವೇಫರ್‌ಗಳಿಗೆ, ಅದರ ಮೌಲ್ಯಮಾಪನ ಸೂಚಕಗಳು ಒಟ್ಟು ದಪ್ಪ ವಿಚಲನ (TTV), ಬಾಗುವಿಕೆ (ಬಿಲ್ಲು) ಮತ್ತು ವಾರ್ಪ್ (ವಾರ್ಪ್). ಈ ಮೂರು ನಿಯತಾಂಕಗಳು ಒಟ್ಟಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ನ ಚಪ್ಪಟೆತನ ಮತ್ತು ದಪ್ಪದ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ಪ್ರತಿಬಿಂಬಿಸುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ವೇಫರ್‌ನ ಏರಿಳಿತದ ಮಟ್ಟವನ್ನು ಅಳೆಯಬಹುದು. ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಯ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಮೌಲ್ಯಮಾಪನ ಮಾಡಲು ಸುಕ್ಕುಗಟ್ಟುವಿಕೆಯನ್ನು ಚಪ್ಪಟೆತನದೊಂದಿಗೆ ಸಂಯೋಜಿಸಬಹುದು.

ಎಚ್‌ಎಚ್‌5

ಟಿಟಿವಿ, ಬಿಒಡಬ್ಲ್ಯೂ, ವಾರ್ಪ್ ಎಂದರೇನು?
ಟಿಟಿವಿ (ಒಟ್ಟು ದಪ್ಪ ವ್ಯತ್ಯಾಸ)

ಎಚ್‌ಎಚ್8

TTV ಎಂದರೆ ವೇಫರ್‌ನ ಗರಿಷ್ಠ ಮತ್ತು ಕನಿಷ್ಠ ದಪ್ಪದ ನಡುವಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸ. ಈ ನಿಯತಾಂಕವು ವೇಫರ್ ದಪ್ಪದ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ಅಳೆಯಲು ಬಳಸುವ ಪ್ರಮುಖ ಸೂಚ್ಯಂಕವಾಗಿದೆ. ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ವೇಫರ್‌ನ ದಪ್ಪವು ಸಂಪೂರ್ಣ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಬಹಳ ಏಕರೂಪವಾಗಿರಬೇಕು. ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ವೇಫರ್‌ನ ಐದು ಸ್ಥಳಗಳಲ್ಲಿ ಅಳತೆಗಳನ್ನು ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನು ಲೆಕ್ಕಹಾಕಲಾಗುತ್ತದೆ. ಅಂತಿಮವಾಗಿ, ಈ ಮೌಲ್ಯವು ವೇಫರ್‌ನ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ನಿರ್ಣಯಿಸಲು ಪ್ರಮುಖ ಆಧಾರವಾಗಿದೆ.

ಬಿಲ್ಲು

ಎಚ್‌ಎಚ್7

ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಬಿಲ್ಲು ಎಂದರೆ ವೇಫರ್‌ನ ಬಾಗುವಿಕೆಯನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಕ್ಲಾಂಪ್ ಮಾಡದ ವೇಫರ್‌ನ ಮಧ್ಯಬಿಂದು ಮತ್ತು ಉಲ್ಲೇಖ ಸಮತಲದ ನಡುವಿನ ಅಂತರವನ್ನು ಮುಕ್ತಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಪದವು ಬಹುಶಃ ವಸ್ತುವು ಬಾಗಿದಾಗ ಅದರ ಆಕಾರದ ವಿವರಣೆಯಿಂದ ಬಂದಿದೆ, ಬಿಲ್ಲಿನ ಬಾಗಿದ ಆಕಾರದಂತೆ. ಬಿಲ್ಲಿನ ಮೌಲ್ಯವನ್ನು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ನ ಮಧ್ಯ ಮತ್ತು ಅಂಚಿನ ನಡುವಿನ ವಿಚಲನವನ್ನು ಅಳೆಯುವ ಮೂಲಕ ವ್ಯಾಖ್ಯಾನಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಈ ಮೌಲ್ಯವನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಮೈಕ್ರೋಮೀಟರ್‌ಗಳಲ್ಲಿ (µm) ವ್ಯಕ್ತಪಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ವಾರ್ಪ್

ಎಚ್‌ಎಚ್‌6

ವಾರ್ಪ್ ಎಂಬುದು ವೇಫರ್‌ಗಳ ಜಾಗತಿಕ ಆಸ್ತಿಯಾಗಿದ್ದು, ಇದು ಮುಕ್ತವಾಗಿ ಕ್ಲಾಂಪ್ ಮಾಡದ ವೇಫರ್‌ನ ಮಧ್ಯ ಮತ್ತು ಉಲ್ಲೇಖ ಸಮತಲದ ನಡುವಿನ ಗರಿಷ್ಠ ಮತ್ತು ಕನಿಷ್ಠ ಅಂತರದ ನಡುವಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನು ಅಳೆಯುತ್ತದೆ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಿಂದ ಸಮತಲಕ್ಕೆ ಇರುವ ಅಂತರವನ್ನು ಪ್ರತಿನಿಧಿಸುತ್ತದೆ.

ಬಿ-ಪಿಕ್

ಟಿಟಿವಿ, ಬೋ, ವಾರ್ಪ್ ನಡುವಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸವೇನು?

ಟಿಟಿವಿ ದಪ್ಪದಲ್ಲಿನ ಬದಲಾವಣೆಗಳ ಮೇಲೆ ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವೇಫರ್‌ನ ಬಾಗುವಿಕೆ ಅಥವಾ ಅಸ್ಪಷ್ಟತೆಯ ಬಗ್ಗೆ ಕಾಳಜಿ ವಹಿಸುವುದಿಲ್ಲ.

ಬಿಲ್ಲು ಒಟ್ಟಾರೆ ಬಾಗುವಿಕೆಯ ಮೇಲೆ ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸುತ್ತದೆ, ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಮಧ್ಯದ ಬಿಂದು ಮತ್ತು ಅಂಚಿನ ಬಾಗುವಿಕೆಯನ್ನು ಪರಿಗಣಿಸುತ್ತದೆ.

ವಾರ್ಪ್ ಹೆಚ್ಚು ಸಮಗ್ರವಾಗಿದೆ, ಇದರಲ್ಲಿ ಸಂಪೂರ್ಣ ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಬಾಗಿಸುವುದು ಮತ್ತು ತಿರುಚುವುದು ಸೇರಿದೆ.

ಈ ಮೂರು ನಿಯತಾಂಕಗಳು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ನ ಆಕಾರ ಮತ್ತು ಜ್ಯಾಮಿತೀಯ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಿಗೆ ಸಂಬಂಧಿಸಿದ್ದರೂ, ಅವುಗಳನ್ನು ಅಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವಿಭಿನ್ನವಾಗಿ ವಿವರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಮೇಲೆ ಅವುಗಳ ಪ್ರಭಾವವೂ ವಿಭಿನ್ನವಾಗಿರುತ್ತದೆ.

ಮೂರು ನಿಯತಾಂಕಗಳು ಚಿಕ್ಕದಾಗಿದ್ದರೆ, ಉತ್ತಮ ಮತ್ತು ನಿಯತಾಂಕವು ದೊಡ್ಡದಾಗಿದ್ದರೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಮೇಲೆ ನಕಾರಾತ್ಮಕ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಅರೆವಾಹಕ ವೃತ್ತಿಪರರಾಗಿ, ನಾವು ಸಂಪೂರ್ಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ವೇಫರ್ ಪ್ರೊಫೈಲ್ ನಿಯತಾಂಕಗಳ ಪ್ರಾಮುಖ್ಯತೆಯನ್ನು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳಬೇಕು, ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಮಾಡಬೇಕು, ವಿವರಗಳಿಗೆ ಗಮನ ಕೊಡಬೇಕು.

(ಸೆನ್ಸಾರ್‌ಶಿಪ್)


ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಜೂನ್-24-2024