ವೇಫರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ SPC ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಆಳವಾದ ತಿಳುವಳಿಕೆ

1. SPC ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಅವಲೋಕನ

SPC ಎನ್ನುವುದು ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಿಸಲು ಸಂಖ್ಯಾಶಾಸ್ತ್ರೀಯ ತಂತ್ರಗಳನ್ನು ಬಳಸುವ ಒಂದು ವಿಧಾನವಾಗಿದೆ. ನೈಜ-ಸಮಯದ ಡೇಟಾವನ್ನು ಸಂಗ್ರಹಿಸಿ ವಿಶ್ಲೇಷಿಸುವ ಮೂಲಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿನ ವೈಪರೀತ್ಯಗಳನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚುವುದು ಇದರ ಪ್ರಮುಖ ಕಾರ್ಯವಾಗಿದೆ, ಎಂಜಿನಿಯರ್‌ಗಳು ಸಕಾಲಿಕ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಗಳು ಮತ್ತು ನಿರ್ಧಾರಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವುದು, ಉತ್ಪನ್ನದ ಗುಣಮಟ್ಟ ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುವುದನ್ನು ಮತ್ತು ವಿಶೇಷಣಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುವುದನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವುದು SPC ಯ ಗುರಿಯಾಗಿದೆ.

ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ SPC ಯನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ:

ನಿರ್ಣಾಯಕ ಸಲಕರಣೆಗಳ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡಿ (ಉದಾ., ಎಚ್ಚಣೆ ದರ, RF ಶಕ್ತಿ, ಚೇಂಬರ್ ಒತ್ತಡ, ತಾಪಮಾನ, ಇತ್ಯಾದಿ)

ಪ್ರಮುಖ ಉತ್ಪನ್ನ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಸೂಚಕಗಳನ್ನು ವಿಶ್ಲೇಷಿಸಿ (ಉದಾ. ರೇಖೆಯ ಅಗಲ, ಎಚ್ಚಣೆ ಆಳ, ಅಂಚಿನ ಒರಟುತನ, ಇತ್ಯಾದಿ)

ಈ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡುವ ಮೂಲಕ, ಎಂಜಿನಿಯರ್‌ಗಳು ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿನ ಉಪಕರಣಗಳ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಅವನತಿ ಅಥವಾ ವಿಚಲನಗಳನ್ನು ಸೂಚಿಸುವ ಪ್ರವೃತ್ತಿಗಳನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಬಹುದು, ಹೀಗಾಗಿ ಸ್ಕ್ರ್ಯಾಪ್ ದರಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಬಹುದು.

2. SPC ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಮೂಲ ಘಟಕಗಳು

SPC ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಹಲವಾರು ಪ್ರಮುಖ ಮಾಡ್ಯೂಲ್‌ಗಳಿಂದ ಕೂಡಿದೆ:

ದತ್ತಾಂಶ ಸಂಗ್ರಹ ಮಾಡ್ಯೂಲ್: ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಹರಿವುಗಳಿಂದ (ಉದಾ, FDC, EES ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳ ಮೂಲಕ) ನೈಜ-ಸಮಯದ ದತ್ತಾಂಶವನ್ನು ಸಂಗ್ರಹಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಮುಖ ನಿಯತಾಂಕಗಳು ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನಾ ಫಲಿತಾಂಶಗಳನ್ನು ದಾಖಲಿಸುತ್ತದೆ.

ನಿಯಂತ್ರಣ ಚಾರ್ಟ್ ಮಾಡ್ಯೂಲ್: ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ದೃಶ್ಯೀಕರಿಸಲು ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ನಿಯಂತ್ರಣದಲ್ಲಿದೆಯೇ ಎಂದು ನಿರ್ಧರಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡಲು ಸಂಖ್ಯಾಶಾಸ್ತ್ರೀಯ ನಿಯಂತ್ರಣ ಚಾರ್ಟ್‌ಗಳನ್ನು (ಉದಾ. ಎಕ್ಸ್-ಬಾರ್ ಚಾರ್ಟ್, ಆರ್ ಚಾರ್ಟ್, ಸಿಪಿ/ಸಿಪಿಕೆ ಚಾರ್ಟ್) ಬಳಸುತ್ತದೆ.

ಎಚ್ಚರಿಕೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆ: ನಿರ್ಣಾಯಕ ನಿಯತಾಂಕಗಳು ನಿಯಂತ್ರಣ ಮಿತಿಗಳನ್ನು ಮೀರಿದಾಗ ಅಥವಾ ಪ್ರವೃತ್ತಿ ಬದಲಾವಣೆಗಳನ್ನು ತೋರಿಸಿದಾಗ ಎಚ್ಚರಿಕೆಗಳನ್ನು ಪ್ರಚೋದಿಸುತ್ತದೆ, ಎಂಜಿನಿಯರ್‌ಗಳು ಕ್ರಮ ಕೈಗೊಳ್ಳಲು ಪ್ರೇರೇಪಿಸುತ್ತದೆ.

ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ ಮತ್ತು ವರದಿ ಮಾಡ್ಯೂಲ್: SPC ಚಾರ್ಟ್‌ಗಳ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ ವೈಪರೀತ್ಯಗಳ ಮೂಲ ಕಾರಣವನ್ನು ವಿಶ್ಲೇಷಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ಸಲಕರಣೆಗಳಿಗೆ ನಿಯಮಿತವಾಗಿ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ವರದಿಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ.

3. SPC ಯಲ್ಲಿ ನಿಯಂತ್ರಣ ಚಾರ್ಟ್‌ಗಳ ವಿವರವಾದ ವಿವರಣೆ

ನಿಯಂತ್ರಣ ಚಾರ್ಟ್‌ಗಳು SPC ಯಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದಾಗಿದ್ದು, "ಸಾಮಾನ್ಯ ವ್ಯತ್ಯಾಸ" (ನೈಸರ್ಗಿಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ) ಮತ್ತು "ಅಸಹಜ ವ್ಯತ್ಯಾಸ" (ಉಪಕರಣಗಳ ವೈಫಲ್ಯಗಳು ಅಥವಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ವಿಚಲನಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ) ನಡುವೆ ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನು ಕಂಡುಹಿಡಿಯಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಸಾಮಾನ್ಯ ನಿಯಂತ್ರಣ ಚಾರ್ಟ್‌ಗಳು ಇವುಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿವೆ:

ಎಕ್ಸ್-ಬಾರ್ ಮತ್ತು ಆರ್ ಚಾರ್ಟ್‌ಗಳು: ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಸ್ಥಿರವಾಗಿದೆಯೇ ಎಂದು ವೀಕ್ಷಿಸಲು ಉತ್ಪಾದನಾ ಬ್ಯಾಚ್‌ಗಳಲ್ಲಿನ ಸರಾಸರಿ ಮತ್ತು ಶ್ರೇಣಿಯನ್ನು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

Cp ಮತ್ತು Cpk ಸೂಚ್ಯಂಕಗಳು: ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಅಳೆಯಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಅಂದರೆ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಔಟ್‌ಪುಟ್ ನಿರ್ದಿಷ್ಟತೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಸ್ಥಿರವಾಗಿ ಪೂರೈಸಬಹುದೇ ಎಂದು. Cp ಸಂಭಾವ್ಯ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಅಳೆಯುತ್ತದೆ, ಆದರೆ Cpk ನಿರ್ದಿಷ್ಟತೆಯ ಮಿತಿಗಳಿಂದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಕೇಂದ್ರದ ವಿಚಲನವನ್ನು ಪರಿಗಣಿಸುತ್ತದೆ.

ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ನೀವು ಎಚ್ಚಣೆ ದರ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನದಂತಹ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡಬಹುದು. ಒಂದು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಉಪಕರಣದ ಎಚ್ಚಣೆ ದರವು ನಿಯಂತ್ರಣ ಮಿತಿಯನ್ನು ಮೀರಿದರೆ, ಇದು ನೈಸರ್ಗಿಕ ವ್ಯತ್ಯಾಸವೇ ಅಥವಾ ಉಪಕರಣದ ಅಸಮರ್ಪಕ ಕಾರ್ಯದ ಸೂಚನೆಯೇ ಎಂದು ನಿರ್ಧರಿಸಲು ನೀವು ನಿಯಂತ್ರಣ ಚಾರ್ಟ್‌ಗಳನ್ನು ಬಳಸಬಹುದು.

4. ಎಚ್ಚಣೆ ಸಲಕರಣೆಗಳಲ್ಲಿ SPC ಯ ಅನ್ವಯ

ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಸಲಕರಣೆಗಳ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸುವುದು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು SPC ಈ ಕೆಳಗಿನ ವಿಧಾನಗಳಲ್ಲಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ:

ಸಲಕರಣೆ ಸ್ಥಿತಿ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ: FDC ಯಂತಹ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಎಚ್ಚಣೆ ಉಪಕರಣಗಳ ಪ್ರಮುಖ ನಿಯತಾಂಕಗಳ (ಉದಾ, RF ಶಕ್ತಿ, ಅನಿಲ ಹರಿವು) ನೈಜ-ಸಮಯದ ಡೇಟಾವನ್ನು ಸಂಗ್ರಹಿಸುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಸಂಭಾವ್ಯ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಸಮಸ್ಯೆಗಳನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಲು ಈ ಡೇಟಾವನ್ನು SPC ನಿಯಂತ್ರಣ ಚಾರ್ಟ್‌ಗಳೊಂದಿಗೆ ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತವೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ನಿಯಂತ್ರಣ ಚಾರ್ಟ್‌ನಲ್ಲಿನ RF ಶಕ್ತಿಯು ನಿಗದಿತ ಮೌಲ್ಯದಿಂದ ಕ್ರಮೇಣ ವಿಚಲನಗೊಳ್ಳುತ್ತಿರುವುದನ್ನು ನೀವು ನೋಡಿದರೆ, ಉತ್ಪನ್ನದ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುವುದನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ಹೊಂದಾಣಿಕೆ ಅಥವಾ ನಿರ್ವಹಣೆಗಾಗಿ ನೀವು ಆರಂಭಿಕ ಕ್ರಮ ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳಬಹುದು.

ಉತ್ಪನ್ನ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ: ನೀವು SPC ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಉತ್ಪನ್ನ ಗುಣಮಟ್ಟದ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು (ಉದಾ. ಎಚ್ಚಣೆ ಆಳ, ರೇಖೆಯ ಅಗಲ) ಇನ್‌ಪುಟ್ ಮಾಡಿ ಅವುಗಳ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡಬಹುದು. ಕೆಲವು ನಿರ್ಣಾಯಕ ಉತ್ಪನ್ನ ಸೂಚಕಗಳು ಗುರಿ ಮೌಲ್ಯಗಳಿಂದ ಕ್ರಮೇಣ ವಿಚಲನಗೊಂಡರೆ, SPC ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಎಚ್ಚರಿಕೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ, ಇದು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಗಳು ಅಗತ್ಯವಿದೆ ಎಂದು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ.

ತಡೆಗಟ್ಟುವ ನಿರ್ವಹಣೆ (PM): ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ತಡೆಗಟ್ಟುವ ನಿರ್ವಹಣಾ ಚಕ್ರವನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲು SPC ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಉಪಕರಣಗಳ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಫಲಿತಾಂಶಗಳ ಕುರಿತು ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ಡೇಟಾವನ್ನು ವಿಶ್ಲೇಷಿಸುವ ಮೂಲಕ, ನೀವು ಉಪಕರಣಗಳ ನಿರ್ವಹಣೆಗೆ ಸೂಕ್ತ ಸಮಯವನ್ನು ನಿರ್ಧರಿಸಬಹುದು. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, RF ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ESC ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡುವ ಮೂಲಕ, ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವ ಅಥವಾ ಘಟಕ ಬದಲಿ ಅಗತ್ಯವಿರುವಾಗ ನೀವು ನಿರ್ಧರಿಸಬಹುದು, ಉಪಕರಣಗಳ ವೈಫಲ್ಯ ದರಗಳು ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನಾ ಡೌನ್‌ಟೈಮ್ ಅನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಬಹುದು.

5. SPC ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಾಗಿ ದೈನಂದಿನ ಬಳಕೆಯ ಸಲಹೆಗಳು

ದೈನಂದಿನ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಳಲ್ಲಿ SPC ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಬಳಸುವಾಗ, ಈ ಕೆಳಗಿನ ಹಂತಗಳನ್ನು ಅನುಸರಿಸಬಹುದು:

ಪ್ರಮುಖ ನಿಯಂತ್ರಣ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು (KPI) ವ್ಯಾಖ್ಯಾನಿಸಿ: ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿನ ಪ್ರಮುಖ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ಗುರುತಿಸಿ ಮತ್ತು ಅವುಗಳನ್ನು SPC ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆಯಲ್ಲಿ ಸೇರಿಸಿ. ಈ ನಿಯತಾಂಕಗಳು ಉತ್ಪನ್ನದ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಸಲಕರಣೆಗಳ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಗೆ ನಿಕಟ ಸಂಬಂಧ ಹೊಂದಿರಬೇಕು.

ನಿಯಂತ್ರಣ ಮಿತಿಗಳು ಮತ್ತು ಎಚ್ಚರಿಕೆ ಮಿತಿಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿಸಿ: ಐತಿಹಾಸಿಕ ದತ್ತಾಂಶ ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಆಧರಿಸಿ, ಪ್ರತಿ ನಿಯತಾಂಕಕ್ಕೆ ಸಮಂಜಸವಾದ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮಿತಿಗಳು ಮತ್ತು ಎಚ್ಚರಿಕೆ ಮಿತಿಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿಸಿ. ನಿಯಂತ್ರಣ ಮಿತಿಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ±3σ (ಪ್ರಮಾಣಿತ ವಿಚಲನಗಳು) ನಲ್ಲಿ ಹೊಂದಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಎಚ್ಚರಿಕೆ ಮಿತಿಗಳು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ಸಲಕರಣೆಗಳ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳನ್ನು ಆಧರಿಸಿವೆ.

ನಿರಂತರ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮತ್ತು ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ: ಡೇಟಾ ಪ್ರವೃತ್ತಿಗಳು ಮತ್ತು ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳನ್ನು ವಿಶ್ಲೇಷಿಸಲು SPC ನಿಯಂತ್ರಣ ಚಾರ್ಟ್‌ಗಳನ್ನು ನಿಯಮಿತವಾಗಿ ಪರಿಶೀಲಿಸಿ. ಕೆಲವು ನಿಯತಾಂಕಗಳು ನಿಯಂತ್ರಣ ಮಿತಿಗಳನ್ನು ಮೀರಿದರೆ, ಸಲಕರಣೆ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ಸರಿಹೊಂದಿಸುವುದು ಅಥವಾ ಸಲಕರಣೆ ನಿರ್ವಹಣೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವಂತಹ ತಕ್ಷಣದ ಕ್ರಮದ ಅಗತ್ಯವಿದೆ.

ಅಸಹಜತೆ ನಿರ್ವಹಣೆ ಮತ್ತು ಮೂಲ ಕಾರಣ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ: ಅಸಹಜತೆ ಸಂಭವಿಸಿದಾಗ, SPC ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಘಟನೆಯ ಬಗ್ಗೆ ವಿವರವಾದ ಮಾಹಿತಿಯನ್ನು ದಾಖಲಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಮಾಹಿತಿಯ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ ನೀವು ಅಸಹಜತೆಯ ಮೂಲ ಕಾರಣವನ್ನು ನಿವಾರಿಸಬೇಕು ಮತ್ತು ವಿಶ್ಲೇಷಿಸಬೇಕು. ಸಮಸ್ಯೆಯು ಉಪಕರಣಗಳ ವೈಫಲ್ಯ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ವಿಚಲನ ಅಥವಾ ಬಾಹ್ಯ ಪರಿಸರ ಅಂಶಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗಿದೆಯೇ ಎಂದು ವಿಶ್ಲೇಷಿಸಲು FDC ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು, EES ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳಿಂದ ಡೇಟಾವನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸಲು ಆಗಾಗ್ಗೆ ಸಾಧ್ಯವಿದೆ.

ನಿರಂತರ ಸುಧಾರಣೆ: SPC ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಿಂದ ದಾಖಲಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ಐತಿಹಾಸಿಕ ದತ್ತಾಂಶವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿನ ದುರ್ಬಲ ಅಂಶಗಳನ್ನು ಗುರುತಿಸಿ ಮತ್ತು ಸುಧಾರಣಾ ಯೋಜನೆಗಳನ್ನು ಪ್ರಸ್ತಾಪಿಸಿ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ESC ಜೀವಿತಾವಧಿ ಮತ್ತು ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ವಿಧಾನಗಳ ಉಪಕರಣ ನಿರ್ವಹಣಾ ಚಕ್ರಗಳ ಮೇಲೆ ಪ್ರಭಾವವನ್ನು ವಿಶ್ಲೇಷಿಸಿ ಮತ್ತು ಉಪಕರಣ ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ನಿರಂತರವಾಗಿ ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಿ.

6. ಪ್ರಾಯೋಗಿಕ ಅನ್ವಯಿಕ ಪ್ರಕರಣ

ಪ್ರಾಯೋಗಿಕ ಉದಾಹರಣೆಯಾಗಿ, ನೀವು E-MAX ಎಚ್ಚಣೆ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಜವಾಬ್ದಾರರಾಗಿದ್ದರೆ ಮತ್ತು ಚೇಂಬರ್ ಕ್ಯಾಥೋಡ್ ಅಕಾಲಿಕವಾಗಿ ಸವೆದುಹೋಗುತ್ತಿದೆ, ಇದು D0 (BARC ದೋಷ) ಮೌಲ್ಯಗಳಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಳಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. SPC ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಮೂಲಕ RF ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ಎಚ್ಚಣೆ ದರವನ್ನು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡುವ ಮೂಲಕ, ಈ ನಿಯತಾಂಕಗಳು ಅವುಗಳ ನಿಗದಿತ ಮೌಲ್ಯಗಳಿಂದ ಕ್ರಮೇಣ ವಿಚಲನಗೊಳ್ಳುವ ಪ್ರವೃತ್ತಿಯನ್ನು ನೀವು ಗಮನಿಸುತ್ತೀರಿ. SPC ಅಲಾರಂ ಅನ್ನು ಪ್ರಚೋದಿಸಿದ ನಂತರ, ನೀವು FDC ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಿಂದ ಡೇಟಾವನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತೀರಿ ಮತ್ತು ಚೇಂಬರ್‌ನೊಳಗಿನ ಅಸ್ಥಿರ ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣದಿಂದ ಸಮಸ್ಯೆ ಉಂಟಾಗಿದೆ ಎಂದು ನಿರ್ಧರಿಸುತ್ತೀರಿ. ನಂತರ ನೀವು ಹೊಸ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ವಿಧಾನಗಳು ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣಾ ತಂತ್ರಗಳನ್ನು ಕಾರ್ಯಗತಗೊಳಿಸುತ್ತೀರಿ, ಅಂತಿಮವಾಗಿ D0 ಮೌಲ್ಯವನ್ನು 4.3 ರಿಂದ 2.4 ಕ್ಕೆ ಇಳಿಸುತ್ತೀರಿ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಉತ್ಪನ್ನದ ಗುಣಮಟ್ಟ ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.

7. XINKEHUI ನಲ್ಲಿ ನೀವು ಪಡೆಯಬಹುದು.

XINKEHUI ನಲ್ಲಿ, ನೀವು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಆಗಿರಲಿ ಅಥವಾ SiC ವೇಫರ್ ಆಗಿರಲಿ ಪರಿಪೂರ್ಣ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಪಡೆಯಬಹುದು. ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಮೇಲೆ ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸುವ ಮೂಲಕ ವಿವಿಧ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಿಗೆ ಉನ್ನತ-ಗುಣಮಟ್ಟದ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ತಲುಪಿಸುವಲ್ಲಿ ನಾವು ಪರಿಣತಿ ಹೊಂದಿದ್ದೇವೆ.