SiC ನೀಲಮಣಿ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹಾರ್ಡ್ ಬ್ರಿಟಲ್ ಮೆಟೀರಿಯಲ್‌ಗಳಿಗಾಗಿ ಮಲ್ಟಿ-ವೈರ್ ಡೈಮಂಡ್ ಗರಗಸ ಯಂತ್ರ
ಮಲ್ಟಿ-ವೈರ್ ಡೈಮಂಡ್ ಗರಗಸ ಯಂತ್ರದ ಪರಿಚಯ
ಬಹು-ತಂತಿ ವಜ್ರ ಗರಗಸ ಯಂತ್ರವು ಅತ್ಯಂತ ಗಟ್ಟಿಯಾದ ಮತ್ತು ಸುಲಭವಾಗಿ ಒಡೆಯುವ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಸಂಸ್ಕರಿಸಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ಸ್ಲೈಸಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಾಗಿದೆ. ಹಲವಾರು ಸಮಾನಾಂತರ ವಜ್ರ-ಲೇಪಿತ ತಂತಿಗಳನ್ನು ನಿಯೋಜಿಸುವ ಮೂಲಕ, ಯಂತ್ರವು ಒಂದೇ ಚಕ್ರದಲ್ಲಿ ಬಹು ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಏಕಕಾಲದಲ್ಲಿ ಕತ್ತರಿಸಬಹುದು, ಹೆಚ್ಚಿನ ಥ್ರೋಪುಟ್ ಮತ್ತು ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಬಹುದು. ಈ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಅರೆವಾಹಕಗಳು, ಸೌರ ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕಗಳು, LED ಗಳು ಮತ್ತು ಮುಂದುವರಿದ ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್‌ನಂತಹ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ SiC, ನೀಲಮಣಿ, GaN, ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆ ಮತ್ತು ಅಲ್ಯೂಮಿನಾದಂತಹ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ ಅತ್ಯಗತ್ಯ ಸಾಧನವಾಗಿದೆ.
ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಸಿಂಗಲ್-ವೈರ್ ಕತ್ತರಿಸುವಿಕೆಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, ಮಲ್ಟಿ-ವೈರ್ ಕಾನ್ಫಿಗರೇಶನ್ ಪ್ರತಿ ಬ್ಯಾಚ್‌ಗೆ ಡಜನ್‌ಗಳಿಂದ ನೂರಾರು ಸ್ಲೈಸ್‌ಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ, ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಫ್ಲಾಟ್‌ನೆಸ್ (Ra < 0.5 μm) ಮತ್ತು ಆಯಾಮದ ನಿಖರತೆಯನ್ನು (± 0.02 mm) ಇಟ್ಟುಕೊಳ್ಳುವಾಗ ಸೈಕಲ್ ಸಮಯವನ್ನು ಬಹಳವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಇದರ ಮಾಡ್ಯುಲರ್ ವಿನ್ಯಾಸವು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ವೈರ್ ಟೆನ್ಷನಿಂಗ್, ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್ ಹ್ಯಾಂಡ್ಲಿಂಗ್ ಸಿಸ್ಟಮ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಆನ್‌ಲೈನ್ ಮಾನಿಟರಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತದೆ, ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ, ಸ್ಥಿರ ಮತ್ತು ಸಂಪೂರ್ಣ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಮಲ್ಟಿ-ವೈರ್ ಡೈಮಂಡ್ ಗರಗಸ ಯಂತ್ರದ ತಾಂತ್ರಿಕ ನಿಯತಾಂಕಗಳು
| ಐಟಂ | ನಿರ್ದಿಷ್ಟತೆ | ಐಟಂ | ನಿರ್ದಿಷ್ಟತೆ |
|---|---|---|---|
| ಗರಿಷ್ಠ ಕೆಲಸದ ಗಾತ್ರ (ಚೌಕ) | 220 × 200 × 350 ಮಿಮೀ | ಡ್ರೈವ್ ಮೋಟಾರ್ | ೧೭.೮ ಕಿ.ವ್ಯಾ × ೨ |
| ಗರಿಷ್ಠ ಕೆಲಸದ ಗಾತ್ರ (ಸುತ್ತಿನಲ್ಲಿ) | Φ205 × 350 ಮಿಮೀ | ವೈರ್ ಡ್ರೈವ್ ಮೋಟಾರ್ | ೧೧.೮೬ ಕಿ.ವ್ಯಾ × ೨ |
| ಸ್ಪಿಂಡಲ್ ಅಂತರ | Φ250 ±10 × 370 × 2 ಅಕ್ಷ (ಮಿಮೀ) | ವರ್ಕ್‌ಟೇಬಲ್ ಲಿಫ್ಟ್ ಮೋಟಾರ್ | ೨.೪೨ ಕಿ.ವ್ಯಾ × ೧ |
| ಪ್ರಧಾನ ಅಕ್ಷ | 650 ಮಿ.ಮೀ. | ಸ್ವಿಂಗ್ ಮೋಟಾರ್ | 0.8 ಕಿ.ವ್ಯಾ × 1 |
| ತಂತಿ ಚಾಲನೆಯ ವೇಗ | 1500 ಮೀ/ನಿಮಿಷ | ಜೋಡಣೆ ಮೋಟಾರ್ | 0.45 ಕಿ.ವ್ಯಾ × 2 |
| ತಂತಿಯ ವ್ಯಾಸ | Φ0.12–0.25 ಮಿ.ಮೀ. | ಟೆನ್ಷನ್ ಮೋಟಾರ್ | ೪.೧೫ ಕಿ.ವ್ಯಾ × ೨ |
| ಲಿಫ್ಟ್ ವೇಗ | 225 ಮಿ.ಮೀ/ನಿಮಿಷ | ಸ್ಲರಿ ಮೋಟಾರ್ | 7.5 ಕಿ.ವ್ಯಾ × 1 |
| ಗರಿಷ್ಠ ಟೇಬಲ್ ತಿರುಗುವಿಕೆ | ±12° | ಸ್ಲರಿ ಟ್ಯಾಂಕ್ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ | 300 ಲೀ |
| ಸ್ವಿಂಗ್ ಕೋನ | ±3° | ಶೀತಕ ಹರಿವು | 200 ಲೀ/ನಿಮಿಷ |
| ಸ್ವಿಂಗ್ ಆವರ್ತನ | ~30 ಬಾರಿ/ನಿಮಿಷ | ತಾಪಮಾನ ನಿಖರತೆ | ±2 °C |
| ಫೀಡ್ ದರ | 0.01–9.99 ಮಿ.ಮೀ/ನಿಮಿಷ | ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜು | 335+210 (ಮಿಮೀ²) |
| ವೈರ್ ಫೀಡ್ ದರ | 0.01–300 ಮಿ.ಮೀ/ನಿಮಿಷ | ಸಂಕುಚಿತ ಗಾಳಿ | 0.4–0.6 ಎಂಪಿಎ |
| ಯಂತ್ರದ ಗಾತ್ರ | 3550 × 2200 × 3000 ಮಿಮೀ | ತೂಕ | ೧೩,೫೦೦ ಕೆಜಿ |
ಮಲ್ಟಿ-ವೈರ್ ಡೈಮಂಡ್ ಗರಗಸ ಯಂತ್ರದ ಕಾರ್ಯ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನ
-
ಬಹು-ತಂತಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ಚಲನೆ
ಬಹು ವಜ್ರದ ತಂತಿಗಳು 1500 ಮೀ/ನಿಮಿಷದವರೆಗೆ ಸಿಂಕ್ರೊನೈಸ್ ಮಾಡಿದ ವೇಗದಲ್ಲಿ ಚಲಿಸುತ್ತವೆ. ನಿಖರ-ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿತ ಪುಲ್ಲಿಗಳು ಮತ್ತು ಕ್ಲೋಸ್ಡ್-ಲೂಪ್ ಟೆನ್ಷನ್ ಕಂಟ್ರೋಲ್ (15–130 N) ತಂತಿಗಳನ್ನು ಸ್ಥಿರವಾಗಿರಿಸುತ್ತದೆ, ವಿಚಲನ ಅಥವಾ ಒಡೆಯುವಿಕೆಯ ಸಾಧ್ಯತೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. -
ನಿಖರವಾದ ಆಹಾರ ಮತ್ತು ಸ್ಥಾನೀಕರಣ
ಸರ್ವೋ-ಚಾಲಿತ ಸ್ಥಾನೀಕರಣವು ±0.005 ಮಿಮೀ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸುತ್ತದೆ. ಐಚ್ಛಿಕ ಲೇಸರ್ ಅಥವಾ ದೃಷ್ಟಿ-ನೆರವಿನ ಜೋಡಣೆಯು ಸಂಕೀರ್ಣ ಆಕಾರಗಳಿಗೆ ಫಲಿತಾಂಶಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ. -
ತಂಪಾಗಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಶಿಲಾಖಂಡರಾಶಿಗಳ ತೆಗೆಯುವಿಕೆ
ಅಧಿಕ-ಒತ್ತಡದ ಕೂಲಂಟ್ ನಿರಂತರವಾಗಿ ಚಿಪ್‌ಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕೆಲಸದ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ತಂಪಾಗಿಸುತ್ತದೆ, ಉಷ್ಣ ಹಾನಿಯನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ. ಬಹು-ಹಂತದ ಶೋಧನೆಯು ಕೂಲಂಟ್ ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಡೌನ್‌ಟೈಮ್ ಅನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. -
ಸ್ಮಾರ್ಟ್ ನಿಯಂತ್ರಣ ವೇದಿಕೆ
ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯ ಸರ್ವೋ ಡ್ರೈವರ್‌ಗಳು (<1 ms) ಫೀಡ್, ಟೆನ್ಷನ್ ಮತ್ತು ವೈರ್ ವೇಗವನ್ನು ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಹೊಂದಿಸುತ್ತವೆ. ಸಂಯೋಜಿತ ಪಾಕವಿಧಾನ ನಿರ್ವಹಣೆ ಮತ್ತು ಒಂದು-ಕ್ಲಿಕ್ ಪ್ಯಾರಾಮೀಟರ್ ಸ್ವಿಚಿಂಗ್ ಸಾಮೂಹಿಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಸುಗಮಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
ಮಲ್ಟಿ-ವೈರ್ ಡೈಮಂಡ್ ಗರಗಸ ಯಂತ್ರದ ಪ್ರಮುಖ ಪ್ರಯೋಜನಗಳು
-
ಹೆಚ್ಚಿನ ಉತ್ಪಾದಕತೆ
ಪ್ರತಿ ರನ್‌ಗೆ 50–200 ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಕತ್ತರಿಸುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ, ಕೆರ್ಫ್ ನಷ್ಟ <100 μm, 40% ವರೆಗೆ ವಸ್ತು ಬಳಕೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ. ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಸಿಂಗಲ್-ವೈರ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳ ಥ್ರೋಪುಟ್ 5–10× ಆಗಿದೆ. -
ನಿಖರ ನಿಯಂತ್ರಣ
±0.5 N ಒಳಗೆ ತಂತಿಯ ಒತ್ತಡದ ಸ್ಥಿರತೆಯು ವಿವಿಧ ದುರ್ಬಲ ವಸ್ತುಗಳ ಮೇಲೆ ಸ್ಥಿರವಾದ ಫಲಿತಾಂಶಗಳನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. 10" HMI ಇಂಟರ್ಫೇಸ್‌ನಲ್ಲಿ ನೈಜ-ಸಮಯದ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆಯು ಪಾಕವಿಧಾನ ಸಂಗ್ರಹಣೆ ಮತ್ತು ದೂರಸ್ಥ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ. -
ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ, ಮಾಡ್ಯುಲರ್ ನಿರ್ಮಾಣ
ವಿಭಿನ್ನ ಕತ್ತರಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ 0.12–0.45 ಮಿಮೀ ವರೆಗಿನ ತಂತಿಯ ವ್ಯಾಸದೊಂದಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಐಚ್ಛಿಕ ರೊಬೊಟಿಕ್ ನಿರ್ವಹಣೆಯು ಸಂಪೂರ್ಣ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಉತ್ಪಾದನಾ ಮಾರ್ಗಗಳನ್ನು ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ. -
ಕೈಗಾರಿಕಾ ದರ್ಜೆಯ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆ
ಹೆವಿ-ಡ್ಯೂಟಿ ಎರಕಹೊಯ್ದ/ಖೋಟಾ ಚೌಕಟ್ಟುಗಳು ವಿರೂಪವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ (<0.01 ಮಿಮೀ). ಸೆರಾಮಿಕ್ ಅಥವಾ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಗೈಡ್ ಪುಲ್ಲಿಗಳು 8000 ಗಂಟೆಗಳಿಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತವೆ.
ಮಲ್ಟಿ-ವೈರ್ ಡೈಮಂಡ್ ಗರಗಸ ಯಂತ್ರದ ಅನ್ವಯಿಕ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳು
-
ಅರೆವಾಹಕಗಳು: EV ಪವರ್ ಮಾಡ್ಯೂಲ್‌ಗಳಿಗೆ SiC ಅನ್ನು ಕತ್ತರಿಸುವುದು, 5G ಸಾಧನಗಳಿಗೆ GaN ತಲಾಧಾರಗಳು.
-
ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕಗಳು: ±10 μm ಏಕರೂಪತೆಯೊಂದಿಗೆ ಹೈ-ಸ್ಪೀಡ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಸ್ಲೈಸಿಂಗ್.
-
ಎಲ್ಇಡಿ ಮತ್ತು ಆಪ್ಟಿಕ್ಸ್: <20 μm ಅಂಚಿನ ಚಿಪ್ಪಿಂಗ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ ಮತ್ತು ನಿಖರತೆಯ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಅಂಶಗಳಿಗಾಗಿ ನೀಲಮಣಿ ತಲಾಧಾರಗಳು.
-
ಅಡ್ವಾನ್ಸ್ಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್: ಏರೋಸ್ಪೇಸ್ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ನಿರ್ವಹಣಾ ಘಟಕಗಳಿಗೆ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ, AlN ಮತ್ತು ಅಂತಹುದೇ ವಸ್ತುಗಳ ಸಂಸ್ಕರಣೆ.
FAQ - ಮಲ್ಟಿ-ವೈರ್ ಡೈಮಂಡ್ ಗರಗಸ ಯಂತ್ರ
ಪ್ರಶ್ನೆ ೧: ಏಕ-ತಂತಿ ಯಂತ್ರಗಳಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಬಹು-ತಂತಿ ಗರಗಸದ ಅನುಕೂಲಗಳೇನು?
A: ಬಹು-ತಂತಿ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಏಕಕಾಲದಲ್ಲಿ ಡಜನ್ಗಟ್ಟಲೆ ರಿಂದ ನೂರಾರು ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಕತ್ತರಿಸಬಹುದು, ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು 5–10× ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ. 100 μm ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಕೆರ್ಫ್ ನಷ್ಟದೊಂದಿಗೆ ವಸ್ತು ಬಳಕೆ ಕೂಡ ಹೆಚ್ಚಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಇದು ಸಾಮೂಹಿಕ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
ಪ್ರಶ್ನೆ 2: ಯಾವ ರೀತಿಯ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಸಂಸ್ಕರಿಸಬಹುದು?
A: ಈ ಯಂತ್ರವನ್ನು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC), ನೀಲಮಣಿ, ಗ್ಯಾಲಿಯಮ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ (GaN), ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆ, ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ (Al₂O₃), ಮತ್ತು ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್ (AlN) ಸೇರಿದಂತೆ ಗಟ್ಟಿಯಾದ ಮತ್ತು ಸುಲಭವಾಗಿ ಒಡೆಯುವ ವಸ್ತುಗಳಿಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ.
ಪ್ರಶ್ನೆ 3: ಸಾಧಿಸಬಹುದಾದ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಮಟ್ಟ ಏನು?
A: ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನವು Ra <0.5 μm ತಲುಪಬಹುದು, ಆಯಾಮದ ನಿಖರತೆ ±0.02 mm. ಅಂಚಿನ ಚಿಪ್ಪಿಂಗ್ ಅನ್ನು <20 μm ಗೆ ನಿಯಂತ್ರಿಸಬಹುದು, ಇದು ಅರೆವಾಹಕ ಮತ್ತು ಆಪ್ಟೊಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಉದ್ಯಮದ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ.
ಪ್ರಶ್ನೆ 4: ಕತ್ತರಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಬಿರುಕುಗಳು ಅಥವಾ ಹಾನಿಯನ್ನುಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆಯೇ?
ಉ: ಅಧಿಕ-ಒತ್ತಡದ ಕೂಲಂಟ್ ಮತ್ತು ಕ್ಲೋಸ್ಡ್-ಲೂಪ್ ಟೆನ್ಷನ್ ನಿಯಂತ್ರಣದೊಂದಿಗೆ, ಸೂಕ್ಷ್ಮ-ಬಿರುಕುಗಳು ಮತ್ತು ಒತ್ತಡದ ಹಾನಿಯ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ವೇಫರ್ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
