ಮೈಕ್ರೋಜೆಟ್ ಲೇಸರ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ಉಪಕರಣಗಳು ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ SiC ವಸ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣೆ

ಮೈಕ್ರೋಜೆಟ್ ಲೇಸರ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ಉಪಕರಣಗಳು ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವುದು SiC ವಸ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣೆ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗೊಳಿಸಿದ ಚಿತ್ರ

ಸಣ್ಣ ವಿವರಣೆ:

ಮೈಕ್ರೋಜೆಟ್ ಲೇಸರ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ಉಪಕರಣವು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯ ಲೇಸರ್ ಮತ್ತು ಮೈಕ್ರಾನ್-ಮಟ್ಟದ ದ್ರವ ಜೆಟ್ ಅನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುವ ಒಂದು ರೀತಿಯ ನಿಖರ ಯಂತ್ರ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಾಗಿದೆ. ಲೇಸರ್ ಕಿರಣವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ದ್ರವ ಜೆಟ್‌ಗೆ (ಡಿಯೋನೈಸ್ಡ್ ನೀರು ಅಥವಾ ವಿಶೇಷ ದ್ರವ) ಜೋಡಿಸುವ ಮೂಲಕ, ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ಹಾನಿಯೊಂದಿಗೆ ವಸ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣೆಯನ್ನು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳಬಹುದು. ಈ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಗಟ್ಟಿಯಾದ ಮತ್ತು ದುರ್ಬಲವಾದ ವಸ್ತುಗಳ (SiC, ನೀಲಮಣಿ, ಗಾಜಿನಂತಹ) ಕತ್ತರಿಸುವುದು, ಕೊರೆಯುವುದು ಮತ್ತು ಸೂಕ್ಷ್ಮ ರಚನೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಇದನ್ನು ಅರೆವಾಹಕ, ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುತ್ ಪ್ರದರ್ಶನ, ವೈದ್ಯಕೀಯ ಸಾಧನಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ನಮಗೆ ಇಮೇಲ್ ಕಳುಹಿಸಿ

ಉತ್ಪನ್ನದ ವಿವರ

ಉತ್ಪನ್ನ ಟ್ಯಾಗ್‌ಗಳು

ಕೆಲಸದ ತತ್ವ:

1. ಲೇಸರ್ ಜೋಡಣೆ: ಪಲ್ಸ್ ಲೇಸರ್ (UV/ಹಸಿರು/ಅತಿಗೆಂಪು) ದ್ರವ ಜೆಟ್ ಒಳಗೆ ಕೇಂದ್ರೀಕೃತವಾಗಿದ್ದು ಸ್ಥಿರವಾದ ಶಕ್ತಿ ಪ್ರಸರಣ ಚಾನಲ್ ಅನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತದೆ.

2. ದ್ರವ ಮಾರ್ಗದರ್ಶನ: ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ಜೆಟ್ (ಹರಿವಿನ ಪ್ರಮಾಣ 50-200 ಮೀ/ಸೆ) ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ತಂಪಾಗಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಶಾಖದ ಶೇಖರಣೆ ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ಶಿಲಾಖಂಡರಾಶಿಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತದೆ.

3. ವಸ್ತು ತೆಗೆಯುವಿಕೆ: ಲೇಸರ್ ಶಕ್ತಿಯು ದ್ರವದಲ್ಲಿ ಗುಳ್ಳೆಕಟ್ಟುವಿಕೆ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ವಸ್ತುವಿನ ಶೀತ ಸಂಸ್ಕರಣೆ (ಶಾಖ ಪೀಡಿತ ವಲಯ <1μm) ಸಾಧಿಸಬಹುದು.

4. ಡೈನಾಮಿಕ್ ನಿಯಂತ್ರಣ: ವಿವಿಧ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ರಚನೆಗಳ ಅಗತ್ಯಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಲೇಸರ್ ನಿಯತಾಂಕಗಳ (ಶಕ್ತಿ, ಆವರ್ತನ) ಮತ್ತು ಜೆಟ್ ಒತ್ತಡದ ನೈಜ-ಸಮಯದ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ.

ಪ್ರಮುಖ ನಿಯತಾಂಕಗಳು:

1. ಲೇಸರ್ ಶಕ್ತಿ: 10-500W (ಹೊಂದಾಣಿಕೆ)

2. ಜೆಟ್ ವ್ಯಾಸ: 50-300μm

3. ಯಂತ್ರದ ನಿಖರತೆ: ±0.5μm (ಕತ್ತರಿಸುವುದು), ಆಳ-ಅಗಲ ಅನುಪಾತ 10:1 (ಕೊರೆಯುವಿಕೆ)

ತಾಂತ್ರಿಕ ಅನುಕೂಲಗಳು:

(1) ಬಹುತೇಕ ಶೂನ್ಯ ಶಾಖ ಹಾನಿ
- ಲಿಕ್ವಿಡ್ ಜೆಟ್ ಕೂಲಿಂಗ್ ಶಾಖ ಪೀಡಿತ ವಲಯವನ್ನು (HAZ) **<1μm** ಗೆ ನಿಯಂತ್ರಿಸುತ್ತದೆ, ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಲೇಸರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಬಿರುಕುಗಳನ್ನು ತಪ್ಪಿಸುತ್ತದೆ (HAZ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ >10μm).

(2) ಅತಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಯಂತ್ರ
- **±0.5μm** ವರೆಗೆ ಕತ್ತರಿಸುವುದು/ಕೊರೆಯುವ ನಿಖರತೆ, ಅಂಚಿನ ಒರಟುತನ Ra<0.2μm, ನಂತರದ ಹೊಳಪು ನೀಡುವ ಅಗತ್ಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

- ಸಂಕೀರ್ಣ 3D ರಚನೆ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸಿ (ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಶಂಕುವಿನಾಕಾರದ ರಂಧ್ರಗಳು, ಆಕಾರದ ಸ್ಲಾಟ್‌ಗಳು).

(3) ವ್ಯಾಪಕ ವಸ್ತು ಹೊಂದಾಣಿಕೆ
- ಗಟ್ಟಿಯಾದ ಮತ್ತು ಸುಲಭವಾಗಿ ಒಡೆಯುವ ವಸ್ತುಗಳು: SiC, ನೀಲಮಣಿ, ಗಾಜು, ಪಿಂಗಾಣಿ ವಸ್ತುಗಳು (ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ವಿಧಾನಗಳು ಸುಲಭವಾಗಿ ಒಡೆದು ಹೋಗುತ್ತವೆ).

- ಶಾಖ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ವಸ್ತುಗಳು: ಪಾಲಿಮರ್‌ಗಳು, ಜೈವಿಕ ಅಂಗಾಂಶಗಳು (ಉಷ್ಣ ಡಿನಾಟರೇಶನ್ ಅಪಾಯವಿಲ್ಲ).

(4) ಪರಿಸರ ಸಂರಕ್ಷಣೆ ಮತ್ತು ದಕ್ಷತೆ
- ಧೂಳಿನ ಮಾಲಿನ್ಯವಿಲ್ಲ, ದ್ರವವನ್ನು ಮರುಬಳಕೆ ಮಾಡಬಹುದು ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಟರ್ ಮಾಡಬಹುದು.

- ಸಂಸ್ಕರಣಾ ವೇಗದಲ್ಲಿ 30%-50% ಹೆಚ್ಚಳ (ಯಂತ್ರೀಕರಣಕ್ಕೆ ವಿರುದ್ಧವಾಗಿ).

(5) ಬುದ್ಧಿವಂತ ನಿಯಂತ್ರಣ
- ಸಂಯೋಜಿತ ದೃಶ್ಯ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ಮತ್ತು AI ಪ್ಯಾರಾಮೀಟರ್ ಆಪ್ಟಿಮೈಸೇಶನ್, ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯ ವಸ್ತು ದಪ್ಪ ಮತ್ತು ದೋಷಗಳು.

ತಾಂತ್ರಿಕ ವಿಶೇಷಣಗಳು:

ಕೌಂಟರ್‌ಟಾಪ್ ವಾಲ್ಯೂಮ್	300300150	400400200
ರೇಖೀಯ ಅಕ್ಷ XY	ಲೀನಿಯರ್ ಮೋಟಾರ್. ಲೀನಿಯರ್ ಮೋಟಾರ್	ಲೀನಿಯರ್ ಮೋಟಾರ್. ಲೀನಿಯರ್ ಮೋಟಾರ್
ರೇಖೀಯ ಅಕ್ಷ Z	150	200
ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ನಿಖರತೆ μm	+/-5	+/-5
ಪುನರಾವರ್ತಿತ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ನಿಖರತೆ μm	+/-2	+/-2
ವೇಗವರ್ಧನೆ ಜಿ	1	0.29
ಸಂಖ್ಯಾತ್ಮಕ ನಿಯಂತ್ರಣ	3 ಅಕ್ಷ /3+1 ಅಕ್ಷ /3+2 ಅಕ್ಷ	3 ಅಕ್ಷ /3+1 ಅಕ್ಷ /3+2 ಅಕ್ಷ
ಸಂಖ್ಯಾತ್ಮಕ ನಿಯಂತ್ರಣ ಪ್ರಕಾರ	ಡಿಪಿಎಸ್ಎಸ್ ಎನ್ಡಿ:ಯಾಗ್	ಡಿಪಿಎಸ್ಎಸ್ ಎನ್ಡಿ:ಯಾಗ್
ತರಂಗಾಂತರ nm	532/1064	532/1064
ರೇಟೆಡ್ ಪವರ್ W	50/100/200	50/100/200
ನೀರಿನ ಜೆಟ್	40-100	40-100
ನಳಿಕೆಯ ಒತ್ತಡದ ಪಟ್ಟಿ	50-100	50-600
ಆಯಾಮಗಳು (ಯಂತ್ರೋಪಕರಣ) (ಅಗಲ * ಉದ್ದ * ಎತ್ತರ) ಮಿಮೀ	144519442260	170015002120
ಗಾತ್ರ (ನಿಯಂತ್ರಣ ಕ್ಯಾಬಿನೆಟ್) (ಪ * ಎಲ್ * ಎಚ್)	70025001600	70025001600
ತೂಕ (ಸಲಕರಣೆ) ಟಿ	೨.೫	3
ತೂಕ (ನಿಯಂತ್ರಣ ಕ್ಯಾಬಿನೆಟ್) ಕೆಜಿ	800	800
ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ	ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ Ra≤1.6um ತೆರೆಯುವ ವೇಗ ≥1.25mm/s ಸುತ್ತಳತೆ ಕತ್ತರಿಸುವುದು ≥6mm/s ಲೀನಿಯರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ವೇಗ ≥50mm/s	ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ Ra≤1.2um ತೆರೆಯುವ ವೇಗ ≥1.25mm/s ಸುತ್ತಳತೆ ಕತ್ತರಿಸುವುದು ≥6mm/s ಲೀನಿಯರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ವೇಗ ≥50mm/s
	ಗ್ಯಾಲಿಯಮ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಸ್ಫಟಿಕ, ಅಲ್ಟ್ರಾ-ವೈಡ್ ಬ್ಯಾಂಡ್ ಗ್ಯಾಪ್ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವಸ್ತುಗಳು (ವಜ್ರ/ಗ್ಯಾಲಿಯಮ್ ಆಕ್ಸೈಡ್), ಏರೋಸ್ಪೇಸ್ ವಿಶೇಷ ವಸ್ತುಗಳು, LTCC ಕಾರ್ಬನ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ತಲಾಧಾರ, ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ, ಸಿಂಟಿಲೇಟರ್ ಸ್ಫಟಿಕ ಮತ್ತು ಇತರ ವಸ್ತುಗಳ ಸಂಸ್ಕರಣೆಗಾಗಿ. ಗಮನಿಸಿ: ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವು ವಸ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿ ಬದಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಪ್ರಕರಣ:

XKH ನ ಸೇವೆಗಳು:

XKH ಮೈಕ್ರೋಜೆಟ್ ಲೇಸರ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಪೂರ್ಣ ಶ್ರೇಣಿಯ ಜೀವನ ಚಕ್ರ ಸೇವಾ ಬೆಂಬಲವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ, ಆರಂಭಿಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಮತ್ತು ಸಲಕರಣೆಗಳ ಆಯ್ಕೆ ಸಮಾಲೋಚನೆಯಿಂದ ಹಿಡಿದು, ಮಧ್ಯಕಾಲೀನ ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಿದ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಏಕೀಕರಣ (ಲೇಸರ್ ಮೂಲ, ಜೆಟ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರೀಕೃತಗೊಂಡ ಮಾಡ್ಯೂಲ್‌ನ ವಿಶೇಷ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ ಸೇರಿದಂತೆ), ನಂತರದ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆ ತರಬೇತಿ ಮತ್ತು ನಿರಂತರ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಆಪ್ಟಿಮೈಸೇಶನ್ ವರೆಗೆ, ಇಡೀ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ವೃತ್ತಿಪರ ತಾಂತ್ರಿಕ ತಂಡದ ಬೆಂಬಲದೊಂದಿಗೆ ಸಜ್ಜುಗೊಂಡಿದೆ; 20 ವರ್ಷಗಳ ನಿಖರವಾದ ಯಂತ್ರೋಪಕರಣ ಅನುಭವದ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಮತ್ತು ವೈದ್ಯಕೀಯದಂತಹ ವಿವಿಧ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಿಗೆ ಸಲಕರಣೆ ಪರಿಶೀಲನೆ, ಸಾಮೂಹಿಕ ಉತ್ಪಾದನೆ ಪರಿಚಯ ಮತ್ತು ಮಾರಾಟದ ನಂತರದ ತ್ವರಿತ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ (24 ಗಂಟೆಗಳ ತಾಂತ್ರಿಕ ಬೆಂಬಲ + ಪ್ರಮುಖ ಬಿಡಿಭಾಗಗಳ ಮೀಸಲು) ಸೇರಿದಂತೆ ನಾವು ಒಂದು-ನಿಲುಗಡೆ ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು 12 ತಿಂಗಳ ದೀರ್ಘ ಖಾತರಿ ಮತ್ತು ಜೀವಿತಾವಧಿಯ ನಿರ್ವಹಣೆ ಮತ್ತು ಅಪ್‌ಗ್ರೇಡ್ ಸೇವೆಯನ್ನು ಭರವಸೆ ನೀಡುತ್ತೇವೆ. ಗ್ರಾಹಕ ಉಪಕರಣಗಳು ಯಾವಾಗಲೂ ಉದ್ಯಮ-ಪ್ರಮುಖ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಿ.