5G/6G ಸಂವಹನಗಳಿಗಾಗಿ LiTaO3 ವೇಫರ್ 2ಇಂಚಿನ-8ಇಂಚಿನ 10x10x0.5 ಮಿಮೀ 1 ಚಮಚ 2 ಚಮಚ
ತಾಂತ್ರಿಕ ನಿಯತಾಂಕಗಳು
ಹೆಸರು | ಆಪ್ಟಿಕಲ್-ಗ್ರೇಡ್ LiTaO3 | ಧ್ವನಿ ಕೋಷ್ಟಕ ಮಟ್ಟ LiTaO3 |
ಅಕ್ಷೀಯ | Z ಕಟ್ + / - 0.2° | 36° Y ಕಟ್ / 42° Y ಕಟ್ / X ಕಟ್ (+ / - 0.2°) |
ವ್ಯಾಸ | 76.2ಮಿಮೀ + / - 0.3ಮಿಮೀ/ 100±0.2ಮಿಮೀ | 76.2ಮಿಮೀ + /-0.3ಮಿಮೀ 100ಮಿಮೀ + /-0.3ಮಿಮೀ 0r 150±0.5ಮಿಮೀ |
ಡೇಟಮ್ ಪ್ಲೇನ್ | 22ಮಿಮೀ + / - 2ಮಿಮೀ | 22ಮಿಮೀ + /-2ಮಿಮೀ 32ಮಿಮೀ + /-2ಮಿಮೀ |
ದಪ್ಪ | 500um + /-5ಮಿಮೀ 1000um + /-5ಮಿಮೀ | 500um + /-20ಮಿಮೀ 350um + /-20ಮಿಮೀ |
ಟಿಟಿವಿ | ≤ 10um (ಉಮ್) | ≤ 10um (ಉಮ್) |
ಕ್ಯೂರಿ ತಾಪಮಾನ | 605 °C + / - 0.7 °C (DTAವಿಧಾನ) | 605 °C + / -3 °C (DTAವಿಧಾನ |
ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಮಟ್ಟ | ಎರಡು ಬದಿಯ ಹೊಳಪು | ಎರಡು ಬದಿಯ ಹೊಳಪು |
ಚಾಂಫರ್ಡ್ ಅಂಚುಗಳು | ಅಂಚಿನ ಪೂರ್ಣಾಂಕ | ಅಂಚಿನ ಪೂರ್ಣಾಂಕ |
ಪ್ರಮುಖ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು
1. ವಿದ್ಯುತ್ ಮತ್ತು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ
· ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋ-ಆಪ್ಟಿಕ್ ಗುಣಾಂಕ: r33 30 pm/V (X-ಕಟ್) ತಲುಪುತ್ತದೆ, LiNbO3 ಗಿಂತ 1.5× ಹೆಚ್ಚು, ಅಲ್ಟ್ರಾ-ವೈಡ್ಬ್ಯಾಂಡ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋ-ಆಪ್ಟಿಕ್ ಮಾಡ್ಯುಲೇಷನ್ (>40 GHz ಬ್ಯಾಂಡ್ವಿಡ್ತ್) ಅನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
· ವಿಶಾಲ ರೋಹಿತ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ: ಪ್ರಸರಣ ಶ್ರೇಣಿ 0.4–5.0 μm (8 mm ದಪ್ಪ), ನೇರಳಾತೀತ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವ ಅಂಚು 280 nm ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ, UV ಲೇಸರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಕ್ವಾಂಟಮ್ ಡಾಟ್ ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
· ಕಡಿಮೆ ಪೈರೋಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಗುಣಾಂಕ: dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(m²·K), ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಅತಿಗೆಂಪು ಸಂವೇದಕಗಳಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
2. ಉಷ್ಣ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು
· ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ: 4.6 W/m·K (X-ಕಟ್), ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆಗಿಂತ ನಾಲ್ಕು ಪಟ್ಟು, -200–500°C ಉಷ್ಣ ಚಕ್ರವನ್ನು ಉಳಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.
· ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕ: CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000°C), ಉಷ್ಣ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ನೊಂದಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.
3. ದೋಷ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮತ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣಾ ನಿಖರತೆ
· ಮೈಕ್ರೋಪೈಪ್ ಸಾಂದ್ರತೆ: <0.1 cm⁻² (8-ಇಂಚಿನ ವೇಫರ್ಗಳು), ಡಿಸ್ಲೊಕೇಶನ್ ಸಾಂದ್ರತೆ <500 cm⁻² (KOH ಎಚ್ಚಣೆ ಮೂಲಕ ಪರಿಶೀಲಿಸಲಾಗಿದೆ).
· ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಮಟ್ಟ: CMP-ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಲಾದ Ra <0.5 nm, EUV ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ-ದರ್ಜೆಯ ಫ್ಲಾಟ್ನೆಸ್ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ.
ಪ್ರಮುಖ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳು
ಡೊಮೇನ್ | ಅನ್ವಯಿಕ ಸನ್ನಿವೇಶಗಳು | ತಾಂತ್ರಿಕ ಅನುಕೂಲಗಳು[ಬದಲಾಯಿಸಿ] |
ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಸಂವಹನಗಳು | 100G/400G DWDM ಲೇಸರ್ಗಳು, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಫೋಟೊನಿಕ್ಸ್ ಹೈಬ್ರಿಡ್ ಮಾಡ್ಯೂಲ್ಗಳು | LiTaO3 ವೇಫರ್ನ ವಿಶಾಲ ರೋಹಿತ ಪ್ರಸರಣ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ತರಂಗ ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ ನಷ್ಟ (α <0.1 dB/cm) C-ಬ್ಯಾಂಡ್ ವಿಸ್ತರಣೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. |
5G/6G ಸಂವಹನಗಳು | SAW ಫಿಲ್ಟರ್ಗಳು (1.8–3.5 GHz), BAW-SMR ಫಿಲ್ಟರ್ಗಳು | 42°Y-ಕಟ್ ವೇಫರ್ಗಳು Kt² >15% ಸಾಧಿಸುತ್ತವೆ, ಕಡಿಮೆ ಅಳವಡಿಕೆ ನಷ್ಟ (<1.5 dB) ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ರೋಲ್-ಆಫ್ (>30 dB) ಅನ್ನು ನೀಡುತ್ತವೆ. |
ಕ್ವಾಂಟಮ್ ಟೆಕ್ನಾಲಜೀಸ್ | ಏಕ-ಫೋಟಾನ್ ಪತ್ತೆಕಾರಕಗಳು, ಪ್ಯಾರಾಮೆಟ್ರಿಕ್ ಡೌನ್-ಕನ್ವರ್ಶನ್ ಮೂಲಗಳು | ಹೆಚ್ಚಿನ ರೇಖಾತ್ಮಕವಲ್ಲದ ಗುಣಾಂಕ (χ(2)=40 pm/V) ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಡಾರ್ಕ್ ಕೌಂಟ್ ದರ (<100 ಎಣಿಕೆಗಳು/ಸೆ) ಕ್ವಾಂಟಮ್ ನಿಷ್ಠೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ. |
ಕೈಗಾರಿಕಾ ಸಂವೇದನೆ | ಅಧಿಕ-ತಾಪಮಾನದ ಒತ್ತಡ ಸಂವೇದಕಗಳು, ಕರೆಂಟ್ ಟ್ರಾನ್ಸ್ಫಾರ್ಮರ್ಗಳು | LiTaO3 ವೇಫರ್ನ ಪೀಜೋಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ (g33 >20 mV/m) ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನ ಸಹಿಷ್ಣುತೆ (>400°C) ತೀವ್ರ ಪರಿಸರಗಳಿಗೆ ಸರಿಹೊಂದುತ್ತದೆ. |
ಎಕ್ಸ್.ಕೆ.ಹೆಚ್. ಸರ್ವಿಸೆಸ್
1.ಕಸ್ಟಮ್ ವೇಫರ್ ಫ್ಯಾಬ್ರಿಕೇಶನ್
· ಗಾತ್ರ ಮತ್ತು ಕತ್ತರಿಸುವುದು: X/Y/Z-ಕಟ್, 42°Y-ಕಟ್ ಮತ್ತು ಕಸ್ಟಮ್ ಕೋನೀಯ ಕಟ್ಗಳೊಂದಿಗೆ 2–8-ಇಂಚಿನ ವೇಫರ್ಗಳು (±0.01° ಸಹಿಷ್ಣುತೆ).
· ಡೋಪಿಂಗ್ ನಿಯಂತ್ರಣ: ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋ-ಆಪ್ಟಿಕ್ ಗುಣಾಂಕಗಳು ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲು ಕ್ಜೋಕ್ರಾಲ್ಸ್ಕಿ ವಿಧಾನದ ಮೂಲಕ Fe, Mg ಡೋಪಿಂಗ್ (ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಶ್ರೇಣಿ 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³).
2.ಸುಧಾರಿತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳು
· ಆವರ್ತಕ ಪೋಲಿಂಗ್ (PPLT): LTOI ವೇಫರ್ಗಳಿಗಾಗಿ ಸ್ಮಾರ್ಟ್-ಕಟ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ, ±10 nm ಡೊಮೇನ್ ಅವಧಿಯ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಕ್ವಾಸಿ-ಫೇಸ್-ಮ್ಯಾಚ್ಡ್ (QPM) ಆವರ್ತನ ಪರಿವರ್ತನೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸುತ್ತದೆ.
· ವೈವಿಧ್ಯಮಯ ಏಕೀಕರಣ: ದಪ್ಪ ನಿಯಂತ್ರಣ (300–600 nm) ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನ SAW ಫಿಲ್ಟರ್ಗಳಿಗಾಗಿ 8.78 W/m·K ವರೆಗಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯೊಂದಿಗೆ Si-ಆಧಾರಿತ LiTaO3 ಸಂಯೋಜಿತ ವೇಫರ್ಗಳು (POI).
3. ಗುಣಮಟ್ಟ ನಿರ್ವಹಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು
· ಎಂಡ್-ಟು-ಎಂಡ್ ಪರೀಕ್ಷೆ: ರಾಮನ್ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರೋಸ್ಕೋಪಿ (ಪಾಲಿಟೈಪ್ ಪರಿಶೀಲನೆ), XRD (ಸ್ಫಟಿಕೀಕರಣ), AFM (ಮೇಲ್ಮೈ ರೂಪವಿಜ್ಞಾನ), ಮತ್ತು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಏಕರೂಪತೆಯ ಪರೀಕ್ಷೆ (Δn <5×10⁻⁵).
4. ಜಾಗತಿಕ ಪೂರೈಕೆ ಸರಪಳಿ ಬೆಂಬಲ
· ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ: ಮಾಸಿಕ ಔಟ್ಪುಟ್ > 5,000 ವೇಫರ್ಗಳು (8-ಇಂಚು: 70%), 48-ಗಂಟೆಗಳ ತುರ್ತು ವಿತರಣೆಯೊಂದಿಗೆ.
· ಲಾಜಿಸ್ಟಿಕ್ಸ್ ನೆಟ್ವರ್ಕ್: ತಾಪಮಾನ-ನಿಯಂತ್ರಿತ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ನೊಂದಿಗೆ ವಾಯು/ಸಮುದ್ರ ಸರಕು ಸಾಗಣೆಯ ಮೂಲಕ ಯುರೋಪ್, ಉತ್ತರ ಅಮೆರಿಕಾ ಮತ್ತು ಏಷ್ಯಾ-ಪೆಸಿಫಿಕ್ನಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪ್ತಿ.


