ಸಂಪೂರ್ಣ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ವೇಫರ್ ರಿಂಗ್-ಕಟಿಂಗ್ ಸಲಕರಣೆ ಕೆಲಸದ ಗಾತ್ರ 8 ಇಂಚು/12 ಇಂಚಿನ ವೇಫರ್ ರಿಂಗ್ ಕಟಿಂಗ್
ತಾಂತ್ರಿಕ ನಿಯತಾಂಕಗಳು
ಪ್ಯಾರಾಮೀಟರ್ | ಘಟಕ | ನಿರ್ದಿಷ್ಟತೆ |
ಗರಿಷ್ಠ ವರ್ಕ್ಪೀಸ್ ಗಾತ್ರ | mm | 12" |
ಸ್ಪಿಂಡಲ್ | ಸಂರಚನೆ | ಸಿಂಗಲ್ ಸ್ಪಿಂಡಲ್ |
ವೇಗ | 3,000–60,000 rpm | |
ಔಟ್ಪುಟ್ ಪವರ್ | 30,000 ನಿಮಿಷಗಳಲ್ಲಿ 1.8 kW (2.4 ಐಚ್ಛಿಕ)⁻¹ | |
ಮ್ಯಾಕ್ಸ್ ಬ್ಲೇಡ್ ಡಯಾ. | Ø58 ಮಿ.ಮೀ. | |
ಎಕ್ಸ್-ಆಕ್ಸಿಸ್ | ಕಟಿಂಗ್ ರೇಂಜ್ | 310 ಮಿ.ಮೀ. |
Y-ಆಕ್ಸಿಸ್ | ಕಟಿಂಗ್ ರೇಂಜ್ | 310 ಮಿ.ಮೀ. |
ಹಂತ ಏರಿಕೆ | 0.0001 ಮಿ.ಮೀ. | |
ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ನಿಖರತೆ | ≤0.003 ಮಿಮೀ/310 ಮಿಮೀ, ≤0.002 ಮಿಮೀ/5 ಮಿಮೀ (ಏಕ ದೋಷ) | |
ಝಡ್-ಆಕ್ಸಿಸ್ | ಚಲನೆಯ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ | 0.00005 ಮಿ.ಮೀ. |
ಪುನರಾವರ್ತನೀಯತೆ | 0.001 ಮಿ.ಮೀ. | |
θ-ಅಕ್ಷ | ಗರಿಷ್ಠ ತಿರುಗುವಿಕೆ | 380 ಡಿಗ್ರಿ |
ಸ್ಪಿಂಡಲ್ ಪ್ರಕಾರ | ಉಂಗುರ ಕತ್ತರಿಸಲು ರಿಜಿಡ್ ಬ್ಲೇಡ್ನೊಂದಿಗೆ ಸಜ್ಜುಗೊಂಡ ಸಿಂಗಲ್ ಸ್ಪಿಂಡಲ್ | |
ಉಂಗುರ ಕತ್ತರಿಸುವ ನಿಖರತೆ | μm | ±50 |
ವೇಫರ್ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ನಿಖರತೆ | μm | ±50 |
ಏಕ-ವೇಫರ್ ದಕ್ಷತೆ | ನಿಮಿಷ/ವೇಫರ್ | 8 |
ಮಲ್ಟಿ-ವೇಫರ್ ದಕ್ಷತೆ | ಏಕಕಾಲದಲ್ಲಿ 4 ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ಸಂಸ್ಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ | |
ಸಲಕರಣೆಗಳ ತೂಕ | kg | ≈3,200 |
ಸಲಕರಣೆಗಳ ಆಯಾಮಗಳು (W×D×H) | mm | ೨,೭೩೦ × ೧,೫೫೦ × ೨,೦೭೦ |
ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ತತ್ವ
ಈ ಕೆಳಗಿನ ಪ್ರಮುಖ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳ ಮೂಲಕ ಈ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಅಸಾಧಾರಣ ಟ್ರಿಮ್ಮಿಂಗ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸುತ್ತದೆ:
1.ಬುದ್ಧಿವಂತ ಚಲನೆಯ ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆ:
· ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಲೀನಿಯರ್ ಮೋಟಾರ್ ಡ್ರೈವ್ (ಪುನರಾವರ್ತಿತ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ನಿಖರತೆ: ± 0.5μm)
· ಸಂಕೀರ್ಣ ಪಥ ಯೋಜನೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುವ ಆರು-ಅಕ್ಷದ ಸಿಂಕ್ರೊನಸ್ ನಿಯಂತ್ರಣ
· ಕತ್ತರಿಸುವ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಾತ್ರಿಪಡಿಸುವ ನೈಜ-ಸಮಯದ ಕಂಪನ ನಿಗ್ರಹ ಅಲ್ಗಾರಿದಮ್ಗಳು
2.ಸುಧಾರಿತ ಪತ್ತೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆ:
· ಸಂಯೋಜಿತ 3D ಲೇಸರ್ ಎತ್ತರ ಸಂವೇದಕ (ನಿಖರತೆ: 0.1μm)
· ಹೆಚ್ಚಿನ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ CCD ದೃಶ್ಯ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ (5 ಮೆಗಾಪಿಕ್ಸೆಲ್ಗಳು)
· ಆನ್ಲೈನ್ ಗುಣಮಟ್ಟದ ತಪಾಸಣೆ ಮಾಡ್ಯೂಲ್
3. ಸಂಪೂರ್ಣ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ:
· ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಲೋಡಿಂಗ್/ಅನ್ಲೋಡಿಂಗ್ (FOUP ಪ್ರಮಾಣಿತ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯಾಗಿದೆ)
· ಬುದ್ಧಿವಂತ ವಿಂಗಡಣೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆ
· ಕ್ಲೋಸ್ಡ್-ಲೂಪ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಘಟಕ (ಸ್ವಚ್ಛತೆ: ತರಗತಿ 10)
ವಿಶಿಷ್ಟ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳು
ಈ ಉಪಕರಣವು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಗಮನಾರ್ಹ ಮೌಲ್ಯವನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ:
ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಕ್ಷೇತ್ರ | ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಸಾಮಗ್ರಿಗಳು | ತಾಂತ್ರಿಕ ಅನುಕೂಲಗಳು |
ಐಸಿ ತಯಾರಿಕೆ | 8/12" ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಗಳು | ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಜೋಡಣೆಯನ್ನು ವರ್ಧಿಸುತ್ತದೆ |
ವಿದ್ಯುತ್ ಸಾಧನಗಳು | SiC/GaN ವೇಫರ್ಗಳು | ಅಂಚಿನ ದೋಷಗಳನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ |
MEMS ಸಂವೇದಕಗಳು | SOI ವೇಫರ್ಗಳು | ಸಾಧನದ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ |
ಆರ್ಎಫ್ ಸಾಧನಗಳು | GaAs ವೇಫರ್ಗಳು | ಅಧಿಕ ಆವರ್ತನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ |
ಸುಧಾರಿತ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ | ಪುನರ್ರಚಿಸಿದ ವೇಫರ್ಗಳು | ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಇಳುವರಿಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ |
ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು
1. ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ದಕ್ಷತೆಗಾಗಿ ನಾಲ್ಕು-ನಿಲ್ದಾಣ ಸಂರಚನೆ;
2. ಸ್ಥಿರವಾದ TAIKO ಉಂಗುರ ಡಿಬಾಂಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ತೆಗೆಯುವಿಕೆ;
3. ಪ್ರಮುಖ ಉಪಭೋಗ್ಯ ವಸ್ತುಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ;
4. ಬಹು-ಅಕ್ಷದ ಸಿಂಕ್ರೊನಸ್ ಟ್ರಿಮ್ಮಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ನಿಖರವಾದ ಅಂಚಿನ ಕತ್ತರಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ;
5.ಸಂಪೂರ್ಣ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಹರಿವು ಕಾರ್ಮಿಕ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಗಣನೀಯವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ;
6. ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಿದ ವರ್ಕ್ಟೇಬಲ್ ವಿನ್ಯಾಸವು ವಿಶೇಷ ರಚನೆಗಳ ಸ್ಥಿರ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ;
ಕಾರ್ಯಗಳು
1.ರಿಂಗ್-ಡ್ರಾಪ್ ಪತ್ತೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆ;
2.ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ವರ್ಕ್ಟೇಬಲ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ;
3. ಬುದ್ಧಿವಂತ UV ಡಿಬಾಂಡಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆ;
4. ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ ಲಾಗ್ ರೆಕಾರ್ಡಿಂಗ್;
5. ಫ್ಯಾಕ್ಟರಿ ಯಾಂತ್ರೀಕೃತಗೊಂಡ ಮಾಡ್ಯೂಲ್ ಏಕೀಕರಣ;
ಸೇವಾ ಬದ್ಧತೆ
ನಿಮ್ಮ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಯಾಣದ ಉದ್ದಕ್ಕೂ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ಸಮಗ್ರ, ಪೂರ್ಣ ಜೀವನಚಕ್ರ ಬೆಂಬಲ ಸೇವೆಗಳನ್ನು XKH ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.
1. ಗ್ರಾಹಕೀಕರಣ ಸೇವೆಗಳು
· ಸೂಕ್ತವಾದ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಸಂರಚನೆ: ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ವಸ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು (Si/SiC/GaAs) ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ ಸಿಸ್ಟಮ್ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು (ಕತ್ತರಿಸುವ ವೇಗ, ಬ್ಲೇಡ್ ಆಯ್ಕೆ, ಇತ್ಯಾದಿ) ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲು ನಮ್ಮ ಎಂಜಿನಿಯರಿಂಗ್ ತಂಡವು ಕ್ಲೈಂಟ್ಗಳೊಂದಿಗೆ ನಿಕಟವಾಗಿ ಸಹಕರಿಸುತ್ತದೆ.
· ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಬೆಂಬಲ: ಅಂಚಿನ ಒರಟುತನ ಮಾಪನ ಮತ್ತು ದೋಷ ಮ್ಯಾಪಿಂಗ್ ಸೇರಿದಂತೆ ವಿವರವಾದ ವಿಶ್ಲೇಷಣಾ ವರದಿಗಳೊಂದಿಗೆ ನಾವು ಮಾದರಿ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತೇವೆ.
· ಉಪಭೋಗ್ಯ ವಸ್ತುಗಳ ಸಹ-ಅಭಿವೃದ್ಧಿ: ನವೀನ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ (ಉದಾ, Ga₂O₃), ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್-ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಬ್ಲೇಡ್ಗಳು/ಲೇಸರ್ ಆಪ್ಟಿಕ್ಸ್ ಅನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಲು ನಾವು ಪ್ರಮುಖ ಉಪಭೋಗ್ಯ ತಯಾರಕರೊಂದಿಗೆ ಪಾಲುದಾರಿಕೆ ಹೊಂದಿದ್ದೇವೆ.
2. ವೃತ್ತಿಪರ ತಾಂತ್ರಿಕ ಬೆಂಬಲ
· ಮೀಸಲಾದ ಆನ್-ಸೈಟ್ ಬೆಂಬಲ: ನಿರ್ಣಾಯಕ ರ್ಯಾಂಪ್-ಅಪ್ ಹಂತಗಳಿಗೆ (ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 2-4 ವಾರಗಳು) ಪ್ರಮಾಣೀಕೃತ ಎಂಜಿನಿಯರ್ಗಳನ್ನು ನಿಯೋಜಿಸಿ, ಇವುಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ:
ಸಲಕರಣೆಗಳ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯ ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸೂಕ್ಷ್ಮ-ಶ್ರುತಿ
ಆಪರೇಟರ್ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ ತರಬೇತಿ
ISO ಕ್ಲಾಸ್ 5 ಕ್ಲೀನ್ರೂಮ್ ಏಕೀಕರಣ ಮಾರ್ಗದರ್ಶನ
· ಮುನ್ಸೂಚಕ ನಿರ್ವಹಣೆ: ಯೋಜಿತವಲ್ಲದ ಅಲಭ್ಯತೆಯನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ಕಂಪನ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ ಮತ್ತು ಸರ್ವೋ ಮೋಟಾರ್ ರೋಗನಿರ್ಣಯದೊಂದಿಗೆ ತ್ರೈಮಾಸಿಕ ಆರೋಗ್ಯ ತಪಾಸಣೆಗಳು.
· ರಿಮೋಟ್ ಮಾನಿಟರಿಂಗ್: ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಅಸಂಗತತೆ ಎಚ್ಚರಿಕೆಗಳೊಂದಿಗೆ ನಮ್ಮ IoT ಪ್ಲಾಟ್ಫಾರ್ಮ್ (JCFront Connect®) ಮೂಲಕ ನೈಜ-ಸಮಯದ ಉಪಕರಣಗಳ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಟ್ರ್ಯಾಕಿಂಗ್.
3. ಮೌಲ್ಯವರ್ಧಿತ ಸೇವೆಗಳು
· ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಜ್ಞಾನ ನೆಲೆ: ವಿವಿಧ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ 300+ ಮೌಲ್ಯೀಕರಿಸಿದ ಕತ್ತರಿಸುವ ಪಾಕವಿಧಾನಗಳನ್ನು ಪ್ರವೇಶಿಸಿ (ತ್ರೈಮಾಸಿಕಕ್ಕೆ ನವೀಕರಿಸಲಾಗಿದೆ).
· ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ಮಾರ್ಗಸೂಚಿ ಜೋಡಣೆ: ಹಾರ್ಡ್ವೇರ್/ಸಾಫ್ಟ್ವೇರ್ ಅಪ್ಗ್ರೇಡ್ ಮಾರ್ಗಗಳೊಂದಿಗೆ ನಿಮ್ಮ ಹೂಡಿಕೆಯನ್ನು ಭವಿಷ್ಯ-ನಿರೋಧಕವಾಗಿ (ಉದಾ, AI-ಆಧಾರಿತ ದೋಷ ಪತ್ತೆ ಮಾಡ್ಯೂಲ್).
· ತುರ್ತು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ: 4-ಗಂಟೆಗಳ ದೂರಸ್ಥ ರೋಗನಿರ್ಣಯ ಮತ್ತು 48-ಗಂಟೆಗಳ ಆನ್-ಸೈಟ್ ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪ (ಜಾಗತಿಕ ವ್ಯಾಪ್ತಿ) ಖಾತರಿ.
4. ಸೇವಾ ಮೂಲಸೌಕರ್ಯ
· ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಖಾತರಿ: SLA-ಬೆಂಬಲಿತ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಸಮಯಗಳೊಂದಿಗೆ ≥98% ಸಲಕರಣೆಗಳ ಅಪ್ಟೈಮ್ಗೆ ಒಪ್ಪಂದದ ಬದ್ಧತೆ.
ನಿರಂತರ ಸುಧಾರಣೆ
ನಾವು ದ್ವೈವಾರ್ಷಿಕ ಗ್ರಾಹಕ ತೃಪ್ತಿ ಸಮೀಕ್ಷೆಗಳನ್ನು ನಡೆಸುತ್ತೇವೆ ಮತ್ತು ಸೇವಾ ವಿತರಣೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು ಕೈಜೆನ್ ಉಪಕ್ರಮಗಳನ್ನು ಕಾರ್ಯಗತಗೊಳಿಸುತ್ತೇವೆ. ನಮ್ಮ ಸಂಶೋಧನೆ ಮತ್ತು ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ತಂಡವು ಕ್ಷೇತ್ರದ ಒಳನೋಟಗಳನ್ನು ಉಪಕರಣಗಳ ನವೀಕರಣಗಳಿಗೆ ಅನುವಾದಿಸುತ್ತದೆ - 30% ಫರ್ಮ್ವೇರ್ ಸುಧಾರಣೆಗಳು ಕ್ಲೈಂಟ್ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯಿಂದ ಹುಟ್ಟಿಕೊಳ್ಳುತ್ತವೆ.

