FOSB ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಬಾಕ್ಸ್ 12 ಇಂಚಿನ ವೇಫರ್‌ಗಾಗಿ 25 ಸ್ಲಾಟ್‌ಗಳು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಳಿಗೆ ನಿಖರವಾದ ಅಂತರ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಕ್ಲೀನ್ ವಸ್ತುಗಳು
ಪ್ರಮುಖ ಲಕ್ಷಣಗಳು
| ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯ | ವಿವರಣೆ |
| ಸ್ಲಾಟ್ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ | 25 ಸ್ಲಾಟ್‌ಗಳುಫಾರ್12-ಇಂಚಿನ ವೇಫರ್‌ಗಳು, ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಸುರಕ್ಷಿತವಾಗಿ ಹಿಡಿದಿಟ್ಟುಕೊಳ್ಳುವುದನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವಾಗ ಶೇಖರಣಾ ಸ್ಥಳವನ್ನು ಗರಿಷ್ಠಗೊಳಿಸುವುದು. |
| ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ನಿರ್ವಹಣೆ | ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ವೇಫರ್ ನಿರ್ವಹಣೆ, ಮಾನವ ದೋಷವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವುದು ಮತ್ತು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಫ್ಯಾಬ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುವುದು. |
| ನಿಖರವಾದ ಸ್ಲಾಟ್ ಅಂತರ | ನಿಖರತೆ-ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಿದ ಸ್ಲಾಟ್ ಅಂತರವು ವೇಫರ್ ಸಂಪರ್ಕವನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ, ಮಾಲಿನ್ಯ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಹಾನಿಯ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. |
| ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಕ್ಲೀನ್ ಮೆಟೀರಿಯಲ್ಸ್ | ರಚಿಸಲಾಗಿದೆಅತಿ ಸ್ವಚ್ಛ, ಕಡಿಮೆ ಅನಿಲ ಹೊರಸೂಸುವ ವಸ್ತುಗಳುವೇಫರ್‌ಗಳ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು. |
| ವೇಫರ್ ಧಾರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆ | ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತದೆ aಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ವೇಫರ್ ಧಾರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಸಾಗಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಸುರಕ್ಷಿತವಾಗಿ ಸ್ಥಳದಲ್ಲಿ ಇಡಲು. |
| SEMI/FIMS & AMHS ಅನುಸರಣೆ | ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿಸೆಮಿ/ಫಿಮ್ಸ್ಮತ್ತುಎ.ಎಂ.ಎಚ್.ಎಸ್.ಅನುಸರಣೆ, ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಅರೆವಾಹಕ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ತಡೆರಹಿತ ಏಕೀಕರಣವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. |
| ಕಣ ನಿಯಂತ್ರಣ | ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆಕಣ ಉತ್ಪಾದನೆ, ವೇಫರ್ ಸಾಗಣೆಗೆ ಸ್ವಚ್ಛ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. |
| ಗ್ರಾಹಕೀಯಗೊಳಿಸಬಹುದಾದ ವಿನ್ಯಾಸ | ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಬಹುದಾದಸ್ಲಾಟ್ ಕಾನ್ಫಿಗರೇಶನ್‌ಗಳು ಅಥವಾ ವಸ್ತು ಆಯ್ಕೆಗಳಿಗೆ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಗಳು ಸೇರಿದಂತೆ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಉತ್ಪಾದನಾ ಅಗತ್ಯಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು. |
| ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಾಳಿಕೆ | ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕತೆಗೆ ಧಕ್ಕೆಯಾಗದಂತೆ ಸಾರಿಗೆಯ ಕಠಿಣತೆಯನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಲು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಮರ್ಥ್ಯದ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ನಿರ್ಮಿಸಲಾಗಿದೆ. |
ವಿವರವಾದ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು
12-ಇಂಚಿನ ವೇಫರ್‌ಗಳಿಗೆ 1.25-ಸ್ಲಾಟ್ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ
25-ಸ್ಲಾಟ್ FOSB ಅನ್ನು 12-ಇಂಚಿನ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಸುರಕ್ಷಿತವಾಗಿ ಹಿಡಿದಿಟ್ಟುಕೊಳ್ಳಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, ಇದು ಸುರಕ್ಷಿತ ಮತ್ತು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಸಾಗಣೆಗೆ ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ. ನಿಖರವಾದ ವೇಫರ್ ಜೋಡಣೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಪ್ರತಿಯೊಂದು ಸ್ಲಾಟ್ ಅನ್ನು ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, ವೇಫರ್ ಒಡೆಯುವಿಕೆ ಅಥವಾ ವಿರೂಪತೆಯ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಸಾಗಣೆ ಅಥವಾ ನಿರ್ವಹಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಹಾನಿಯನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ಅಗತ್ಯವಾದ ವೇಫರ್‌ಗಳ ನಡುವೆ ಸುರಕ್ಷಿತ ಅಂತರವನ್ನು ಕಾಯ್ದುಕೊಳ್ಳುವಾಗ ವಿನ್ಯಾಸವು ಜಾಗವನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸುತ್ತದೆ.
2. ಹಾನಿ ತಡೆಗಟ್ಟುವಿಕೆಗಾಗಿ ನಿಖರ ಅಂತರ
ವೇಫರ್‌ಗಳ ನಡುವಿನ ನೇರ ಸಂಪರ್ಕವನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ಸ್ಲಾಟ್‌ಗಳ ನಡುವಿನ ನಿಖರ ಅಂತರವನ್ನು ಸೂಕ್ಷ್ಮವಾಗಿ ಲೆಕ್ಕಹಾಕಲಾಗುತ್ತದೆ. ಅರೆವಾಹಕ ವೇಫರ್ ನಿರ್ವಹಣೆಯಲ್ಲಿ ಈ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯವು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ, ಏಕೆಂದರೆ ಸಣ್ಣ ಗೀರು ಅಥವಾ ಮಾಲಿನ್ಯವು ಸಹ ಗಮನಾರ್ಹ ದೋಷಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು. ವೇಫರ್‌ಗಳ ನಡುವೆ ಸಾಕಷ್ಟು ಜಾಗವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವ ಮೂಲಕ, FOSB ಬಾಕ್ಸ್ ಸಾಗಣೆ, ಸಂಗ್ರಹಣೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಭೌತಿಕ ಹಾನಿ ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯದ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
3. ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಳಿಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ
FOSB ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಬಾಕ್ಸ್ ಅನ್ನು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಳಿಗೆ ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲಾಗಿದೆ, ಇದು ವೇಫರ್ ಸಾಗಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಮಾನವ ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪದ ಅಗತ್ಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ವಸ್ತು ನಿರ್ವಹಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳೊಂದಿಗೆ (AMHS) ಸರಾಗವಾಗಿ ಸಂಯೋಜಿಸುವ ಮೂಲಕ, ಬಾಕ್ಸ್ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ, ಮಾನವ ಸಂಪರ್ಕದಿಂದ ಮಾಲಿನ್ಯದ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಪ್ರದೇಶಗಳ ನಡುವೆ ವೇಫರ್ ಸಾಗಣೆಯನ್ನು ವೇಗಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯು ಆಧುನಿಕ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪರಿಸರಗಳಲ್ಲಿ ಸುಗಮ ಮತ್ತು ವೇಗವಾದ ವೇಫರ್ ನಿರ್ವಹಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
4.ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಕ್ಲೀನ್, ಕಡಿಮೆ-ಅನಿಲ ಹೊರಸೂಸುವ ವಸ್ತುಗಳು
ಅತ್ಯುನ್ನತ ಮಟ್ಟದ ಶುಚಿತ್ವವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು, FOSB ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಬಾಕ್ಸ್ ಅನ್ನು ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಕ್ಲೀನ್, ಕಡಿಮೆ-ಅನಿಲ ಹೊರಸೂಸುವ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಈ ನಿರ್ಮಾಣವು ವೇಫರ್ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ರಾಜಿ ಮಾಡಿಕೊಳ್ಳುವ ಬಾಷ್ಪಶೀಲ ಸಂಯುಕ್ತಗಳ ಬಿಡುಗಡೆಯನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ, ಸಾಗಣೆ ಮತ್ತು ಸಂಗ್ರಹಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ವೇಫರ್‌ಗಳು ಕಲುಷಿತವಾಗದಂತೆ ನೋಡಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಈ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯವು ಅರೆವಾಹಕ ಫ್ಯಾಬ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ವಿಶೇಷವಾಗಿ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ, ಅಲ್ಲಿ ಚಿಕ್ಕ ಕಣಗಳು ಅಥವಾ ರಾಸಾಯನಿಕ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳು ಸಹ ದುಬಾರಿ ದೋಷಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು.
5. ದೃಢವಾದ ವೇಫರ್ ಧಾರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆ
FOSB ಪೆಟ್ಟಿಗೆಯೊಳಗಿನ ವೇಫರ್ ಧಾರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಸಾಗಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಸುರಕ್ಷಿತವಾಗಿ ಹಿಡಿದಿಟ್ಟುಕೊಳ್ಳುವುದನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ವೇಫರ್ ತಪ್ಪು ಜೋಡಣೆ, ಗೀರುಗಳು ಅಥವಾ ಇತರ ರೀತಿಯ ಹಾನಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗುವ ಯಾವುದೇ ಚಲನೆಯನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ. ಈ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿಯೂ ಸಹ ವೇಫರ್ ಸ್ಥಾನವನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, ಸೂಕ್ಷ್ಮ ವೇಫರ್‌ಗಳಿಗೆ ಉತ್ತಮ ರಕ್ಷಣೆ ನೀಡುತ್ತದೆ.
6. ಕಣ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮತ್ತು ಸ್ವಚ್ಛತೆ
FOSB ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಬಾಕ್ಸ್‌ನ ವಿನ್ಯಾಸವು ಕಣ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವುದರ ಮೇಲೆ ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ದೋಷಗಳಿಗೆ ಪ್ರಮುಖ ಕಾರಣಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದಾಗಿದೆ. ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಕ್ಲೀನ್ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ದೃಢವಾದ ಧಾರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಬಳಸುವ ಮೂಲಕ, FOSB ಬಾಕ್ಸ್ ಮಾಲಿನ್ಯದ ಮಟ್ಟವನ್ನು ಕನಿಷ್ಠ ಮಟ್ಟಕ್ಕೆ ಇರಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಅಗತ್ಯವಾದ ಶುಚಿತ್ವವನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.
7.SEMI/FIMS ಮತ್ತು AMHS ಅನುಸರಣೆ
FOSB ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಬಾಕ್ಸ್ SEMI/FIMS ಮತ್ತು AMHS ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಉದ್ಯಮ-ಪ್ರಮಾಣಿತ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ವಸ್ತು ನಿರ್ವಹಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಅನುಸರಣೆಯು ಬಾಕ್ಸ್ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸೌಲಭ್ಯಗಳ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಉತ್ಪಾದನಾ ಕೆಲಸದ ಹರಿವುಗಳಲ್ಲಿ ಸುಗಮ ಏಕೀಕರಣವನ್ನು ಸುಗಮಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ.
8. ಬಾಳಿಕೆ ಮತ್ತು ದೀರ್ಘಾಯುಷ್ಯ
ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಮರ್ಥ್ಯದ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಲ್ಪಟ್ಟ FOSB ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಬಾಕ್ಸ್ ಅನ್ನು ಅದರ ರಚನಾತ್ಮಕ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳುವಾಗ ವೇಫರ್ ಸಾಗಣೆಯ ಭೌತಿಕ ಬೇಡಿಕೆಗಳನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. ಈ ಬಾಳಿಕೆಯು ಬಾಕ್ಸ್ ಅನ್ನು ಆಗಾಗ್ಗೆ ಬದಲಿಗಳ ಅಗತ್ಯವಿಲ್ಲದೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಥ್ರೋಪುಟ್ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಪದೇ ಪದೇ ಬಳಸಬಹುದೆಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ದೀರ್ಘಾವಧಿಯಲ್ಲಿ ವೆಚ್ಚ-ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಪರಿಹಾರವನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ.
9. ವಿಶಿಷ್ಟ ಅಗತ್ಯಗಳಿಗಾಗಿ ಗ್ರಾಹಕೀಯಗೊಳಿಸಬಹುದು
FOSB ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಬಾಕ್ಸ್ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಅಗತ್ಯಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಗ್ರಾಹಕೀಕರಣ ಆಯ್ಕೆಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ. ಸ್ಲಾಟ್‌ಗಳ ಸಂಖ್ಯೆಯನ್ನು ಸರಿಹೊಂದಿಸುತ್ತಿರಲಿ, ಬಾಕ್ಸ್‌ನ ಆಯಾಮಗಳನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸುತ್ತಿರಲಿ ಅಥವಾ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಿಗೆ ವಿಶೇಷ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡುತ್ತಿರಲಿ, ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಗೆ ಸರಿಹೊಂದುವಂತೆ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಬಾಕ್ಸ್ ಅನ್ನು ರೂಪಿಸಬಹುದು.
ಅರ್ಜಿಗಳನ್ನು
12-ಇಂಚಿನ (300mm) FOSB ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಬಾಕ್ಸ್ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಸಂಬಂಧಿತ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿನ ವಿವಿಧ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ:
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವೇಫರ್ ನಿರ್ವಹಣೆ
ಈ ಬಾಕ್ಸ್, ಆರಂಭಿಕ ತಯಾರಿಕೆಯಿಂದ ಅಂತಿಮ ಪರೀಕ್ಷೆ ಮತ್ತು ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್‌ವರೆಗೆ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಎಲ್ಲಾ ಹಂತಗಳಲ್ಲಿ 12-ಇಂಚಿನ ವೇಫರ್‌ಗಳ ಸುರಕ್ಷಿತ ಮತ್ತು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ನಿರ್ವಹಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಇದರ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ನಿರ್ವಹಣೆ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ಸ್ಲಾಟ್ ಅಂತರವು ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಮಾಲಿನ್ಯ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಹಾನಿಯಿಂದ ರಕ್ಷಿಸುತ್ತದೆ, ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಇಳುವರಿಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ವೇಫರ್ ಸಂಗ್ರಹಣೆ
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಫ್ಯಾಬ್‌ಗಳಲ್ಲಿ, ಅವನತಿ ಅಥವಾ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ವೇಫರ್ ಸಂಗ್ರಹಣೆಯನ್ನು ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ನಿರ್ವಹಿಸಬೇಕು. FOSB ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಬಾಕ್ಸ್ ಸ್ಥಿರ ಮತ್ತು ಶುದ್ಧ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ, ಶೇಖರಣಾ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ರಕ್ಷಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಮುಂದಿನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಸಿದ್ಧವಾಗುವವರೆಗೆ ಅವುಗಳ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಉತ್ಪಾದನಾ ಹಂತಗಳ ನಡುವೆ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಸಾಗಿಸುವುದು
FOSB ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಬಾಕ್ಸ್ ಅನ್ನು ಉತ್ಪಾದನೆಯ ವಿವಿಧ ಹಂತಗಳ ನಡುವೆ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಸುರಕ್ಷಿತವಾಗಿ ಸಾಗಿಸಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, ಸಾಗಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ಹಾನಿಯ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಒಂದೇ ಫ್ಯಾಬ್ ಒಳಗೆ ಅಥವಾ ವಿಭಿನ್ನ ಸೌಲಭ್ಯಗಳ ನಡುವೆ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಚಲಿಸುವಾಗ, ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಬಾಕ್ಸ್ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಸುರಕ್ಷಿತವಾಗಿ ಮತ್ತು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಸಾಗಿಸುವುದನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
AMHS ಜೊತೆ ಏಕೀಕರಣ
FOSB ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಬಾಕ್ಸ್ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ವಸ್ತು ನಿರ್ವಹಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳೊಂದಿಗೆ (AMHS) ಸರಾಗವಾಗಿ ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತದೆ, ಆಧುನಿಕ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಫ್ಯಾಬ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ವೇಫರ್ ಚಲನೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. AMHS ಒದಗಿಸಿದ ಯಾಂತ್ರೀಕೃತಗೊಂಡವು ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ, ಮಾನವ ದೋಷಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಮಾರ್ಗಗಳಲ್ಲಿ ಒಟ್ಟಾರೆ ಥ್ರೋಪುಟ್ ಅನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ.
FOSB ಕೀವರ್ಡ್‌ಗಳು ಪ್ರಶ್ನೋತ್ತರಗಳು
ಪ್ರಶ್ನೆ 1: FOSB ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಬಾಕ್ಸ್ ಎಷ್ಟು ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಹಿಡಿದಿಟ್ಟುಕೊಳ್ಳಬಹುದು?
ಎ 1:ದಿFOSB ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಬಾಕ್ಸ್ಹೊಂದಿದೆ25-ಸ್ಲಾಟ್ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ, ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ಹಿಡಿದಿಡಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ12-ಇಂಚಿನ (300ಮಿಮೀ) ವೇಫರ್‌ಗಳುನಿರ್ವಹಣೆ, ಸಂಗ್ರಹಣೆ ಮತ್ತು ಸಾಗಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಸುರಕ್ಷಿತವಾಗಿ.
ಪ್ರಶ್ನೆ 2: FOSB ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಬಾಕ್ಸ್‌ನಲ್ಲಿ ನಿಖರವಾದ ಅಂತರದ ಪ್ರಯೋಜನಗಳೇನು?
ಎ 2: ನಿಖರ ಅಂತರವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಪರಸ್ಪರ ಸುರಕ್ಷಿತ ದೂರದಲ್ಲಿ ಇಡುವುದನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಗೀರುಗಳು, ಬಿರುಕುಗಳು ಅಥವಾ ಮಾಲಿನ್ಯಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುವ ಸಂಪರ್ಕವನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ. ಸಾಗಣೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಉದ್ದಕ್ಕೂ ವೇಫರ್‌ಗಳ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು ಈ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯವು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ.
ಪ್ರಶ್ನೆ 3: FOSB ಬಾಕ್ಸ್ ಅನ್ನು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಬಳಸಬಹುದೇ?
ಎ 3:ಹೌದು, ದಿFOSB ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಬಾಕ್ಸ್ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲಾಗಿದೆಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಳುಮತ್ತು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆಎ.ಎಂ.ಎಚ್.ಎಸ್., ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ, ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಮಾರ್ಗಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
ಪ್ರಶ್ನೆ 4: ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು FOSB ವಾಹಕ ಪೆಟ್ಟಿಗೆಯಲ್ಲಿ ಯಾವ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ?
ಎ 4:ದಿFOSB ವಾಹಕ ಪೆಟ್ಟಿಗೆನಿಂದ ತಯಾರಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆಅತಿ ಸ್ವಚ್ಛ, ಕಡಿಮೆ ಅನಿಲ ಹೊರಸೂಸುವ ವಸ್ತುಗಳುಸಾಗಣೆ ಮತ್ತು ಸಂಗ್ರಹಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ಮತ್ತು ವೇಫರ್‌ನ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಇವುಗಳನ್ನು ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ.
Q5: FOSB ಪೆಟ್ಟಿಗೆಯಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ಧಾರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಹೇಗೆ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ?
A5:ದಿವೇಫರ್ ಧಾರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿಯೂ ಸಹ ಸಾಗಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಯಾವುದೇ ಚಲನೆಯನ್ನು ತಡೆಯುವ ಮೂಲಕ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಸ್ಥಳದಲ್ಲಿ ಭದ್ರಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಕಂಪನಗಳು ಅಥವಾ ಬಾಹ್ಯ ಶಕ್ತಿಗಳಿಂದಾಗಿ ವೇಫರ್ ತಪ್ಪು ಜೋಡಣೆ ಅಥವಾ ಹಾನಿಯ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
Q6: ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಅಗತ್ಯಗಳಿಗಾಗಿ FOSB ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಬಾಕ್ಸ್ ಅನ್ನು ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಬಹುದೇ?
ಎ 6:ಹೌದು, ದಿFOSB ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಬಾಕ್ಸ್ಕೊಡುಗೆಗಳುಗ್ರಾಹಕೀಕರಣ ಆಯ್ಕೆಗಳು, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಫ್ಯಾಬ್‌ಗಳ ವಿಶಿಷ್ಟ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಸ್ಲಾಟ್ ಕಾನ್ಫಿಗರೇಶನ್‌ಗಳು, ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ಆಯಾಮಗಳಿಗೆ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಗಳನ್ನು ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ.
ತೀರ್ಮಾನ
12-ಇಂಚಿನ (300mm) FOSB ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಬಾಕ್ಸ್ ಅರೆವಾಹಕ ವೇಫರ್ ಸಾಗಣೆ ಮತ್ತು ಸಂಗ್ರಹಣೆಗೆ ಹೆಚ್ಚು ಸುರಕ್ಷಿತ ಮತ್ತು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಪರಿಹಾರವನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ. 25 ಸ್ಲಾಟ್‌ಗಳು, ನಿಖರವಾದ ಅಂತರ, ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಕ್ಲೀನ್ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯೊಂದಿಗೆ
ವಿವರವಾದ ರೇಖಾಚಿತ್ರ
