ಡಬಲ್ ಸ್ಟೇಷನ್ ಸ್ಕ್ವೇರ್ ಮೆಷಿನ್ ಮೊನೊಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ರಾಡ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆ 6/8/12 ಇಂಚಿನ ಮೇಲ್ಮೈ ಚಪ್ಪಟೆತನ Ra≤0.5μm
ಸಲಕರಣೆಗಳ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು:
(1) ಡಬಲ್ ಸ್ಟೇಷನ್ ಸಿಂಕ್ರೊನಸ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ
· ಡಬಲ್ ದಕ್ಷತೆ: ಎರಡು ಸಿಲಿಕಾನ್ ರಾಡ್ಗಳ (Ø6"-12") ಏಕಕಾಲಿಕ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯು ಸಿಂಪ್ಲೆಕ್ಸ್ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಉತ್ಪಾದಕತೆಯನ್ನು 40%-60% ರಷ್ಟು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ.
· ಸ್ವತಂತ್ರ ನಿಯಂತ್ರಣ: ಪ್ರತಿಯೊಂದು ನಿಲ್ದಾಣವು ವಿಭಿನ್ನ ಸಿಲಿಕಾನ್ ರಾಡ್ ವಿಶೇಷಣಗಳಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳಲು ಕತ್ತರಿಸುವ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು (ಒತ್ತಡ, ಫೀಡ್ ವೇಗ) ಸ್ವತಂತ್ರವಾಗಿ ಹೊಂದಿಸಬಹುದು.
(2) ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಕತ್ತರಿಸುವುದು
· ಆಯಾಮದ ನಿಖರತೆ: ಚದರ ಬಾರ್ ಸೈಡ್ ದೂರ ಸಹಿಷ್ಣುತೆ ± 0.15 ಮಿಮೀ, ಶ್ರೇಣಿ ≤ 0.20 ಮಿಮೀ.
· ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಮಟ್ಟ: ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ಅಂಚಿನ ಒಡೆಯುವಿಕೆ <0.5mm, ನಂತರದ ರುಬ್ಬುವಿಕೆಯ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಿ.
(3) ಬುದ್ಧಿವಂತ ನಿಯಂತ್ರಣ
· ಅಡಾಪ್ಟಿವ್ ಕಟಿಂಗ್: ಸಿಲಿಕಾನ್ ರಾಡ್ ರೂಪವಿಜ್ಞಾನದ ನೈಜ-ಸಮಯದ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ, ಕತ್ತರಿಸುವ ಮಾರ್ಗದ ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ (ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಬಾಗಿದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ರಾಡ್ ಅನ್ನು ಸಂಸ್ಕರಿಸುವುದು).
· ಡೇಟಾ ಪತ್ತೆಹಚ್ಚುವಿಕೆ: MES ಸಿಸ್ಟಮ್ ಡಾಕಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸಲು ಪ್ರತಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ರಾಡ್ನ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ರೆಕಾರ್ಡ್ ಮಾಡಿ.
(4) ಕಡಿಮೆ ಬಳಕೆಯ ವೆಚ್ಚ
· ವಜ್ರದ ತಂತಿ ಬಳಕೆ: ≤0.06m/mm (ಸಿಲಿಕಾನ್ ರಾಡ್ ಉದ್ದ), ತಂತಿ ವ್ಯಾಸ ≤0.30mm.
· ಶೀತಕ ಪರಿಚಲನೆ: ಶೋಧನೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಸೇವಾ ಅವಧಿಯನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ತ್ಯಾಜ್ಯ ದ್ರವ ವಿಲೇವಾರಿಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ಮತ್ತು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯ ಅನುಕೂಲಗಳು:
(1) ಕಟಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ಆಪ್ಟಿಮೈಸೇಶನ್
- ಬಹು-ಸಾಲಿನ ಕತ್ತರಿಸುವುದು: 100-200 ವಜ್ರದ ರೇಖೆಗಳನ್ನು ಸಮಾನಾಂತರವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಕತ್ತರಿಸುವ ವೇಗ ≥40mm/ನಿಮಿಷ.
- ಟೆನ್ಷನ್ ಕಂಟ್ರೋಲ್: ವೈರ್ ಒಡೆಯುವಿಕೆಯ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಕ್ಲೋಸ್ಡ್ ಲೂಪ್ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆ (±1N).
(2) ಹೊಂದಾಣಿಕೆ ವಿಸ್ತರಣೆ
- ವಸ್ತು ಅಳವಡಿಕೆ: TOPCon, HJT ಮತ್ತು ಇತರ ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆಯ ಬ್ಯಾಟರಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ರಾಡ್ಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ P-ಟೈಪ್/N-ಟೈಪ್ ಮೊನೊಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಅನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸಿ.
- ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಗಾತ್ರ: ಸಿಲಿಕಾನ್ ರಾಡ್ ಉದ್ದ 100-950 ಮಿಮೀ, ಚದರ ರಾಡ್ ಬದಿಯ ದೂರ 166-233 ಮಿಮೀ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ.
(3) ಆಟೊಮೇಷನ್ ಅಪ್ಗ್ರೇಡ್
- ರೋಬೋಟ್ ಲೋಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಇಳಿಸುವಿಕೆ: ಸಿಲಿಕಾನ್ ರಾಡ್ಗಳ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಲೋಡಿಂಗ್/ಇಳಿಸುವಿಕೆ, ≤3 ನಿಮಿಷಗಳನ್ನು ಸೋಲಿಸಿ.
- ಬುದ್ಧಿವಂತ ರೋಗನಿರ್ಣಯ: ಯೋಜಿತವಲ್ಲದ ಅಲಭ್ಯತೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಮುನ್ಸೂಚಕ ನಿರ್ವಹಣೆ.
(4) ಉದ್ಯಮ ನಾಯಕತ್ವ
- ವೇಫರ್ ಬೆಂಬಲ: ಚದರ ರಾಡ್ಗಳೊಂದಿಗೆ ≥100μm ಅಲ್ಟ್ರಾ-ತೆಳುವಾದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಅನ್ನು ಸಂಸ್ಕರಿಸಬಹುದು, ವಿಘಟನೆಯ ದರ <0.5%.
- ಶಕ್ತಿ ಬಳಕೆ ಅತ್ಯುತ್ತಮೀಕರಣ: ಸಿಲಿಕಾನ್ ರಾಡ್ನ ಪ್ರತಿ ಯೂನಿಟ್ಗೆ ಶಕ್ತಿಯ ಬಳಕೆ 30% ರಷ್ಟು ಕಡಿಮೆಯಾಗಿದೆ (ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ).
ತಾಂತ್ರಿಕ ನಿಯತಾಂಕಗಳು:
ನಿಯತಾಂಕದ ಹೆಸರು | ಸೂಚ್ಯಂಕ ಮೌಲ್ಯ |
ಸಂಸ್ಕರಿಸಿದ ಬಾರ್ಗಳ ಸಂಖ್ಯೆ | 2 ತುಣುಕುಗಳು/ಸೆಟ್ |
ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಬಾರ್ ಉದ್ದದ ಶ್ರೇಣಿ | 100~950ಮಿಮೀ |
ಯಂತ್ರ ಅಂಚು ಶ್ರೇಣಿ | 166~233ಮಿಮೀ |
ಕತ್ತರಿಸುವ ವೇಗ | ≥40ಮಿಮೀ/ನಿಮಿಷ |
ವಜ್ರದ ತಂತಿಯ ವೇಗ | 0~35ಮೀ/ಸೆ |
ವಜ್ರದ ವ್ಯಾಸ | 0.30 ಮಿಮೀ ಅಥವಾ ಕಡಿಮೆ |
ರೇಖೀಯ ಬಳಕೆ | 0.06 ಮೀ/ಮಿಮೀ ಅಥವಾ ಅದಕ್ಕಿಂತ ಕಡಿಮೆ |
ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯ ಸುತ್ತಿನ ರಾಡ್ ವ್ಯಾಸ | ಮುಗಿದ ಚೌಕಾಕಾರದ ರಾಡ್ ವ್ಯಾಸ +2 ಮಿಮೀ, ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ಪಾಸ್ ದರವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಿ. |
ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ಒಡೆಯುವಿಕೆ ನಿಯಂತ್ರಣ | ಕಚ್ಚಾ ಅಂಚು ≤0.5mm, ಚಿಪ್ಪಿಂಗ್ ಇಲ್ಲ, ಉತ್ತಮ ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಮಟ್ಟ |
ಚಾಪ ಉದ್ದದ ಏಕರೂಪತೆ | ಪ್ರಕ್ಷೇಪಣ ಶ್ರೇಣಿ <1.5mm, ಸಿಲಿಕಾನ್ ರಾಡ್ ಅಸ್ಪಷ್ಟತೆಯನ್ನು ಹೊರತುಪಡಿಸಿ |
ಯಂತ್ರ ಆಯಾಮಗಳು (ಏಕ ಯಂತ್ರ) | 4800×3020×3660ಮಿಮೀ |
ಒಟ್ಟು ರೇಟೆಡ್ ಪವರ್ | 56 ಕಿ.ವ್ಯಾ |
ಸಲಕರಣೆಗಳ ಸತ್ತ ತೂಕ | 12ಟಿ |
ಯಂತ್ರ ನಿಖರತೆ ಸೂಚ್ಯಂಕ ಕೋಷ್ಟಕ:
ನಿಖರವಾದ ವಸ್ತು | ಸಹಿಷ್ಣುತೆಯ ಶ್ರೇಣಿ |
ಚೌಕ ಪಟ್ಟಿಯ ಅಂಚು ಸಹಿಷ್ಣುತೆ | ±0.15ಮಿಮೀ |
ಚೌಕಾಕಾರದ ಪಟ್ಟಿಯ ಅಂಚಿನ ಶ್ರೇಣಿ | ≤0.20ಮಿಮೀ |
ಚೌಕಾಕಾರದ ರಾಡ್ನ ಎಲ್ಲಾ ಬದಿಗಳಲ್ಲಿನ ಕೋನ | 90°±0.05° |
ಚೌಕಾಕಾರದ ರಾಡ್ನ ಚಪ್ಪಟೆತನ | ≤0.15ಮಿಮೀ |
ರೋಬೋಟ್ ಪುನರಾವರ್ತಿತ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ನಿಖರತೆ | ±0.05ಮಿಮೀ |
XKH ನ ಸೇವೆಗಳು:
XKH ಮೊನೊ-ಸ್ಫಟಿಕದಂತಹ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಡ್ಯುಯಲ್-ಸ್ಟೇಷನ್ ಯಂತ್ರಗಳಿಗೆ ಪೂರ್ಣ-ಚಕ್ರ ಸೇವೆಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ, ಇದರಲ್ಲಿ ಉಪಕರಣಗಳ ಗ್ರಾಹಕೀಕರಣ (ದೊಡ್ಡ ಸಿಲಿಕಾನ್ ರಾಡ್ಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ), ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಕಾರ್ಯಾರಂಭ (ಕಟಿಂಗ್ ಪ್ಯಾರಾಮೀಟರ್ ಆಪ್ಟಿಮೈಸೇಶನ್), ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ತರಬೇತಿ ಮತ್ತು ಮಾರಾಟದ ನಂತರದ ಬೆಂಬಲ (ಪ್ರಮುಖ ಭಾಗಗಳ ಪೂರೈಕೆ, ದೂರಸ್ಥ ರೋಗನಿರ್ಣಯ), ಗ್ರಾಹಕರು ಹೆಚ್ಚಿನ ಇಳುವರಿ (> 99%) ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಬಳಕೆ ವೆಚ್ಚದ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸುವುದನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ತಾಂತ್ರಿಕ ನವೀಕರಣಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ (ಉದಾಹರಣೆಗೆ AI ಕಟಿಂಗ್ ಆಪ್ಟಿಮೈಸೇಶನ್). ವಿತರಣಾ ಅವಧಿ 2-4 ತಿಂಗಳುಗಳು.
ವಿವರವಾದ ರೇಖಾಚಿತ್ರ



