ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಿದ ಆಕಾರದ ನೀಲಮಣಿ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ವಿಂಡೋಸ್ ನೀಲಮಣಿ ಘಟಕಗಳು ನಿಖರವಾದ ಹೊಳಪು ನೀಡುವಿಕೆಯೊಂದಿಗೆ
ತಾಂತ್ರಿಕ ನಿಯತಾಂಕಗಳು
ನೀಲಮಣಿ ಕಿಟಕಿ | |
ಆಯಾಮ | 8-400ಮಿ.ಮೀ |
ಆಯಾಮದ ಸಹಿಷ್ಣುತೆ | +0/-0.05ಮಿಮೀ |
ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಮಟ್ಟ (ಗೀರು ಮತ್ತು ಅಗೆಯುವಿಕೆ) | 40/20 |
ಮೇಲ್ಮೈ ನಿಖರತೆ | λ/10per@633nm |
ಸ್ಪಷ್ಟ ದ್ಯುತಿರಂಧ್ರ | >:85%, >90% |
ಸಮಾನಾಂತರ ಸಹಿಷ್ಣುತೆ | ±2''-±3'' |
ಬೆವೆಲ್ | 0.1-0.3ಮಿ.ಮೀ |
ಲೇಪನ | ಗ್ರಾಹಕರ ಕೋರಿಕೆಯ ಮೇರೆಗೆ AR/AF/ |
ಪ್ರಮುಖ ಲಕ್ಷಣಗಳು
1.ವಸ್ತು ಶ್ರೇಷ್ಠತೆ
· ವರ್ಧಿತ ಉಷ್ಣ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು: 35 W/m·K (100°C ನಲ್ಲಿ) ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತದೆ, ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕದೊಂದಿಗೆ (5.3×10⁻⁶/K) ಇದು ತ್ವರಿತ ತಾಪಮಾನ ಚಕ್ರದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಅಸ್ಪಷ್ಟತೆಯನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ. 1000°C ನಿಂದ ಕೋಣೆಯ ಉಷ್ಣಾಂಶಕ್ಕೆ ಸೆಕೆಂಡುಗಳಲ್ಲಿ ಉಷ್ಣ ಆಘಾತ ಪರಿವರ್ತನೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿಯೂ ಸಹ ವಸ್ತುವು ರಚನಾತ್ಮಕ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.
· ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ಥಿರತೆ: ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ಕೇಂದ್ರೀಕೃತ ಆಮ್ಲಗಳು (HF ಹೊರತುಪಡಿಸಿ) ಮತ್ತು ಕ್ಷಾರಗಳಿಗೆ (pH 1-14) ಒಡ್ಡಿಕೊಂಡಾಗ ಶೂನ್ಯ ಅವನತಿಯನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ರಾಸಾಯನಿಕ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
· ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಪರಿಷ್ಕರಣೆ: ಮುಂದುವರಿದ ಸಿ-ಆಕ್ಸಿಸ್ ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಮೂಲಕ, 0.1%/ಸೆಂ.ಮೀ ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಸ್ಕ್ಯಾಟರ್ ನಷ್ಟದೊಂದಿಗೆ ಗೋಚರ ವರ್ಣಪಟಲದಲ್ಲಿ (400-700nm) >85% ಪ್ರಸರಣವನ್ನು ಸಾಧಿಸುತ್ತದೆ.
· ಐಚ್ಛಿಕ ಹೈಪರ್-ಅರ್ಧಗೋಳಿಕ ಹೊಳಪು 1064nm ನಲ್ಲಿ ಮೇಲ್ಮೈ ಪ್ರತಿಫಲನಗಳನ್ನು ಪ್ರತಿ ಮೇಲ್ಮೈಗೆ <0.2% ಗೆ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
2. ನಿಖರ ಎಂಜಿನಿಯರಿಂಗ್ ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳು
· ನ್ಯಾನೊಸ್ಕೇಲ್ ಸರ್ಫೇಸ್ ಕಂಟ್ರೋಲ್: ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟೋರಿಯೊಲಾಜಿಕಲ್ ಫಿನಿಶಿಂಗ್ (MRF) ಬಳಸಿಕೊಂಡು, ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನವನ್ನು <0.3nm Ra ಸಾಧಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯ ಲೇಸರ್ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ, ಅಲ್ಲಿ LIDT 1064nm ನಲ್ಲಿ 10J/cm² ಅನ್ನು ಮೀರುತ್ತದೆ, 10ns ಪಲ್ಸ್ಗಳು.
· ಸಂಕೀರ್ಣ ರೇಖಾಗಣಿತ ತಯಾರಿಕೆ: <100nm ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯದ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ನೊಂದಿಗೆ ಮೈಕ್ರೋಫ್ಲೂಯಿಡಿಕ್ ಚಾನಲ್ಗಳು (50μm ಅಗಲ ಸಹಿಷ್ಣುತೆ) ಮತ್ತು ಡಿಫ್ರಾಕ್ಟಿವ್ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಅಂಶಗಳನ್ನು (DOE) ರಚಿಸಲು 5-ಅಕ್ಷದ ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ಯಂತ್ರವನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತದೆ.
· ಮಾಪನಶಾಸ್ತ್ರ ಏಕೀಕರಣ: 3D ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಲಕ್ಷಣಕ್ಕಾಗಿ ಬಿಳಿ-ಬೆಳಕಿನ ಇಂಟರ್ಫೆರೊಮೆಟ್ರಿ ಮತ್ತು ಪರಮಾಣು ಬಲ ಸೂಕ್ಷ್ಮದರ್ಶಕ (AFM) ಅನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತದೆ, 200mm ತಲಾಧಾರಗಳಲ್ಲಿ <100nm PV ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ರೂಪ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳು
1.ರಕ್ಷಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳ ವರ್ಧನೆ
· ಹೈಪರ್ಸಾನಿಕ್ ವಾಹನ ಗುಮ್ಮಟಗಳು: ಸೀಕರ್ ಹೆಡ್ಗಳಿಗೆ MWIR ಪ್ರಸರಣವನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವಾಗ ಮ್ಯಾಕ್ 5+ ಏರೋಥರ್ಮಲ್ ಲೋಡ್ಗಳನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳುವಂತೆ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. ವಿಶೇಷ ನ್ಯಾನೊಕಾಂಪೋಸಿಟ್ ಅಂಚಿನ ಸೀಲುಗಳು 15G ಕಂಪನ ಲೋಡ್ಗಳ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಡಿಲಾಮಿನೇಷನ್ ಅನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತವೆ.
· ಕ್ವಾಂಟಮ್ ಸೆನ್ಸಿಂಗ್ ಪ್ಲಾಟ್ಫಾರ್ಮ್ಗಳು: ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಲೋ ಬೈರ್ಫ್ರಿಂಗನ್ಸ್ (<5nm/cm) ಆವೃತ್ತಿಗಳು ಜಲಾಂತರ್ಗಾಮಿ ಪತ್ತೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ನಿಖರ ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟೋಮೆಟ್ರಿಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತವೆ.
2. ಕೈಗಾರಿಕಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಾವೀನ್ಯತೆ
· ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಎಕ್ಸ್ಟ್ರೀಮ್ UV ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ: <0.01nm ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ ಹೊಂದಿರುವ ಗ್ರೇಡ್ AA ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಿದ ಕಿಟಕಿಗಳು ಸ್ಟೆಪ್ಪರ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ EUV (13.5nm) ಸ್ಕ್ಯಾಟರಿಂಗ್ ನಷ್ಟವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
· ಪರಮಾಣು ರಿಯಾಕ್ಟರ್ ಮಾನಿಟರಿಂಗ್: ನ್ಯೂಟ್ರಾನ್-ಪಾರದರ್ಶಕ ರೂಪಾಂತರಗಳು (Al₂O₃ ಐಸೊಟೋಪಿಕಲ್ ಆಗಿ ಶುದ್ಧೀಕರಿಸಲ್ಪಟ್ಟವು) Gen IV ರಿಯಾಕ್ಟರ್ ಕೋರ್ಗಳಲ್ಲಿ ನೈಜ-ಸಮಯದ ದೃಶ್ಯ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತವೆ.
3. ಉದಯೋನ್ಮುಖ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ಏಕೀಕರಣ
· ಬಾಹ್ಯಾಕಾಶ-ಆಧಾರಿತ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಸಂವಹನಗಳು: ವಿಕಿರಣ-ಗಟ್ಟಿಗೊಳಿಸಿದ ಆವೃತ್ತಿಗಳು (1Mrad ಗಾಮಾ ಮಾನ್ಯತೆಯ ನಂತರ) LEO ಉಪಗ್ರಹ ಲೇಸರ್ ಕ್ರಾಸ್ಲಿಂಕ್ಗಳಿಗೆ 80% ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಪ್ರಸರಣವನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ.
· ಬಯೋಫೋಟೋನಿಕ್ಸ್ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ಗಳು: ಬಯೋ-ಇನರ್ಟ್ ಮೇಲ್ಮೈ ಚಿಕಿತ್ಸೆಗಳು ನಿರಂತರ ಗ್ಲೂಕೋಸ್ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆಗಾಗಿ ಅಳವಡಿಸಬಹುದಾದ ರಾಮನ್ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರೋಸ್ಕೋಪಿ ವಿಂಡೋಗಳನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತವೆ.
4.ಸುಧಾರಿತ ಶಕ್ತಿ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು
· ಫ್ಯೂಷನ್ ರಿಯಾಕ್ಟರ್ ಡಯಾಗ್ನೋಸ್ಟಿಕ್ಸ್: ಬಹು-ಪದರದ ವಾಹಕ ಲೇಪನಗಳು (ITO-AlN) ಟೋಕಮಾಕ್ ಸ್ಥಾಪನೆಗಳಲ್ಲಿ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ವೀಕ್ಷಣೆ ಮತ್ತು EMI ರಕ್ಷಾಕವಚ ಎರಡನ್ನೂ ಒದಗಿಸುತ್ತವೆ.
· ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಮೂಲಸೌಕರ್ಯ: ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್-ದರ್ಜೆಯ ಆವೃತ್ತಿಗಳು (20K ಗೆ ಪರೀಕ್ಷಿಸಲಾಗಿದೆ) ದ್ರವ H₂ ಶೇಖರಣಾ ವ್ಯೂಪೋರ್ಟ್ಗಳಲ್ಲಿ ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಹುದುಗುವಿಕೆಯನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ.
XKH ಸೇವೆಗಳು ಮತ್ತು ಪೂರೈಕೆ ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳು
1. ಕಸ್ಟಮ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸೇವೆಗಳು
· ರೇಖಾಚಿತ್ರ ಆಧಾರಿತ ಗ್ರಾಹಕೀಕರಣ: ಪ್ರಮಾಣಿತವಲ್ಲದ ವಿನ್ಯಾಸಗಳು (1 ಮಿಮೀ ನಿಂದ 300 ಮಿಮೀ ಆಯಾಮಗಳು), 20-ದಿನಗಳ ತ್ವರಿತ ವಿತರಣೆ ಮತ್ತು 4 ವಾರಗಳಲ್ಲಿ ಮೊದಲ ಬಾರಿಗೆ ಮೂಲಮಾದರಿಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ.
· ಲೇಪನ ಪರಿಹಾರಗಳು: ಪ್ರತಿಫಲನ ನಷ್ಟವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಪ್ರತಿಫಲನ-ವಿರೋಧಿ (AR), ಫೌಲಿಂಗ್-ವಿರೋಧಿ (AF), ಮತ್ತು ತರಂಗಾಂತರ-ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಲೇಪನಗಳು (UV/IR).
· ನಿಖರವಾದ ಹೊಳಪು ನೀಡುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಪರೀಕ್ಷೆ: ಪರಮಾಣು-ಮಟ್ಟದ ಹೊಳಪು ನೀಡುವಿಕೆಯು ≤0.5 nm ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನವನ್ನು ಸಾಧಿಸುತ್ತದೆ, ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೆಟ್ರಿಯು λ/10 ಚಪ್ಪಟೆತನ ಅನುಸರಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
2. ಪೂರೈಕೆ ಸರಪಳಿ ಮತ್ತು ತಾಂತ್ರಿಕ ಬೆಂಬಲ
· ಲಂಬ ಏಕೀಕರಣ: ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯಿಂದ (ಕ್ಜೋಕ್ರಾಲ್ಸ್ಕಿ ವಿಧಾನ) ಕತ್ತರಿಸುವುದು, ಹೊಳಪು ನೀಡುವುದು ಮತ್ತು ಲೇಪನ ಮಾಡುವವರೆಗೆ ಪೂರ್ಣ-ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿಯಂತ್ರಣ, ವಸ್ತು ಶುದ್ಧತೆ (ಶೂನ್ಯ-/ಗಡಿ-ಮುಕ್ತ) ಮತ್ತು ಬ್ಯಾಚ್ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಾತರಿಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
· ಕೈಗಾರಿಕಾ ಸಹಯೋಗ: ಏರೋಸ್ಪೇಸ್ ಗುತ್ತಿಗೆದಾರರಿಂದ ಪ್ರಮಾಣೀಕರಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ; ದೇಶೀಯ ಪರ್ಯಾಯಕ್ಕಾಗಿ ಸೂಪರ್ಲ್ಯಾಟಿಸ್ ಹೆಟೆರೊಸ್ಟ್ರಕ್ಚರ್ಗಳನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಲು CAS ನೊಂದಿಗೆ ಪಾಲುದಾರಿಕೆ ಹೊಂದಿದೆ.
3.ಉತ್ಪನ್ನ ಪೋರ್ಟ್ಫೋಲಿಯೊ ಮತ್ತು ಲಾಜಿಸ್ಟಿಕ್ಸ್
· ಪ್ರಮಾಣಿತ ದಾಸ್ತಾನು: 6-ಇಂಚಿನಿಂದ 12-ಇಂಚಿನ ವೇಫರ್ ಸ್ವರೂಪಗಳು; 43 ರಿಂದ 82 ರವರೆಗೆ (ಗಾತ್ರ/ಲೇಪನ-ಅವಲಂಬಿತ) ಯುನಿಟ್ ಬೆಲೆ, ಅದೇ ದಿನದ ಸಾಗಾಟದೊಂದಿಗೆ.
· ಅನ್ವಯ-ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ವಿನ್ಯಾಸಗಳಿಗೆ ತಾಂತ್ರಿಕ ಸಮಾಲೋಚನೆ (ಉದಾ. ನಿರ್ವಾತ ಕೋಣೆಗಳಿಗೆ ಮೆಟ್ಟಿಲು ಕಿಟಕಿಗಳು, ಉಷ್ಣ ಆಘಾತ-ನಿರೋಧಕ ರಚನೆಗಳು).

