ಬೆಳೆದ ನೀಲಮಣಿ ಬೌಲ್ ಇಂಗೋಟ್ ಸ್ಫಟಿಕ ky ವಿಧಾನ
ವಿವರವಾದ ರೇಖಾಚಿತ್ರ
ಅವಲೋಕನ
A ನೀಲಮಣಿ ಬೌಲ್ಇದು ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಆಕ್ಸೈಡ್ (Al₂O₃) ನ ದೊಡ್ಡದಾದ, ಬೆಳೆದ ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕವಾಗಿದ್ದು, ಇದು ನೀಲಮಣಿ ವೇಫರ್ಗಳು, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಕಿಟಕಿಗಳು, ಉಡುಗೆ-ನಿರೋಧಕ ಭಾಗಗಳು ಮತ್ತು ರತ್ನ ಕತ್ತರಿಸುವಿಕೆಗೆ ಅಪ್ಸ್ಟ್ರೀಮ್ ಫೀಡ್ಸ್ಟಾಕ್ ಆಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ.ಮೊಹ್ಸ್ 9 ಗಡಸುತನ, ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ(ಕರಗುವ ಬಿಂದು ~2050 °C), ಮತ್ತುಬ್ರಾಡ್ಬ್ಯಾಂಡ್ ಪಾರದರ್ಶಕತೆUV ಯಿಂದ ಮಧ್ಯ-IR ವರೆಗೆ, ನೀಲಮಣಿಯು ಬಾಳಿಕೆ, ಸ್ವಚ್ಛತೆ ಮತ್ತು ದೃಗ್ವಿಜ್ಞಾನದ ಗುಣಮಟ್ಟವು ಒಟ್ಟಿಗೆ ಇರಬೇಕಾದ ಮಾನದಂಡದ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ.
ನಾವು ಉದ್ಯಮ-ಸಾಬೀತಾದ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ವಿಧಾನಗಳಿಂದ ಉತ್ಪಾದಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ಬಣ್ಣರಹಿತ ಮತ್ತು ಡೋಪ್ ಮಾಡಿದ ನೀಲಮಣಿ ಬೌಲ್ಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತೇವೆ, ಇವುಗಳನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲಾಗುವುದುGaN/AlGaN ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ, ನಿಖರ ದೃಗ್ವಿಜ್ಞಾನ, ಮತ್ತುಹೆಚ್ಚಿನ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯ ಕೈಗಾರಿಕಾ ಘಟಕಗಳು.
ನಮ್ಮಿಂದ ನೀಲಮಣಿ ಬೌಲ್ ಏಕೆ
-
ಮೊದಲು ಸ್ಫಟಿಕದ ಗುಣಮಟ್ಟ:ಕಡಿಮೆ ಆಂತರಿಕ ಒತ್ತಡ, ಕಡಿಮೆ ಗುಳ್ಳೆ/ಸ್ಟ್ರೈ ಅಂಶ, ಕೆಳಮುಖ ಸ್ಲೈಸಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಗೆ ಬಿಗಿಯಾದ ದೃಷ್ಟಿಕೋನ ನಿಯಂತ್ರಣ.
-
ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಮ್ಯತೆ:ನಿಮ್ಮ ಅರ್ಜಿಯ ಗಾತ್ರ, ಒತ್ತಡ ಮತ್ತು ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಸಮತೋಲನಗೊಳಿಸಲು KY/HEM/CZ/Verneuil ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಆಯ್ಕೆಗಳು.
-
ಸ್ಕೇಲೆಬಲ್ ರೇಖಾಗಣಿತ:ಕಸ್ಟಮ್ ಫ್ಲಾಟ್ಗಳು, ಬೀಜ/ಅಂತ್ಯ ಚಿಕಿತ್ಸೆಗಳು ಮತ್ತು ಉಲ್ಲೇಖ ಸಮತಲಗಳೊಂದಿಗೆ ಸಿಲಿಂಡರಾಕಾರದ, ಕ್ಯಾರೆಟ್-ಆಕಾರದ ಅಥವಾ ಬ್ಲಾಕ್ ಬೌಲ್ಗಳು.
-
ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಬಹುದಾದ ಮತ್ತು ಪುನರಾವರ್ತಿಸಬಹುದಾದ:ಬ್ಯಾಚ್ ದಾಖಲೆಗಳು, ಮಾಪನಶಾಸ್ತ್ರ ವರದಿಗಳು ಮತ್ತು ನಿಮ್ಮ ವಿಶೇಷಣಗಳಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೆಯಾಗುವ ಸ್ವೀಕಾರ ಮಾನದಂಡಗಳು.
ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳು
-
ಕೆವೈ (ಕೈರೊಪೌಲೋಸ್):ದೊಡ್ಡ ವ್ಯಾಸದ, ಕಡಿಮೆ ಒತ್ತಡದ ಬೌಲ್ಗಳು; ಬೈರ್ಫ್ರಿಂಗನ್ಸ್ ಏಕರೂಪತೆಯು ಮುಖ್ಯವಾಗುವ ಎಪಿ-ಗ್ರೇಡ್ ವೇಫರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಆಪ್ಟಿಕ್ಸ್ಗಳಿಗೆ ಅನುಕೂಲಕರವಾಗಿದೆ.
-
HEM (ಶಾಖ-ವಿನಿಮಯಕಾರಿ ವಿಧಾನ):ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ಇಳಿಜಾರುಗಳು ಮತ್ತು ಒತ್ತಡ ನಿಯಂತ್ರಣ; ದಪ್ಪ ದೃಗ್ವಿಜ್ಞಾನ ಮತ್ತು ಪ್ರೀಮಿಯಂ ಎಪಿ ಫೀಡ್ಸ್ಟಾಕ್ಗೆ ಆಕರ್ಷಕವಾಗಿದೆ.
-
CZ (ಝೋಕ್ರಾಲ್ಸ್ಕಿ):ದೃಷ್ಟಿಕೋನ ಮತ್ತು ಪುನರುತ್ಪಾದನೆಯ ಮೇಲೆ ಬಲವಾದ ನಿಯಂತ್ರಣ; ಸ್ಥಿರವಾದ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಇಳುವರಿಯ ಸ್ಲೈಸಿಂಗ್ಗೆ ಉತ್ತಮ ಆಯ್ಕೆ.
-
ವರ್ನ್ಯೂಯಿಲ್ (ಜ್ವಾಲೆ-ಸಮ್ಮಿಳನ):ವೆಚ್ಚ-ಸಮರ್ಥ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಥ್ರೋಪುಟ್; ಸಾಮಾನ್ಯ ದೃಗ್ವಿಜ್ಞಾನ, ಯಾಂತ್ರಿಕ ಭಾಗಗಳು ಮತ್ತು ರತ್ನದ ಪೂರ್ವರೂಪಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
ಸ್ಫಟಿಕ ದೃಷ್ಟಿಕೋನ, ರೇಖಾಗಣಿತ ಮತ್ತು ಗಾತ್ರ
-
ಪ್ರಮಾಣಿತ ದೃಷ್ಟಿಕೋನಗಳು: ಸಿ-ಪ್ಲೇನ್ (0001), ಎ-ಪ್ಲೇನ್ (11-20), ಆರ್-ಪ್ಲೇನ್ (1-102), ಎಂ-ಪ್ಲೇನ್ (10-10); ಕಸ್ಟಮ್ ವಿಮಾನಗಳು ಲಭ್ಯವಿದೆ.
-
ದೃಷ್ಟಿಕೋನ ನಿಖರತೆ:ಲಾವ್/ಎಕ್ಸ್ಆರ್ಡಿಯಿಂದ ≤ ±0.1° (ವಿನಂತಿಯ ಮೇರೆಗೆ ಬಿಗಿಯಾಗಿರುತ್ತದೆ).
-
ಆಕಾರಗಳು:ಸಿಲಿಂಡರಾಕಾರದ ಅಥವಾ ಕ್ಯಾರೆಟ್ ಮಾದರಿಯ ಬೌಲ್ಗಳು, ಚದರ/ಆಯತಾಕಾರದ ಬ್ಲಾಕ್ಗಳು ಮತ್ತು ರಾಡ್ಗಳು.
-
ವಿಶಿಷ್ಟ ಗಾತ್ರದ ಲಕೋಟೆ: Ø30–220 ಮಿ.ಮೀ., ಉದ್ದ 50–400 ಮಿ.ಮೀ.(ದೊಡ್ಡದು/ಚಿಕ್ಕದು ಆರ್ಡರ್ಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ).
-
ಅಂತ್ಯ/ಉಲ್ಲೇಖ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು:ಸೀಡ್/ಎಂಡ್ ಫೇಸ್ ಮ್ಯಾಚಿಂಗ್, ರೆಫರೆನ್ಸ್ ಫ್ಲಾಟ್ಗಳು/ನೋಚ್ಗಳು ಮತ್ತು ಡೌನ್ಸ್ಟ್ರೀಮ್ ಜೋಡಣೆಗಾಗಿ ಫಿಡ್ಯೂಷಿಯಲ್ಗಳು.
ವಸ್ತು ಮತ್ತು ದೃಗ್ವಿಜ್ಞಾನದ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು
-
ಸಂಯೋಜನೆ:ಏಕ-ಸ್ಫಟಿಕ Al₂O₃, ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳ ಶುದ್ಧತೆ ≥ 99.99%.
-
ಸಾಂದ್ರತೆ:~3.98 ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ³
-
ಗಡಸುತನ:ಮೊಹ್ಸ್ 9
-
ವಕ್ರೀಭವನ ಸೂಚ್ಯಂಕ (589 nm): ಎನ್ₒ≈ 1.768,ಎನ್ₑ≈ 1.760 (ಋಣಾತ್ಮಕ ಏಕಾಕ್ಷ; Δn ≈ 0.008)
-
ಪ್ರಸರಣ ವಿಂಡೋ: UV ನಿಂದ ~5 µm ವರೆಗೆ(ದಪ್ಪ- ಮತ್ತು ಕಲ್ಮಶ-ಅವಲಂಬಿತ)
-
ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ (300 ಕೆ):~25 ವಿ·ಮೀ⁻¹·ಕೆ⁻¹
-
CTE (20–300 °C):~5–8 × 10⁻⁶ /K (ದೃಷ್ಟಿಕೋನ-ಅವಲಂಬಿತ)
-
ಯಂಗ್ನ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್:~345 ಜಿಪಿಎ
-
ವಿದ್ಯುತ್:ಹೆಚ್ಚು ನಿರೋಧಕ (ಗಾತ್ರದ ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆಯು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ≥ 10¹⁴ Ω·ಸೆಂ.ಮೀ.)
ಶ್ರೇಣಿಗಳು ಮತ್ತು ಆಯ್ಕೆಗಳು
-
ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ ದರ್ಜೆ:ಹೆಚ್ಚಿನ ಇಳುವರಿ ನೀಡುವ GaN/AlGaN MOCVD ವೇಫರ್ಗಳಿಗೆ (2–8 ಇಂಚು ಮತ್ತು ಅದಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಡೌನ್ಸ್ಟ್ರೀಮ್) ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಲೋ ಬಬಲ್ಗಳು/ಸ್ಟ್ರೈಗಳು ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಒತ್ತಡದ ಬೈರ್ಫ್ರಿಂಗನ್ಸ್.
-
ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಗ್ರೇಡ್:ಕಿಟಕಿಗಳು, ಲೆನ್ಸ್ಗಳು ಮತ್ತು ಐಆರ್ ವ್ಯೂಪೋರ್ಟ್ಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಆಂತರಿಕ ಪ್ರಸರಣ ಮತ್ತು ಏಕರೂಪತೆ.
-
ಸಾಮಾನ್ಯ/ಯಾಂತ್ರಿಕ ದರ್ಜೆ:ಗಡಿಯಾರದ ಸ್ಫಟಿಕಗಳು, ಗುಂಡಿಗಳು, ಉಡುಗೆ ಭಾಗಗಳು ಮತ್ತು ವಸತಿಗಳಿಗಾಗಿ ಬಾಳಿಕೆ ಬರುವ, ವೆಚ್ಚ-ಆಪ್ಟಿಮೈಸ್ ಮಾಡಿದ ಫೀಡ್ಸ್ಟಾಕ್.
-
ಡೋಪಿಂಗ್/ಬಣ್ಣ:
-
ಬಣ್ಣರಹಿತ(ಪ್ರಮಾಣಿತ)
ಕ್ರ: ಅಲ್₂ಒ₃(ಮಾಣಿಕ್ಯ),ಟೈ: ಅಲ್₂ಒ₃(ಟೈ: ನೀಲಮಣಿ) ಪೂರ್ವರೂಪಗಳು
ಇತರ ವರ್ಣತಂತುಗಳು (Fe/Ti) ಕೋರಿಕೆಯ ಮೇರೆಗೆ
-
ಅರ್ಜಿಗಳನ್ನು
ಅರೆವಾಹಕ: GaN LED ಗಳು, ಮೈಕ್ರೋ-LED ಗಳು, ಪವರ್ HEMT ಗಳು, RF ಸಾಧನಗಳು (ನೀಲಮಣಿ ವೇಫರ್ ಫೀಡ್ಸ್ಟಾಕ್) ಗಾಗಿ ತಲಾಧಾರಗಳು.
ದೃಗ್ವಿಜ್ಞಾನ ಮತ್ತು ಫೋಟೊನಿಕ್ಸ್: ಅಧಿಕ-ತಾಪಮಾನ/ಒತ್ತಡದ ಕಿಟಕಿಗಳು, ಐಆರ್ ವ್ಯೂಪೋರ್ಟ್ಗಳು, ಲೇಸರ್ ಕ್ಯಾವಿಟಿ ಕಿಟಕಿಗಳು, ಡಿಟೆಕ್ಟರ್ ಕವರ್ಗಳು.
ಗ್ರಾಹಕ ಮತ್ತು ಧರಿಸಬಹುದಾದ ವಸ್ತುಗಳು: ಗಡಿಯಾರದ ಸ್ಫಟಿಕಗಳು, ಕ್ಯಾಮೆರಾ ಲೆನ್ಸ್ ಕವರ್ಗಳು, ಫಿಂಗರ್ಪ್ರಿಂಟ್ ಸೆನ್ಸರ್ ಕವರ್ಗಳು, ಪ್ರೀಮಿಯಂ ಬಾಹ್ಯ ಭಾಗಗಳು.
ಕೈಗಾರಿಕಾ ಮತ್ತು ಬಾಹ್ಯಾಕಾಶ: ನಳಿಕೆಗಳು, ಕವಾಟದ ಆಸನಗಳು, ಸೀಲ್ ಉಂಗುರಗಳು, ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಕಿಟಕಿಗಳು ಮತ್ತು ವೀಕ್ಷಣಾ ಬಂದರುಗಳು.
ಲೇಸರ್/ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆ: ಡೋಪ್ಡ್ ಬೌಲ್ಗಳಿಂದ Ti: ನೀಲಮಣಿ ಮತ್ತು ಮಾಣಿಕ್ಯ ಅತಿಥೇಯಗಳು.
ಒಂದು ನೋಟದ ಡೇಟಾ (ವಿಶಿಷ್ಟ, ಉಲ್ಲೇಖಕ್ಕಾಗಿ)
| ಪ್ಯಾರಾಮೀಟರ್ | ಮೌಲ್ಯ (ವಿಶಿಷ್ಟ) |
|---|---|
| ಸಂಯೋಜನೆ | ಏಕ-ಸ್ಫಟಿಕ Al₂O₃ (≥ 99.99% ಶುದ್ಧತೆ) |
| ದೃಷ್ಟಿಕೋನ | c / a / r / m (ವಿನಂತಿಯ ಮೇರೆಗೆ ಕಸ್ಟಮ್) |
| ಸೂಚ್ಯಂಕ @ 589 nm | ಎನ್ₒ≈ 1.768,ಎನ್ₑ≈ 1.760 |
| ಪ್ರಸರಣ ಶ್ರೇಣಿ | ~0.2–5 µm (ದಪ್ಪ-ಅವಲಂಬಿತ) |
| ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ | ~25 W·m⁻¹·K⁻¹ (300 ಕಿ.ಮೀ) |
| ಸಿಟಿಇ (20–300 °C) | ~5–8 × 10⁻⁶/ಕೆ |
| ಯಂಗ್ನ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ | ~345 ಜಿಪಿಎ |
| ಸಾಂದ್ರತೆ | ~3.98 ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ³ |
| ಗಡಸುತನ | ಮೊಹ್ಸ್ 9 |
| ವಿದ್ಯುತ್ | ನಿರೋಧಕ; ಪರಿಮಾಣ ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆ ≥ 10¹⁴ Ω·ಸೆಂ.ಮೀ. |
ನೀಲಮಣಿ ವೇಫರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ
-
ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆ
ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ (Al₂O₃) ಅನ್ನು ಕರಗಿಸಿ, ಒಂದೇ ನೀಲಮಣಿ ಸ್ಫಟಿಕದ ಇಂಗೋಟ್ ಆಗಿ ಬೆಳೆಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದನ್ನು ಬಳಸಿಕೈರೋಪೌಲೋಸ್ (ಕೆವೈ) or ಝೋಕ್ರಾಲ್ಸ್ಕಿ (CZ)ವಿಧಾನ. -
ಇಂಗೋಟ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆ
ಇಂಗೋಟ್ ಅನ್ನು ಪ್ರಮಾಣಿತ ಆಕಾರಕ್ಕೆ ಯಂತ್ರದಿಂದ ಸಂಸ್ಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ - ಟ್ರಿಮ್ಮಿಂಗ್, ವ್ಯಾಸದ ಆಕಾರ ಮತ್ತು ಅಂತ್ಯ-ಮುಖ ಸಂಸ್ಕರಣೆ. -
ಸ್ಲೈಸಿಂಗ್
ನೀಲಮಣಿಯ ಇಂಗೋಟ್ ಅನ್ನು ತೆಳುವಾದ ಬಿಲ್ಲೆಗಳಾಗಿ ಕತ್ತರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದನ್ನು ಬಳಸಿವಜ್ರದ ತಂತಿ ಗರಗಸ. -
ಡಬಲ್-ಸೈಡೆಡ್ ಲ್ಯಾಪಿಂಗ್
ಗರಗಸದ ಗುರುತುಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಮತ್ತು ಏಕರೂಪದ ದಪ್ಪವನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ವೇಫರ್ನ ಎರಡೂ ಬದಿಗಳನ್ನು ಲ್ಯಾಪ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. -
ಹದಗೊಳಿಸುವಿಕೆ
ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ಶಾಖ-ಸಂಸ್ಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆಆಂತರಿಕ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಬಿಡುಗಡೆ ಮಾಡಿಮತ್ತು ಸ್ಫಟಿಕದ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಪಾರದರ್ಶಕತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ. -
ಅಂಚುಗಳನ್ನು ರುಬ್ಬುವುದು
ಮುಂದಿನ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಚಿಪ್ಪಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಬಿರುಕು ಬಿಡುವುದನ್ನು ತಡೆಯಲು ವೇಫರ್ ಅಂಚುಗಳನ್ನು ಬೆವೆಲ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. -
ಆರೋಹಿಸುವಾಗ
ನಿಖರವಾದ ಹೊಳಪು ಮತ್ತು ಪರಿಶೀಲನೆಗಾಗಿ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ವಾಹಕಗಳು ಅಥವಾ ಹೋಲ್ಡರ್ಗಳ ಮೇಲೆ ಜೋಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. -
DMP (ಡಬಲ್-ಸೈಡೆಡ್ ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್)
ಮೇಲ್ಮೈ ಮೃದುತ್ವವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಗಳನ್ನು ಯಾಂತ್ರಿಕವಾಗಿ ಹೊಳಪು ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. -
CMP (ರಾಸಾಯನಿಕ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಹೊಳಪು)
ರಾಸಾಯನಿಕ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಒಟ್ಟುಗೂಡಿಸಿ ಒಂದು ಉತ್ತಮ ಹೊಳಪು ನೀಡುವ ಹಂತವನ್ನು ಸೃಷ್ಟಿಸುತ್ತದೆ.ಕನ್ನಡಿ ತರಹದ ಮೇಲ್ಮೈ. -
ದೃಶ್ಯ ತಪಾಸಣೆ
ನಿರ್ವಾಹಕರು ಅಥವಾ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಗೋಚರ ಮೇಲ್ಮೈ ದೋಷಗಳನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸುತ್ತವೆ. -
ಸಮತಲತೆಯ ಪರಿಶೀಲನೆ
ಆಯಾಮದ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಚಪ್ಪಟೆತನ ಮತ್ತು ದಪ್ಪದ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ಅಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ. -
ಆರ್ಸಿಎ ಕ್ಲೀನಿಂಗ್
ಪ್ರಮಾಣಿತ ರಾಸಾಯನಿಕ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯು ಸಾವಯವ, ಲೋಹೀಯ ಮತ್ತು ಕಣಗಳ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತದೆ. -
ಸ್ಕ್ರಬ್ಬರ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ
ಯಾಂತ್ರಿಕ ಸ್ಕ್ರಬ್ಬಿಂಗ್ ಉಳಿದ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಕಣಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತದೆ. -
ಮೇಲ್ಮೈ ದೋಷ ಪರಿಶೀಲನೆ
ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ತಪಾಸಣೆಯು ಗೀರುಗಳು, ಹೊಂಡಗಳು ಅಥವಾ ಮಾಲಿನ್ಯದಂತಹ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ದೋಷಗಳನ್ನು ಪತ್ತೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

-
ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆ
ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ (Al₂O₃) ಅನ್ನು ಕರಗಿಸಿ, ಒಂದೇ ನೀಲಮಣಿ ಸ್ಫಟಿಕದ ಇಂಗೋಟ್ ಆಗಿ ಬೆಳೆಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದನ್ನು ಬಳಸಿಕೈರೋಪೌಲೋಸ್ (ಕೆವೈ) or ಝೋಕ್ರಾಲ್ಸ್ಕಿ (CZ)ವಿಧಾನ. -
ಇಂಗೋಟ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆ
ಇಂಗೋಟ್ ಅನ್ನು ಪ್ರಮಾಣಿತ ಆಕಾರಕ್ಕೆ ಯಂತ್ರದಿಂದ ಸಂಸ್ಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ - ಟ್ರಿಮ್ಮಿಂಗ್, ವ್ಯಾಸದ ಆಕಾರ ಮತ್ತು ಅಂತ್ಯ-ಮುಖ ಸಂಸ್ಕರಣೆ. -
ಸ್ಲೈಸಿಂಗ್
ನೀಲಮಣಿಯ ಇಂಗೋಟ್ ಅನ್ನು ತೆಳುವಾದ ಬಿಲ್ಲೆಗಳಾಗಿ ಕತ್ತರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದನ್ನು ಬಳಸಿವಜ್ರದ ತಂತಿ ಗರಗಸ. -
ಡಬಲ್-ಸೈಡೆಡ್ ಲ್ಯಾಪಿಂಗ್
ಗರಗಸದ ಗುರುತುಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಮತ್ತು ಏಕರೂಪದ ದಪ್ಪವನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ವೇಫರ್ನ ಎರಡೂ ಬದಿಗಳನ್ನು ಲ್ಯಾಪ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. -
ಹದಗೊಳಿಸುವಿಕೆ
ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ಶಾಖ-ಸಂಸ್ಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆಆಂತರಿಕ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಬಿಡುಗಡೆ ಮಾಡಿಮತ್ತು ಸ್ಫಟಿಕದ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಪಾರದರ್ಶಕತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ. -
ಅಂಚುಗಳನ್ನು ರುಬ್ಬುವುದು
ಮುಂದಿನ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಚಿಪ್ಪಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಬಿರುಕು ಬಿಡುವುದನ್ನು ತಡೆಯಲು ವೇಫರ್ ಅಂಚುಗಳನ್ನು ಬೆವೆಲ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. -
ಆರೋಹಿಸುವಾಗ
ನಿಖರವಾದ ಹೊಳಪು ಮತ್ತು ಪರಿಶೀಲನೆಗಾಗಿ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ವಾಹಕಗಳು ಅಥವಾ ಹೋಲ್ಡರ್ಗಳ ಮೇಲೆ ಜೋಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. -
DMP (ಡಬಲ್-ಸೈಡೆಡ್ ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್)
ಮೇಲ್ಮೈ ಮೃದುತ್ವವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಗಳನ್ನು ಯಾಂತ್ರಿಕವಾಗಿ ಹೊಳಪು ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. -
CMP (ರಾಸಾಯನಿಕ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಹೊಳಪು)
ರಾಸಾಯನಿಕ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಒಟ್ಟುಗೂಡಿಸಿ ಒಂದು ಉತ್ತಮ ಹೊಳಪು ನೀಡುವ ಹಂತವನ್ನು ಸೃಷ್ಟಿಸುತ್ತದೆ.ಕನ್ನಡಿ ತರಹದ ಮೇಲ್ಮೈ. -
ದೃಶ್ಯ ತಪಾಸಣೆ
ನಿರ್ವಾಹಕರು ಅಥವಾ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಗೋಚರ ಮೇಲ್ಮೈ ದೋಷಗಳನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸುತ್ತವೆ. -
ಸಮತಲತೆಯ ಪರಿಶೀಲನೆ
ಆಯಾಮದ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಚಪ್ಪಟೆತನ ಮತ್ತು ದಪ್ಪದ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ಅಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ. -
ಆರ್ಸಿಎ ಕ್ಲೀನಿಂಗ್
ಪ್ರಮಾಣಿತ ರಾಸಾಯನಿಕ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯು ಸಾವಯವ, ಲೋಹೀಯ ಮತ್ತು ಕಣಗಳ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತದೆ. -
ಸ್ಕ್ರಬ್ಬರ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ
ಯಾಂತ್ರಿಕ ಸ್ಕ್ರಬ್ಬಿಂಗ್ ಉಳಿದ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಕಣಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತದೆ. -
ಮೇಲ್ಮೈ ದೋಷ ಪರಿಶೀಲನೆ
ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ತಪಾಸಣೆಯು ಗೀರುಗಳು, ಹೊಂಡಗಳು ಅಥವಾ ಮಾಲಿನ್ಯದಂತಹ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ದೋಷಗಳನ್ನು ಪತ್ತೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. 
ನೀಲಮಣಿ ಬೌಲ್ (ಏಕ-ಸ್ಫಟಿಕ Al₂O₃) — FAQ
ಪ್ರಶ್ನೆ ೧: ನೀಲಮಣಿ ಬೌಲ್ ಎಂದರೇನು?
A: ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಆಕ್ಸೈಡ್ (Al₂O₃) ನ ಒಂದು ಬೆಳೆದ ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ. ಇದು ನೀಲಮಣಿ ವೇಫರ್ಗಳು, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಕಿಟಕಿಗಳು ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಡುಗೆ ಘಟಕಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಬಳಸುವ ಅಪ್ಸ್ಟ್ರೀಮ್ "ಇಂಗಾಟ್" ಆಗಿದೆ.
ಪ್ರಶ್ನೆ 2: ಬೌಲ್ ವೇಫರ್ಗಳು ಅಥವಾ ಕಿಟಕಿಗಳಿಗೆ ಹೇಗೆ ಸಂಬಂಧಿಸಿದೆ?
A: ಎಪಿ-ಗ್ರೇಡ್ ವೇಫರ್ಗಳು ಅಥವಾ ಆಪ್ಟಿಕಲ್/ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಭಾಗಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಲು ಬೌಲ್ ಅನ್ನು ಓರಿಯೆಂಟೆಡ್ → ಸ್ಲೈಸ್ಡ್ → ಲ್ಯಾಪ್ಡ್ → ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ. ಮೂಲ ಬೌಲ್ನ ಏಕರೂಪತೆಯು ಕೆಳಮುಖ ಇಳುವರಿಯ ಮೇಲೆ ಬಲವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.
ಪ್ರಶ್ನೆ 3: ಯಾವ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ವಿಧಾನಗಳು ಲಭ್ಯವಿದೆ ಮತ್ತು ಅವು ಹೇಗೆ ಭಿನ್ನವಾಗಿವೆ?
A: KY (ಕೈರೊಪೌಲೋಸ್)ಮತ್ತುಹೆಮ್ದೊಡ್ಡ ಇಳುವರಿ,ಕಡಿಮೆ ಒತ್ತಡಬೌಲ್ಸ್ - ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ ಮತ್ತು ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ ದೃಗ್ವಿಜ್ಞಾನಕ್ಕೆ ಆದ್ಯತೆ.CZ (ಝೋಕ್ರಾಲ್ಸ್ಕಿ)ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಕೊಡುಗೆಗಳುಓರಿಯಂಟೇಶನ್ ನಿಯಂತ್ರಣಮತ್ತು ಬಹಳಷ್ಟು ಸ್ಥಿರತೆ.ವೆರ್ನ್ಯೂಯಿಲ್ (ಜ್ವಾಲೆಯ ಸಮ್ಮಿಳನ) is ವೆಚ್ಚ-ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಸಾಮಾನ್ಯ ದೃಗ್ವಿಜ್ಞಾನ ಮತ್ತು ರತ್ನದ ಪೂರ್ವರೂಪಗಳಿಗಾಗಿ.
ಪ್ರಶ್ನೆ 4: ನೀವು ಯಾವ ದೃಷ್ಟಿಕೋನಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತೀರಿ? ಯಾವ ನಿಖರತೆ ವಿಶಿಷ್ಟವಾಗಿದೆ?
A: ಸಿ-ಪ್ಲೇನ್ (0001), ಎ-ಪ್ಲೇನ್ (11-20), ಆರ್-ಪ್ಲೇನ್ (1-102), ಎಂ-ಪ್ಲೇನ್ (10-10), ಮತ್ತು ಪದ್ಧತಿಗಳು. ದೃಷ್ಟಿಕೋನ ನಿಖರತೆ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ≤ ±0.1°Laue/XRD ನಿಂದ ಪರಿಶೀಲಿಸಲಾಗಿದೆ (ವಿನಂತಿಯ ಮೇರೆಗೆ ಬಿಗಿಯಾಗಿರುತ್ತದೆ).
ಜವಾಬ್ದಾರಿಯುತ ಆಂತರಿಕ ಸ್ಕ್ರ್ಯಾಪ್ ನಿರ್ವಹಣೆಯೊಂದಿಗೆ ಆಪ್ಟಿಕಲ್-ಗ್ರೇಡ್ ಹರಳುಗಳು
ನಮ್ಮ ಎಲ್ಲಾ ನೀಲಮಣಿ ಬೌಲ್ಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆಆಪ್ಟಿಕಲ್ ದರ್ಜೆ, ಬೇಡಿಕೆಯ ದೃಗ್ವಿಜ್ಞಾನ ಮತ್ತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ಗಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಸರಣ, ಬಿಗಿಯಾದ ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಸೇರ್ಪಡೆ/ಗುಳ್ಳೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಳಾಂತರ ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ನಾವು ಬೀಜದಿಂದ ಬೌಲ್ಗೆ ಸ್ಫಟಿಕ ದೃಷ್ಟಿಕೋನ ಮತ್ತು ಬೈರ್ಫ್ರಿಂಗನ್ಸ್ ಅನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸುತ್ತೇವೆ, ರನ್ಗಳಾದ್ಯಂತ ಪೂರ್ಣ ಪ್ರಮಾಣದ ಪತ್ತೆಹಚ್ಚುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯೊಂದಿಗೆ. ಆಯಾಮಗಳು, ದೃಷ್ಟಿಕೋನಗಳು (c-, a-, r-ಪ್ಲೇನ್), ಮತ್ತು ಸಹಿಷ್ಣುತೆಗಳನ್ನು ನಿಮ್ಮ ಡೌನ್ಸ್ಟ್ರೀಮ್ ಸ್ಲೈಸಿಂಗ್/ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ಅಗತ್ಯಗಳಿಗೆ ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಬಹುದು.
ಮುಖ್ಯವಾಗಿ, ನಿರ್ದಿಷ್ಟತೆಯನ್ನು ಪೂರೈಸದ ಯಾವುದೇ ವಸ್ತುವುಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಆಂತರಿಕವಾಗಿ ಸಂಸ್ಕರಿಸಲಾಗಿದೆಮುಚ್ಚಿದ-ಲೂಪ್ ಕೆಲಸದ ಹರಿವಿನ ಮೂಲಕ - ವಿಂಗಡಿಸಿ, ಮರುಬಳಕೆ ಮಾಡಿ ಮತ್ತು ಜವಾಬ್ದಾರಿಯುತವಾಗಿ ವಿಲೇವಾರಿ ಮಾಡಿ - ಆದ್ದರಿಂದ ನೀವು ನಿರ್ವಹಣೆ ಅಥವಾ ಅನುಸರಣೆ ಹೊರೆಗಳಿಲ್ಲದೆ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಪಡೆಯುತ್ತೀರಿ. ಈ ವಿಧಾನವು ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಪ್ರಮುಖ ಸಮಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ನಿಮ್ಮ ಸುಸ್ಥಿರತೆಯ ಗುರಿಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ.
| ಇಂಗೋಟ್ ತೂಕದ ಬ್ಯಾಂಡ್ (ಕೆಜಿ) | 2″ | 4″ | 6″ | 8″ | 12″ | ಟಿಪ್ಪಣಿಗಳು |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 10–30 | ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ | ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ | ಸೀಮಿತ/ಸಾಧ್ಯ | ವಿಶಿಷ್ಟವಲ್ಲ | ಬಳಸಲಾಗಿಲ್ಲ | ಸಣ್ಣ-ಸ್ವರೂಪದ ಸ್ಲೈಸಿಂಗ್; 6" ಬಳಸಬಹುದಾದ ವ್ಯಾಸ/ಉದ್ದವನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿರುತ್ತದೆ. |
| 30–80 | ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ | ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ | ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ | ಸೀಮಿತ/ಸಾಧ್ಯ | ವಿಶಿಷ್ಟವಲ್ಲ | ವಿಶಾಲವಾದ ಉಪಯುಕ್ತತೆ; ಸಾಂದರ್ಭಿಕ 8″ ಪೈಲಟ್ ಲಾಟ್ಗಳು. |
| 80–150 | ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ | ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ | ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ | ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ | ವಿಶಿಷ್ಟವಲ್ಲ | 6–8″ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಉತ್ತಮ ಸಮತೋಲನ. |
| 150–250 | ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ | ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ | ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ | ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ | ಸೀಮಿತ/ಆರ್&ಡಿ | ಬಿಗಿಯಾದ ವಿಶೇಷಣಗಳೊಂದಿಗೆ ಆರಂಭಿಕ 12" ಪ್ರಯೋಗಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ. |
| 250–300 | ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ | ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ | ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ | ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ | ಸೀಮಿತ/ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾಗಿ ನಿರ್ದಿಷ್ಟಪಡಿಸಲಾಗಿದೆ | ಹೆಚ್ಚಿನ-ಸಂಪುಟ 8"; ಆಯ್ದ 12" ರನ್ಗಳು. |
| >300 | ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ | ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ | ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ | ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ | ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ | ಫ್ರಾಂಟಿಯರ್-ಸ್ಕೇಲ್; ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಏಕರೂಪತೆ/ಇಳುವರಿ ನಿಯಂತ್ರಣದೊಂದಿಗೆ 12" ಕಾರ್ಯಸಾಧ್ಯ. |











