AlN-on-NPSS ವೇಫರ್: ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು RF ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗಾಗಿ ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡದ ನೀಲಮಣಿ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಪದರ.
ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು
ಉನ್ನತ-ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ AlN ಲೇಯರ್: ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್ (AlN) ಅದರ ... ಗೆ ಹೆಸರುವಾಸಿಯಾಗಿದೆಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ(~200 W/m·K),ಅಗಲವಾದ ಬ್ಯಾಂಡ್‌ಗ್ಯಾಪ್, ಮತ್ತುಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಗಿತ ವೋಲ್ಟೇಜ್, ಇದು ಸೂಕ್ತ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿ, ಅಧಿಕ ಆವರ್ತನ, ಮತ್ತುಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನಅರ್ಜಿಗಳು.
ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡದ ನೀಲಮಣಿ ತಲಾಧಾರ (NPSS): ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡದ ನೀಲಮಣಿಯು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆವೆಚ್ಚ-ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ, ಯಾಂತ್ರಿಕವಾಗಿ ಬಲಿಷ್ಠಬೇಸ್, ಮೇಲ್ಮೈ ಹೊಳಪು ನೀಡುವ ಸಂಕೀರ್ಣತೆಯಿಲ್ಲದೆ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಗೆ ಸ್ಥಿರವಾದ ಅಡಿಪಾಯವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. NPSS ನ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಸವಾಲಿನ ಪರಿಸರಗಳಿಗೆ ಬಾಳಿಕೆ ಬರುವಂತೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ: AlN-on-NPSS ವೇಫರ್ ತೀವ್ರ ತಾಪಮಾನ ಏರಿಳಿತಗಳನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಬಲ್ಲದು, ಇದು ಬಳಕೆಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆಪವರ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್, ಆಟೋಮೋಟಿವ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು, ಎಲ್ಇಡಿಗಳು, ಮತ್ತುಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳುಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರವಾದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ.
ವಿದ್ಯುತ್ ನಿರೋಧನ: AlN ಅತ್ಯುತ್ತಮ ವಿದ್ಯುತ್ ನಿರೋಧಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದು, ಇದು ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆವಿದ್ಯುತ್ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆಸೇರಿದಂತೆ, ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆಆರ್ಎಫ್ ಸಾಧನಗಳುಮತ್ತುಮೈಕ್ರೋವೇವ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್.
ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಶಾಖ ಪ್ರಸರಣ: ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯೊಂದಿಗೆ, AlN ಪದರವು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಶಾಖದ ಹರಡುವಿಕೆಯನ್ನು ಖಾತ್ರಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ಆವರ್ತನದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುವ ಸಾಧನಗಳ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ದೀರ್ಘಾಯುಷ್ಯವನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು ಅವಶ್ಯಕವಾಗಿದೆ.
ತಾಂತ್ರಿಕ ನಿಯತಾಂಕಗಳು
| ಪ್ಯಾರಾಮೀಟರ್ | ನಿರ್ದಿಷ್ಟತೆ |
| ವೇಫರ್ ವ್ಯಾಸ | 2-ಇಂಚು, 4-ಇಂಚು (ಕಸ್ಟಮ್ ಗಾತ್ರಗಳು ಲಭ್ಯವಿದೆ) |
| ತಲಾಧಾರದ ಪ್ರಕಾರ | ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡದ ನೀಲಮಣಿ ತಲಾಧಾರ (NPSS) |
| AlN ಪದರದ ದಪ್ಪ | 2µm ನಿಂದ 10µm (ಗ್ರಾಹಕೀಯಗೊಳಿಸಬಹುದಾದ) |
| ತಲಾಧಾರದ ದಪ್ಪ | 430µm ± 25µm (2-ಇಂಚಿಗೆ), 500µm ± 25µm (4-ಇಂಚಿಗೆ) |
| ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ | 200 ವಾಟ್/ಮೀ·ಕೆ |
| ವಿದ್ಯುತ್ ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆ | ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರೋಧನ, RF ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ |
| ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ | Ra ≤ 0.5µm (AlN ಪದರಕ್ಕೆ) |
| ವಸ್ತು ಶುದ್ಧತೆ | ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ AlN (99.9%) |
| ಬಣ್ಣ | ಬಿಳಿ/ಬಿಳಿ ಬಣ್ಣವಿಲ್ಲದ (ತಿಳಿ ಬಣ್ಣದ NPSS ತಲಾಧಾರದೊಂದಿಗೆ AlN ಪದರ) |
| ವೇಫರ್ ವಾರ್ಪ್ | < 30µm (ಸಾಮಾನ್ಯ) |
| ಡೋಪಿಂಗ್ ಪ್ರಕಾರ | ಡೋಪ್ ಮಾಡದಿರುವುದು (ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಬಹುದು) |
ಅರ್ಜಿಗಳನ್ನು
ದಿAlN-ಆನ್-NPSS ವೇಫರ್ಹಲವಾರು ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ವಿವಿಧ ರೀತಿಯ ಉನ್ನತ-ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ:
ಹೈ-ಪವರ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್: AlN ಪದರದ ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ ಮತ್ತು ನಿರೋಧಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಇದನ್ನು ಸೂಕ್ತ ವಸ್ತುವನ್ನಾಗಿ ಮಾಡುತ್ತದೆವಿದ್ಯುತ್ ಟ್ರಾನ್ಸಿಸ್ಟರ್‌ಗಳು, ರೆಕ್ಟಿಫೈಯರ್‌ಗಳು, ಮತ್ತುಪವರ್ ಐಸಿಗಳುಬಳಸಲಾಗಿದೆಆಟೋಮೋಟಿವ್, ಕೈಗಾರಿಕಾ, ಮತ್ತುನವೀಕರಿಸಬಹುದಾದ ಇಂಧನವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು.
ರೇಡಿಯೋ-ಫ್ರೀಕ್ವೆನ್ಸಿ (RF) ಘಟಕಗಳು: AlN ನ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ವಿದ್ಯುತ್ ನಿರೋಧಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು, ಅದರ ಕಡಿಮೆ ನಷ್ಟದೊಂದಿಗೆ ಸೇರಿಕೊಂಡು, ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆRF ಟ್ರಾನ್ಸಿಸ್ಟರ್‌ಗಳು, HEMT ಗಳು (ಹೈ-ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್-ಮೊಬಿಲಿಟಿ ಟ್ರಾನ್ಸಿಸ್ಟರ್‌ಗಳು), ಮತ್ತು ಇತರೆಮೈಕ್ರೋವೇವ್ ಘಟಕಗಳುಅದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನಗಳು ಮತ್ತು ವಿದ್ಯುತ್ ಮಟ್ಟಗಳಲ್ಲಿ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ.
ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಸಾಧನಗಳು: AlN-on-NPSS ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಇದರಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆಲೇಸರ್ ಡಯೋಡ್‌ಗಳು, ಎಲ್ಇಡಿಗಳು, ಮತ್ತುಫೋಟೋ ಡಿಟೆಕ್ಟರ್‌ಗಳು, ಅಲ್ಲಿಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಮತ್ತುಯಾಂತ್ರಿಕ ದೃಢತೆವಿಸ್ತೃತ ಜೀವಿತಾವಧಿಯಲ್ಲಿ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು ಅತ್ಯಗತ್ಯ.
ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಸಂವೇದಕಗಳು: ವೇಫರ್‌ನ ತೀವ್ರ ಶಾಖವನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವು ಅದನ್ನು ಸೂಕ್ತವಾಗಿಸುತ್ತದೆತಾಪಮಾನ ಸಂವೇದಕಗಳುಮತ್ತುಪರಿಸರ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಲ್ಲಿಅಂತರಿಕ್ಷಯಾನ, ಆಟೋಮೋಟಿವ್, ಮತ್ತುತೈಲ ಮತ್ತು ಅನಿಲ.
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್: ಬಳಸಲಾಗಿದೆ ಶಾಖ ಹರಡುವವರುಮತ್ತುಉಷ್ಣ ನಿರ್ವಹಣಾ ಪದರಗಳುಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ, ಅರೆವಾಹಕಗಳ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆ ಮತ್ತು ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಖಾತ್ರಿಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಪ್ರಶ್ನೋತ್ತರಗಳು
ಪ್ರಶ್ನೆ: ಸಿಲಿಕಾನ್‌ನಂತಹ ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ವಸ್ತುಗಳಿಗಿಂತ AlN-on-NPSS ವೇಫರ್‌ಗಳ ಮುಖ್ಯ ಪ್ರಯೋಜನವೇನು?
A: ಮುಖ್ಯ ಅನುಕೂಲವೆಂದರೆ AlN ಗಳುಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ, ಇದು ಶಾಖವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಹೊರಹಾಕಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ, ಇದು ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಮತ್ತುಅಧಿಕ ಆವರ್ತನ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳುಅಲ್ಲಿ ಶಾಖ ನಿರ್ವಹಣೆ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ. ಹೆಚ್ಚುವರಿಯಾಗಿ, AlN ಒಂದು ಹೊಂದಿದೆಅಗಲವಾದ ಬ್ಯಾಂಡ್‌ಗ್ಯಾಪ್ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಿದ್ಯುತ್ ನಿರೋಧನ, ಇದನ್ನು ಬಳಕೆಗೆ ಶ್ರೇಷ್ಠವಾಗಿಸುತ್ತದೆRFಮತ್ತುಮೈಕ್ರೋವೇವ್ ಸಾಧನಗಳುಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಸಿಲಿಕಾನ್‌ಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ.
ಪ್ರಶ್ನೆ: NPSS ವೇಫರ್‌ಗಳ ಮೇಲಿನ AlN ಪದರವನ್ನು ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಬಹುದೇ?
A: ಹೌದು, ನಿಮ್ಮ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ನ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಅಗತ್ಯಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು AlN ಪದರವನ್ನು ದಪ್ಪದ ಪರಿಭಾಷೆಯಲ್ಲಿ (2µm ನಿಂದ 10µm ಅಥವಾ ಅದಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನವರೆಗೆ) ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಬಹುದು. ನಾವು ಡೋಪಿಂಗ್ ಪ್ರಕಾರ (N-ಟೈಪ್ ಅಥವಾ P-ಟೈಪ್) ಮತ್ತು ವಿಶೇಷ ಕಾರ್ಯಗಳಿಗಾಗಿ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಲೇಯರ್‌ಗಳ ಪರಿಭಾಷೆಯಲ್ಲಿ ಗ್ರಾಹಕೀಕರಣವನ್ನು ಸಹ ನೀಡುತ್ತೇವೆ.
ಪ್ರಶ್ನೆ: ಆಟೋಮೋಟಿವ್ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಈ ವೇಫರ್‌ನ ವಿಶಿಷ್ಟ ಅನ್ವಯಿಕೆ ಏನು?
A: ಆಟೋಮೋಟಿವ್ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ, AlN-on-NPSS ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆಪವರ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್, ಎಲ್ಇಡಿ ಬೆಳಕಿನ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು, ಮತ್ತುತಾಪಮಾನ ಸಂವೇದಕಗಳುಅವು ಉತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ನಿರ್ವಹಣೆ ಮತ್ತು ವಿದ್ಯುತ್ ನಿರೋಧನವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತವೆ, ಇದು ವಿಭಿನ್ನ ತಾಪಮಾನದ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುವ ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆಯ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಿಗೆ ಅತ್ಯಗತ್ಯ.
ವಿವರವಾದ ರೇಖಾಚಿತ್ರ
