8 ಇಂಚಿನ SiC ಉತ್ಪಾದನಾ ದರ್ಜೆಯ ವೇಫರ್ 4H-N SiC ತಲಾಧಾರ
ಕೆಳಗಿನ ಕೋಷ್ಟಕವು ನಮ್ಮ 8 ಇಂಚಿನ SiC ವೇಫರ್‌ಗಳ ವಿಶೇಷಣಗಳನ್ನು ತೋರಿಸುತ್ತದೆ:
| 8 ಇಂಚಿನ N-ಟೈಪ್ SiC DSP ವಿಶೇಷಣಗಳು | |||||
| ಸಂಖ್ಯೆ | ಐಟಂ | ಘಟಕ | ಉತ್ಪಾದನೆ | ಸಂಶೋಧನೆ | ಡಮ್ಮಿ |
| 1: ನಿಯತಾಂಕಗಳು | |||||
| ೧.೧ | ಪಾಲಿಟೈಪ್ | -- | 4H | 4H | 4H |
| ೧.೨ | ಮೇಲ್ಮೈ ದೃಷ್ಟಿಕೋನ | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: ವಿದ್ಯುತ್ ನಿಯತಾಂಕ | |||||
| ೨.೧ | ಡೋಪಂಟ್ | -- | n-ಟೈಪ್ ಸಾರಜನಕ | n-ಟೈಪ್ ಸಾರಜನಕ | n-ಟೈಪ್ ಸಾರಜನಕ |
| ೨.೨ | ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆ | ಓಂ ·ಸೆಂ | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3: ಯಾಂತ್ರಿಕ ನಿಯತಾಂಕ | |||||
| 3.1 | ವ್ಯಾಸ | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | ದಪ್ಪ | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | ನಾಚ್ ಓರಿಯಂಟೇಶನ್ | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | ನಾಚ್ ಆಳ | mm | 1 ~ 1.5 | 1 ~ 1.5 | 1 ~ 1.5 |
| 3.5 | ಎಲ್‌ಟಿವಿ | μm | ≤5(10ಮಿಮೀ*10ಮಿಮೀ) | ≤5(10ಮಿಮೀ*10ಮಿಮೀ) | ≤10(10ಮಿಮೀ*10ಮಿಮೀ) |
| 3.6 | ಟಿಟಿವಿ | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 ≤15 |
| 3.7. | ಬಿಲ್ಲು | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | ವಾರ್ಪ್ | μm | ≤30 ≤30 | ≤50 ≤50 | ≤70 ≤70 |
| 3.9 | ಎಎಫ್‌ಎಂ | nm | ರಾ≤0.2 | ರಾ≤0.2 | ರಾ≤0.2 |
| 4: ರಚನೆ | |||||
| 4.1 | ಮೈಕ್ರೋಪೈಪ್ ಸಾಂದ್ರತೆ | ಇಎ/ಸೆಂ2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 ≤50 |
| 4.2 | ಲೋಹದ ಅಂಶ | ಪರಮಾಣುಗಳು/ಸೆಂ2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | ಟಿಎಸ್‌ಡಿ | ಇಎ/ಸೆಂ2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | ಬಿಪಿಡಿ | ಇಎ/ಸೆಂ2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | ಟಿಇಡಿ | ಇಎ/ಸೆಂ2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5.ಮುಂಭಾಗದ ಗುಣಮಟ್ಟ | |||||
| 5.1 | ಮುಂಭಾಗ | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ | -- | ಸಿ-ಫೇಸ್ CMP | ಸಿ-ಫೇಸ್ CMP | ಸಿ-ಫೇಸ್ CMP |
| 5.3 | ಕಣ | ಇಎ/ವೇಫರ್ | ≤100(ಗಾತ್ರ≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | ಗೀರು | ಇಎ/ವೇಫರ್ | ≤5, ಒಟ್ಟು ಉದ್ದ ≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | ಅಂಚು ಚಿಪ್ಸ್/ಇಂಡೆಂಟ್‌ಗಳು/ಬಿರುಕುಗಳು/ಕಲೆಗಳು/ಮಾಲಿನ್ಯ | -- | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | NA |
| 5.6 | ಪಾಲಿಟೈಪ್ ಪ್ರದೇಶಗಳು | -- | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ಪ್ರದೇಶ ≤10% | ಪ್ರದೇಶ ≤30% |
| 5.7 | ಮುಂಭಾಗದ ಗುರುತು | -- | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ |
| 6: ಹಿಂದಿನ ಗುಣಮಟ್ಟ | |||||
| 6.1 | ಬ್ಯಾಕ್ ಫಿನಿಶ್ | -- | ಸಿ-ಫೇಸ್ ಎಂಪಿ | ಸಿ-ಫೇಸ್ ಎಂಪಿ | ಸಿ-ಫೇಸ್ ಎಂಪಿ |
| 6.2 | ಗೀರು | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | ಹಿಂಭಾಗದ ದೋಷಗಳ ಅಂಚು ಚಿಪ್ಸ್/ಇಂಡೆಂಟ್‌ಗಳು | -- | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | NA |
| 6.4 | ಬೆನ್ನಿನ ಒರಟುತನ | nm | ರಾ≤5 | ರಾ≤5 | ರಾ≤5 |
| 6.5 | ಹಿಂಭಾಗದ ಗುರುತು | -- | ನಾಚ್ | ನಾಚ್ | ನಾಚ್ |
| 7: ಅಂಚು | |||||
| 7.1 | ಅಂಚು | -- | ಚಾಂಫರ್ | ಚಾಂಫರ್ | ಚಾಂಫರ್ |
| 8: ಪ್ಯಾಕೇಜ್ | |||||
| 8.1 | ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ | -- | ನಿರ್ವಾತದೊಂದಿಗೆ ಎಪಿ-ರೆಡಿ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ | ನಿರ್ವಾತದೊಂದಿಗೆ ಎಪಿ-ರೆಡಿ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ | ನಿರ್ವಾತದೊಂದಿಗೆ ಎಪಿ-ರೆಡಿ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ |
| 8.2 | ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ | -- | ಮಲ್ಟಿ-ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ | ಮಲ್ಟಿ-ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ | ಮಲ್ಟಿ-ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ |
ವಿವರವಾದ ರೇಖಾಚಿತ್ರ
ನಿಮ್ಮ ಸಂದೇಶವನ್ನು ಇಲ್ಲಿ ಬರೆದು ನಮಗೆ ಕಳುಹಿಸಿ.