8 ಇಂಚಿನ SiC ಪ್ರೊಡಕ್ಷನ್ ಗ್ರೇಡ್ ವೇಫರ್ 4H-N SiC ಸಬ್‌ಸ್ಟ್ರೇಟ್

ಸಂಕ್ಷಿಪ್ತ ವಿವರಣೆ:

8-ಇಂಚಿನ SiC ಸಬ್‌ಸ್ಟ್ರೇಟ್‌ಗಳನ್ನು ವಿದ್ಯುತ್ MOSFET ಗಳು (ಮೆಟಲ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಫೀಲ್ಡ್ ಎಫೆಕ್ಟ್ ಟ್ರಾನ್ಸಿಸ್ಟರ್‌ಗಳು), ಸ್ಕಾಟ್ಕಿ ಡಯೋಡ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ಪವರ್ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸಾಧನಗಳಂತಹ ಉನ್ನತ-ಶಕ್ತಿಯ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ನಮಗೆ ಇಮೇಲ್ ಕಳುಹಿಸಿ

ಉತ್ಪನ್ನದ ವಿವರ

ಉತ್ಪನ್ನ ಟ್ಯಾಗ್ಗಳು

ಕೆಳಗಿನ ಕೋಷ್ಟಕವು ನಮ್ಮ 8 ಇಂಚಿನ SiC ವೇಫರ್‌ಗಳ ವಿಶೇಷಣಗಳನ್ನು ತೋರಿಸುತ್ತದೆ:

8 ಇಂಚಿನ N- ಮಾದರಿಯ SiC DSP ವಿಶೇಷಣಗಳು
ಸಂಖ್ಯೆ	ಐಟಂ	ಘಟಕ	ಉತ್ಪಾದನೆ	ಸಂಶೋಧನೆ	ನಕಲಿ
1: ನಿಯತಾಂಕಗಳು
1.1	ಪಾಲಿಟೈಪ್	--	4H	4H	4H
1.2	ಮೇಲ್ಮೈ ದೃಷ್ಟಿಕೋನ	°	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5
2: ವಿದ್ಯುತ್ ನಿಯತಾಂಕ
2.1	ಡೋಪಾಂಟ್	--	ಎನ್-ಟೈಪ್ ನೈಟ್ರೋಜನ್	ಎನ್-ಟೈಪ್ ನೈಟ್ರೋಜನ್	ಎನ್-ಟೈಪ್ ನೈಟ್ರೋಜನ್
2.2	ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆ	ಓಮ್ · ಸೆಂ	0.015~0.025	0.01~0.03	NA
3:ಯಾಂತ್ರಿಕ ನಿಯತಾಂಕ
3.1	ವ್ಯಾಸ	mm	200 ± 0.2	200 ± 0.2	200 ± 0.2
3.2	ದಪ್ಪ	μm	500±25	500±25	500±25
3.3	ನಾಚ್ ದೃಷ್ಟಿಕೋನ	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	ನಾಚ್ ಆಳ	mm	1~1.5	1~1.5	1~1.5
3.5	LTV	μm	≤5(10mm*10mm)	≤5(10mm*10mm)	≤10(10mm*10mm)
3.6	ಟಿಟಿವಿ	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	ಬಿಲ್ಲು	μm	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	ವಾರ್ಪ್	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	ರಾ≤0.2	ರಾ≤0.2	ರಾ≤0.2
4: ರಚನೆ
4.1	ಮೈಕ್ರೊಪೈಪ್ ಸಾಂದ್ರತೆ	ಇಎ/ಸೆಂ2	≤2	≤10	≤50
4.2	ಲೋಹದ ವಿಷಯ	ಪರಮಾಣುಗಳು/ಸೆಂ2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ಇಎ/ಸೆಂ2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ಇಎ/ಸೆಂ2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	ಇಎ/ಸೆಂ2	≤7000	≤10000	NA
5.ಮುಂಭಾಗದ ಗುಣಮಟ್ಟ
5.1	ಮುಂಭಾಗ	--	Si	Si	Si
5.2	ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ	--	ಸಿ-ಫೇಸ್ CMP	ಸಿ-ಫೇಸ್ CMP	ಸಿ-ಫೇಸ್ CMP
5.3	ಕಣ	ಇಎ/ವೇಫರ್	≤100(ಗಾತ್ರ≥0.3μm)	NA	NA
5.4	ಸ್ಕ್ರಾಚ್	ಇಎ/ವೇಫರ್	≤5, ಒಟ್ಟು ಉದ್ದ≤200mm	NA	NA
5.5	ಎಡ್ಜ್ ಚಿಪ್ಸ್/ಇಂಡೆಂಟ್‌ಗಳು/ಬಿರುಕುಗಳು/ಕಲೆಗಳು/ಮಾಲಿನ್ಯ	--	ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ	ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ	NA
5.6	ಪಾಲಿಟೈಪ್ ಪ್ರದೇಶಗಳು	--	ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ	ಪ್ರದೇಶ ≤10%	ಪ್ರದೇಶ ≤30%
5.7	ಮುಂಭಾಗದ ಗುರುತು	--	ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ	ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ	ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ
6: ಹಿಂದಿನ ಗುಣಮಟ್ಟ
6.1	ಹಿಂದಿನ ಮುಕ್ತಾಯ	--	ಸಿ-ಫೇಸ್ ಸಂಸದ	ಸಿ-ಫೇಸ್ ಸಂಸದ	ಸಿ-ಫೇಸ್ ಸಂಸದ
6.2	ಸ್ಕ್ರಾಚ್	mm	NA	NA	NA
6.3	ಹಿಂಭಾಗದ ದೋಷಗಳ ಅಂಚು ಚಿಪ್ಸ್/ಇಂಡೆಂಟ್‌ಗಳು	--	ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ	ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ	NA
6.4	ಬೆನ್ನು ಒರಟುತನ	nm	ರಾ≤5	ರಾ≤5	ರಾ≤5
6.5	ಹಿಂಭಾಗದ ಗುರುತು	--	ನಾಚ್	ನಾಚ್	ನಾಚ್
7:ಅಂಚು
7.1	ಅಂಚು	--	ಚೇಂಫರ್	ಚೇಂಫರ್	ಚೇಂಫರ್
8: ಪ್ಯಾಕೇಜ್
8.1	ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್	--	ನಿರ್ವಾತದೊಂದಿಗೆ ಎಪಿ-ಸಿದ್ಧ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್	ನಿರ್ವಾತದೊಂದಿಗೆ ಎಪಿ-ಸಿದ್ಧ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್	ನಿರ್ವಾತದೊಂದಿಗೆ ಎಪಿ-ಸಿದ್ಧ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್
8.2	ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್	--	ಬಹು-ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್	ಬಹು-ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್	ಬಹು-ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್