ವಾಹಕ ಸಿ-ಪ್ಲೇನ್ DSP TTV ಗಾಗಿ 156mm 159mm 6 ಇಂಚಿನ ನೀಲಮಣಿ ವೇಫರ್
ನಿರ್ದಿಷ್ಟತೆ
ಐಟಂ | 6-ಇಂಚಿನ C-ಪ್ಲೇನ್(0001) ನೀಲಮಣಿ ವೇಫರ್ಸ್ | |
ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಮೆಟೀರಿಯಲ್ಸ್ | 99,999%, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ, ಮೊನೊಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ Al2O3 | |
ಗ್ರೇಡ್ | ಪ್ರಧಾನ, ಎಪಿ-ಸಿದ್ಧ | |
ಮೇಲ್ಮೈ ದೃಷ್ಟಿಕೋನ | ಸಿ-ಪ್ಲೇನ್ (0001) | |
ಸಿ-ಪ್ಲೇನ್ ಆಫ್ ಕೋನ M-ಆಕ್ಸಿಸ್ 0.2 +/- 0.1° ಕಡೆಗೆ | ||
ವ್ಯಾಸ | 100.0 ಮಿಮೀ +/- 0.1 ಮಿಮೀ | |
ದಪ್ಪ | 650 μm +/- 25 μm | |
ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಫ್ಲಾಟ್ ಓರಿಯಂಟೇಶನ್ | ಸಿ-ಪ್ಲೇನ್(00-01) +/- 0.2° | |
ಸಿಂಗಲ್ ಸೈಡ್ ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ | ಮುಂಭಾಗದ ಮೇಲ್ಮೈ | ಎಪಿ-ಪಾಲಿಶ್, Ra <0.2 nm (AFM ನಿಂದ) |
(SSP) | ಹಿಂಭಾಗದ ಮೇಲ್ಮೈ | ಉತ್ತಮ ನೆಲ, Ra = 0.8 μm ನಿಂದ 1.2 μm |
ಡಬಲ್ ಸೈಡ್ ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ | ಮುಂಭಾಗದ ಮೇಲ್ಮೈ | ಎಪಿ-ಪಾಲಿಶ್, Ra <0.2 nm (AFM ನಿಂದ) |
(ಡಿಎಸ್ಪಿ) | ಹಿಂಭಾಗದ ಮೇಲ್ಮೈ | ಎಪಿ-ಪಾಲಿಶ್, Ra <0.2 nm (AFM ನಿಂದ) |
ಟಿಟಿವಿ | < 20 μm | |
ಬಿಲ್ಲು | < 20 μm | |
ವಾರ್ಪ್ | < 20 μm | |
ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ / ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ | ಕ್ಲಾಸ್ 100 ಕ್ಲೀನ್ರೂಮ್ ಕ್ಲೀನಿಂಗ್ ಮತ್ತು ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್, | |
ಒಂದು ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಅಥವಾ ಸಿಂಗಲ್ ಪೀಸ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ನಲ್ಲಿ 25 ತುಣುಕುಗಳು. |
ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು ಆಪ್ಟಿಕ್ಸ್ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಕೆಗಾಗಿ ನೀಲಮಣಿ ಹರಳುಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಕೈಲೋಪೌಲೋಸ್ ವಿಧಾನವನ್ನು (ಕೆವೈ ವಿಧಾನ) ಪ್ರಸ್ತುತ ಚೀನಾದಲ್ಲಿ ಅನೇಕ ಕಂಪನಿಗಳು ಬಳಸುತ್ತವೆ.
ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಅನ್ನು 2100 ಡಿಗ್ರಿ ಸೆಲ್ಸಿಯಸ್ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ನಲ್ಲಿ ಕರಗಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ ಅನ್ನು ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ಅಥವಾ ಮಾಲಿಬ್ಡಿನಮ್ನಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ನಿಖರವಾಗಿ ಆಧಾರಿತ ಬೀಜದ ಸ್ಫಟಿಕವನ್ನು ಕರಗಿದ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾದಲ್ಲಿ ಮುಳುಗಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಬೀಜದ ಸ್ಫಟಿಕವನ್ನು ನಿಧಾನವಾಗಿ ಮೇಲಕ್ಕೆ ಎಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಏಕಕಾಲದಲ್ಲಿ ತಿರುಗಿಸಬಹುದು. ತಾಪಮಾನದ ಗ್ರೇಡಿಯಂಟ್, ಎಳೆಯುವ ದರ ಮತ್ತು ಕೂಲಿಂಗ್ ದರವನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸುವ ಮೂಲಕ, ಕರಗುವಿಕೆಯಿಂದ ದೊಡ್ಡ, ಏಕ-ಸ್ಫಟಿಕ, ಸುಮಾರು ಸಿಲಿಂಡರಾಕಾರದ ಇಂಗು ಉತ್ಪಾದಿಸಬಹುದು.
ಸಿಂಗಲ್ ಸ್ಫಟಿಕ ನೀಲಮಣಿ ಗಟ್ಟಿಗಳನ್ನು ಬೆಳೆದ ನಂತರ, ಅವುಗಳನ್ನು ಸಿಲಿಂಡರಾಕಾರದ ರಾಡ್ಗಳಾಗಿ ಕೊರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ, ನಂತರ ಅವುಗಳನ್ನು ಅಪೇಕ್ಷಿತ ಕಿಟಕಿಯ ದಪ್ಪಕ್ಕೆ ಕತ್ತರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅಂತಿಮವಾಗಿ ಬಯಸಿದ ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯಕ್ಕೆ ಹೊಳಪು ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ.