ವಾಹಕ C-ಪ್ಲೇನ್ DSP TTV ಗಾಗಿ 156mm 159mm 6 ಇಂಚಿನ ನೀಲಮಣಿ ವೇಫರ್
ನಿರ್ದಿಷ್ಟತೆ
ಐಟಂ | 6-ಇಂಚಿನ ಸಿ-ಪ್ಲೇನ್(0001) ನೀಲಮಣಿ ವೇಫರ್ಗಳು | |
ಸ್ಫಟಿಕ ವಸ್ತುಗಳು | 99,999%, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ, ಏಕಸ್ಫಟಿಕೀಯ Al2O3 | |
ಗ್ರೇಡ್ | ಪ್ರೈಮ್, ಎಪಿ-ರೆಡಿ | |
ಮೇಲ್ಮೈ ದೃಷ್ಟಿಕೋನ | ಸಿ-ಪ್ಲೇನ್(0001) | |
M-ಅಕ್ಷ 0.2 +/- 0.1° ಕಡೆಗೆ C-ಸಮತಲದ ಕೋನ ಕಡಿತ | ||
ವ್ಯಾಸ | 100.0 ಮಿಮೀ +/- 0.1 ಮಿಮೀ | |
ದಪ್ಪ | ೬೫೦ μm +/- ೨೫ μm | |
ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಫ್ಲಾಟ್ ಓರಿಯಂಟೇಶನ್ | ಸಿ-ಪ್ಲೇನ್(00-01) +/- 0.2° | |
ಸಿಂಗಲ್ ಸೈಡ್ ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ | ಮುಂಭಾಗದ ಮೇಲ್ಮೈ | ಎಪಿ-ಪಾಲಿಶ್ಡ್, Ra < 0.2 nm (AFM ನಿಂದ) |
(ಎಸ್ಎಸ್ಪಿ) | ಹಿಂಭಾಗದ ಮೇಲ್ಮೈ | ಉತ್ತಮ ನೆಲ, Ra = 0.8 μm ನಿಂದ 1.2 μm |
ಡಬಲ್ ಸೈಡ್ ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ | ಮುಂಭಾಗದ ಮೇಲ್ಮೈ | ಎಪಿ-ಪಾಲಿಶ್ಡ್, Ra < 0.2 nm (AFM ನಿಂದ) |
(ಡಿಎಸ್ಪಿ) | ಹಿಂಭಾಗದ ಮೇಲ್ಮೈ | ಎಪಿ-ಪಾಲಿಶ್ಡ್, Ra < 0.2 nm (AFM ನಿಂದ) |
ಟಿಟಿವಿ | < 20 μm | |
ಬಿಲ್ಲು | < 20 μm | |
ವಾರ್ಪ್ | < 20 μm | |
ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವಿಕೆ / ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ | 100 ನೇ ತರಗತಿಯ ಕ್ಲೀನ್ರೂಮ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್, | |
ಒಂದು ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಅಥವಾ ಒಂದೇ ತುಂಡು ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ನಲ್ಲಿ 25 ತುಣುಕುಗಳು. |
ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು ದೃಗ್ವಿಜ್ಞಾನ ಉದ್ಯಮಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲು ನೀಲಮಣಿ ಹರಳುಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಲು ಚೀನಾದ ಅನೇಕ ಕಂಪನಿಗಳು ಕೈಲೋಪೌಲೋಸ್ ವಿಧಾನವನ್ನು (KY ವಿಧಾನ) ಪ್ರಸ್ತುತ ಬಳಸುತ್ತಿವೆ.
ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಅನ್ನು 2100 ಡಿಗ್ರಿ ಸೆಲ್ಸಿಯಸ್ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ನಲ್ಲಿ ಕರಗಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ ಅನ್ನು ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ಅಥವಾ ಮಾಲಿಬ್ಡಿನಮ್ನಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ನಿಖರವಾಗಿ ಆಧಾರಿತ ಬೀಜ ಸ್ಫಟಿಕವನ್ನು ಕರಗಿದ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾದಲ್ಲಿ ಮುಳುಗಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಬೀಜ ಸ್ಫಟಿಕವನ್ನು ನಿಧಾನವಾಗಿ ಮೇಲಕ್ಕೆ ಎಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಏಕಕಾಲದಲ್ಲಿ ತಿರುಗಿಸಬಹುದು. ತಾಪಮಾನದ ಇಳಿಜಾರು, ಎಳೆಯುವ ದರ ಮತ್ತು ತಂಪಾಗಿಸುವ ದರವನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸುವ ಮೂಲಕ, ಕರಗುವಿಕೆಯಿಂದ ದೊಡ್ಡದಾದ, ಏಕ-ಸ್ಫಟಿಕ, ಬಹುತೇಕ ಸಿಲಿಂಡರಾಕಾರದ ಇಂಗೋಟ್ ಅನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಬಹುದು.
ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ನೀಲಮಣಿ ಗಟ್ಟಿಗಳನ್ನು ಬೆಳೆಸಿದ ನಂತರ, ಅವುಗಳನ್ನು ಸಿಲಿಂಡರಾಕಾರದ ರಾಡ್ಗಳಾಗಿ ಕೊರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ, ನಂತರ ಅವುಗಳನ್ನು ಅಪೇಕ್ಷಿತ ಕಿಟಕಿ ದಪ್ಪಕ್ಕೆ ಕತ್ತರಿಸಿ ಅಂತಿಮವಾಗಿ ಅಪೇಕ್ಷಿತ ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯಕ್ಕೆ ಹೊಳಪು ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ.
ವಿವರವಾದ ರೇಖಾಚಿತ್ರ


