ಸಿಲಿಕಾನ್ ಎಪಿ-ಲೇಯರ್ ವೇಫರ್ ಗ್ಯಾಲಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ವೇಫರ್ನಲ್ಲಿ 150mm 200mm 6inch 8inch GaN
ಉತ್ಪಾದನಾ ವಿಧಾನ
ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಲೋಹದ-ಸಾವಯವ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (MOCVD) ಅಥವಾ ಆಣ್ವಿಕ ಕಿರಣದ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ (MBE) ಯಂತಹ ಸುಧಾರಿತ ತಂತ್ರಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ನೀಲಮಣಿ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ GaN ಪದರಗಳನ್ನು ಬೆಳೆಸುವುದನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಫಟಿಕ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಏಕರೂಪದ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ನಿಯಂತ್ರಿತ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ ಶೇಖರಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಕೈಗೊಳ್ಳಲಾಗುತ್ತದೆ.
6inch GaN-On-Sapphire ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳು: 6-ಇಂಚಿನ ನೀಲಮಣಿ ಸಬ್ಸ್ಟ್ರೇಟ್ ಚಿಪ್ಗಳನ್ನು ಮೈಕ್ರೋವೇವ್ ಸಂವಹನಗಳು, ರಾಡಾರ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು, ವೈರ್ಲೆಸ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ಮತ್ತು ಆಪ್ಟೊಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಕೆಲವು ಸಾಮಾನ್ಯ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳು ಸೇರಿವೆ
1. ಆರ್ಎಫ್ ಪವರ್ ಆಂಪ್ಲಿಫಯರ್
2. ಎಲ್ಇಡಿ ಬೆಳಕಿನ ಉದ್ಯಮ
3. ವೈರ್ಲೆಸ್ ನೆಟ್ವರ್ಕ್ ಸಂವಹನ ಉಪಕರಣಗಳು
4. ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನಗಳು
5. ಆಪ್ಟೊಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನಗಳು
ಉತ್ಪನ್ನದ ವಿಶೇಷಣಗಳು
- ಗಾತ್ರ: ತಲಾಧಾರದ ವ್ಯಾಸವು 6 ಇಂಚುಗಳು (ಸುಮಾರು 150 ಮಿಮೀ).
- ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಮಟ್ಟ: ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಕನ್ನಡಿ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ನುಣ್ಣಗೆ ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ.
- ದಪ್ಪ: ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ GaN ಪದರದ ದಪ್ಪವನ್ನು ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಬಹುದು.
- ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್: ಸಾಗಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಹಾನಿಯಾಗದಂತೆ ತಡೆಯಲು ತಲಾಧಾರವನ್ನು ಆಂಟಿ-ಸ್ಟಾಟಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ಪ್ಯಾಕ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ.
- ಸ್ಥಾನಿಕ ಅಂಚುಗಳು: ತಲಾಧಾರವು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಸ್ಥಾನಿಕ ಅಂಚುಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದು ಅದು ಸಾಧನದ ತಯಾರಿಕೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಜೋಡಣೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ಸುಗಮಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
- ಇತರ ನಿಯತಾಂಕಗಳು: ತೆಳ್ಳಗೆ, ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆ ಮತ್ತು ಡೋಪಿಂಗ್ ಸಾಂದ್ರತೆಯಂತಹ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ಗ್ರಾಹಕರ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಸರಿಹೊಂದಿಸಬಹುದು.
ಅವುಗಳ ಉನ್ನತ ವಸ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಮತ್ತು ವೈವಿಧ್ಯಮಯ ಅನ್ವಯಗಳೊಂದಿಗೆ, 6-ಇಂಚಿನ ನೀಲಮಣಿ ತಲಾಧಾರದ ಬಿಲ್ಲೆಗಳು ವಿವಿಧ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಉನ್ನತ-ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸಾಧನಗಳ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಗೆ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಆಯ್ಕೆಯಾಗಿದೆ.
ತಲಾಧಾರ | 6" 1mm <111> p-ಟೈಪ್ Si | 6" 1mm <111> p-ಟೈಪ್ Si |
ಎಪಿ ದಪ್ಪ ಸರಾಸರಿ | ~5um | ~7um |
ಎಪಿ ಥಿಕ್ ಯುನಿಫ್ | <2% | <2% |
ಬಿಲ್ಲು | +/-45um | +/-45um |
ಕ್ರ್ಯಾಕಿಂಗ್ | <5ಮಿಮೀ | <5ಮಿಮೀ |
ಲಂಬ ಬಿ.ವಿ | >1000V | >1400V |
HEMT ಅಲ್% | 25-35% | 25-35% |
HEMT ದಪ್ಪ ಸರಾಸರಿ | 20-30nm | 20-30nm |
Insitu SiN ಕ್ಯಾಪ್ | 5-60nm | 5-60nm |
2DEG conc. | ~1013cm-2 | ~1013cm-2 |
ಚಲನಶೀಲತೆ | ~ 2000 ಸೆಂ2/Vs (<2%) | ~ 2000 ಸೆಂ2/Vs (<2%) |
ರೂ | <330ohm/sq (<2%) | <330ohm/sq (<2%) |