12 ಇಂಚಿನ ಸಿಕ್ ಸಬ್ಸ್ಟ್ರೇಟ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಪ್ರೈಮ್ ಗ್ರೇಡ್ ವ್ಯಾಸ 300 ಎಂಎಂ ದೊಡ್ಡ ಗಾತ್ರ 4 ಹೆಚ್-ಎನ್ ಹೆಚ್ಚಿನ ವಿದ್ಯುತ್ ಸಾಧನದ ಶಾಖದ ಪ್ರಸರಣಕ್ಕೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ

12 ಇಂಚಿನ ಸಿಕ್ ಸಬ್ಸ್ಟ್ರೇಟ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಪ್ರೈಮ್ ಗ್ರೇಡ್ ವ್ಯಾಸ 300 ಎಂಎಂ ದೊಡ್ಡ ಗಾತ್ರ 4 ಹೆಚ್-ಎನ್ ಹೆಚ್ಚಿನ ವಿದ್ಯುತ್ ಸಾಧನಕ್ಕೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ ಶಾಖ ವಿಘಟನೆ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗೊಳಿಸಿದ ಚಿತ್ರ

ಸಣ್ಣ ವಿವರಣೆ:

12-ಇಂಚಿನ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ತಲಾಧಾರ (ಎಸ್‌ಐಸಿ ತಲಾಧಾರ) ಒಂದು ದೊಡ್ಡ-ಗಾತ್ರದ, ಉನ್ನತ-ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಅರೆವಾಹಕ ವಸ್ತು ತಲಾಧಾರವಾಗಿದ್ದು, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್‌ನ ಒಂದೇ ಸ್ಫಟಿಕದಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (ಎಸ್‌ಐಸಿ) ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾದ ವಿದ್ಯುತ್, ಉಷ್ಣ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ವಿಶಾಲ ಬ್ಯಾಂಡ್ ಗ್ಯಾಪ್ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ, ಇದನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನಗಳ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. 12-ಇಂಚಿನ (300 ಎಂಎಂ) ತಲಾಧಾರವು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಪ್ರಸ್ತುತ ಸುಧಾರಿತ ವಿವರಣೆಯಾಗಿದ್ದು, ಇದು ಉತ್ಪಾದನಾ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ನಮಗೆ ಇಮೇಲ್ ಕಳುಹಿಸಿ

ಉತ್ಪನ್ನದ ವಿವರ

ಉತ್ಪನ್ನ ಟ್ಯಾಗ್‌ಗಳು

ಉತ್ಪನ್ನದ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು

1. ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ: ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್‌ನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯು ಸಿಲಿಕಾನ್‌ಗಿಂತ 3 ಪಟ್ಟು ಹೆಚ್ಚು, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ವಿದ್ಯುತ್ ಸಾಧನದ ಶಾಖದ ಹರಡುವಿಕೆಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.

2. ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಗಿತ ಕ್ಷೇತ್ರದ ಶಕ್ತಿ: ಸ್ಥಗಿತ ಕ್ಷೇತ್ರದ ಶಕ್ತಿ ಸಿಲಿಕಾನ್‌ಗಿಂತ 10 ಪಟ್ಟು ಹೆಚ್ಚಾಗಿದೆ, ಇದು ಅಧಿಕ-ಒತ್ತಡದ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.

3. ವೈಡ್ ಬ್ಯಾಂಡ್‌ಗ್ಯಾಪ್: ಬ್ಯಾಂಡ್‌ಗ್ಯಾಪ್ 3.26 ಇವಿ (4 ಹೆಚ್-ಎಸ್ಐಸಿ), ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.

4. ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನ: MOHS ಗಡಸುತನ 9.2, ವಜ್ರಕ್ಕೆ ಎರಡನೆಯದು, ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿ.

5. ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ಥಿರತೆ: ಬಲವಾದ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಕಠಿಣ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ.

6. ದೊಡ್ಡ ಗಾತ್ರ: 12 ಇಂಚು (300 ಮಿಮೀ) ತಲಾಧಾರ, ಉತ್ಪಾದನಾ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಿ, ಘಟಕ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಿ.

7. ಕಡಿಮೆ ದೋಷ ಸಾಂದ್ರತೆ: ಕಡಿಮೆ ದೋಷ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ.

ಉತ್ಪನ್ನ ಮುಖ್ಯ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ನಿರ್ದೇಶನ

1. ಪವರ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್:

MOSFETS: ಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ವಾಹನಗಳು, ಕೈಗಾರಿಕಾ ಮೋಟಾರ್ ಡ್ರೈವ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ವಿದ್ಯುತ್ ಪರಿವರ್ತಕಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಡಯೋಡ್‌ಗಳು: ಸ್ಕಾಟ್ಕಿ ಡಯೋಡ್‌ಗಳಂತಹ (ಎಸ್‌ಬಿಡಿ), ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ತಿದ್ದುಪಡಿ ಮತ್ತು ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜುಗಳನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

2. ಆರ್ಎಫ್ ಸಾಧನಗಳು:

ಆರ್ಎಫ್ ಪವರ್ ಆಂಪ್ಲಿಫಯರ್: 5 ಜಿ ಸಂವಹನ ಮೂಲ ಕೇಂದ್ರಗಳು ಮತ್ತು ಉಪಗ್ರಹ ಸಂವಹನಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಮೈಕ್ರೊವೇವ್ ಸಾಧನಗಳು: ರಾಡಾರ್ ಮತ್ತು ವೈರ್‌ಲೆಸ್ ಸಂವಹನ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.

3. ಹೊಸ ಶಕ್ತಿ ವಾಹನಗಳು:

ಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಡ್ರೈವ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು: ಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ವಾಹನಗಳಿಗಾಗಿ ಮೋಟಾರ್ ನಿಯಂತ್ರಕಗಳು ಮತ್ತು ಇನ್ವರ್ಟರ್‌ಗಳು.

ಚಾರ್ಜಿಂಗ್ ಪೈಲ್: ವೇಗದ ಚಾರ್ಜಿಂಗ್ ಸಾಧನಗಳಿಗಾಗಿ ಪವರ್ ಮಾಡ್ಯೂಲ್.

4. ಕೈಗಾರಿಕಾ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳು:

ಹೈ ವೋಲ್ಟೇಜ್ ಇನ್ವರ್ಟರ್: ಕೈಗಾರಿಕಾ ಮೋಟಾರ್ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮತ್ತು ಇಂಧನ ನಿರ್ವಹಣೆಗಾಗಿ.

ಸ್ಮಾರ್ಟ್ ಗ್ರಿಡ್: ಎಚ್‌ವಿಡಿಸಿ ಪ್ರಸರಣ ಮತ್ತು ಪವರ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಟ್ರಾನ್ಸ್‌ಫಾರ್ಮರ್‌ಗಳಿಗಾಗಿ.

5. ಏರೋಸ್ಪೇಸ್:

ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್: ಏರೋಸ್ಪೇಸ್ ಉಪಕರಣಗಳ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪರಿಸರಕ್ಕೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.

6. ಸಂಶೋಧನಾ ಕ್ಷೇತ್ರ:

ವೈಡ್ ಬ್ಯಾಂಡ್‌ಗ್ಯಾಪ್ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ರಿಸರ್ಚ್: ಹೊಸ ಅರೆವಾಹಕ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ಸಾಧನಗಳ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಗಾಗಿ.

12-ಇಂಚಿನ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ತಲಾಧಾರವು ಒಂದು ರೀತಿಯ ಉನ್ನತ-ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಅರೆವಾಹಕ ವಸ್ತು ತಲಾಧಾರವಾಗಿದ್ದು, ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಗಿತ ಕ್ಷೇತ್ರದ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ವೈಡ್ ಬ್ಯಾಂಡ್ ಅಂತರದಂತಹ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಇದನ್ನು ಪವರ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್, ರೇಡಿಯೊ ಆವರ್ತನ ಸಾಧನಗಳು, ಹೊಸ ಶಕ್ತಿ ವಾಹನಗಳು, ಕೈಗಾರಿಕಾ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮತ್ತು ಏರೋಸ್ಪೇಸ್‌ನಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಮುಂದಿನ ಪೀಳಿಗೆಯ ದಕ್ಷ ಮತ್ತು ಉನ್ನತ-ಶಕ್ತಿಯ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನಗಳ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯನ್ನು ಉತ್ತೇಜಿಸಲು ಇದು ಒಂದು ಪ್ರಮುಖ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ.

ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ತಲಾಧಾರಗಳು ಪ್ರಸ್ತುತ ಎಆರ್ ಗ್ಲಾಸ್‌ಗಳಂತಹ ಗ್ರಾಹಕ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್‌ನಲ್ಲಿ ಕಡಿಮೆ ನೇರ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದರೆ, ದಕ್ಷ ವಿದ್ಯುತ್ ನಿರ್ವಹಣೆ ಮತ್ತು ಚಿಕಣಿಗೊಳಿಸಿದ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್‌ನಲ್ಲಿ ಅವುಗಳ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವು ಭವಿಷ್ಯದ ಎಆರ್/ವಿಆರ್ ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ಹಗುರವಾದ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜು ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ. ಪ್ರಸ್ತುತ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ತಲಾಧಾರದ ಮುಖ್ಯ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಾದ ಹೊಸ ಇಂಧನ ವಾಹನಗಳು, ಸಂವಹನ ಮೂಲಸೌಕರ್ಯ ಮತ್ತು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಯಾಂತ್ರೀಕೃತಗೊಂಡಲ್ಲಿ ಕೇಂದ್ರೀಕೃತವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ದಿಕ್ಕಿನಲ್ಲಿ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಹೊಂದಲು ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮವನ್ನು ಉತ್ತೇಜಿಸುತ್ತದೆ.

ಸಮಗ್ರ ತಾಂತ್ರಿಕ ಬೆಂಬಲ ಮತ್ತು ಸೇವೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ 12 "ಎಸ್‌ಐಸಿ ತಲಾಧಾರಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ಎಕ್ಸ್‌ಕೆಹೆಚ್ ಬದ್ಧವಾಗಿದೆ, ಅವುಗಳೆಂದರೆ:

1. ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಿದ ಉತ್ಪಾದನೆ: ಗ್ರಾಹಕರ ಪ್ರಕಾರ ವಿಭಿನ್ನ ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆ, ಸ್ಫಟಿಕ ದೃಷ್ಟಿಕೋನ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಚಿಕಿತ್ಸೆಯ ತಲಾಧಾರವನ್ನು ಒದಗಿಸುವ ಅವಶ್ಯಕತೆಯಿದೆ.

2. ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಆಪ್ಟಿಮೈಸೇಶನ್: ಉತ್ಪನ್ನದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಗ್ರಾಹಕರಿಗೆ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆ, ಸಾಧನ ತಯಾರಿಕೆ ಮತ್ತು ಇತರ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ತಾಂತ್ರಿಕ ಬೆಂಬಲವನ್ನು ಒದಗಿಸಿ.

3. ಪರೀಕ್ಷೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಮಾಣೀಕರಣ: ತಲಾಧಾರವು ಉದ್ಯಮದ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ದೋಷ ಪತ್ತೆ ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟದ ಪ್ರಮಾಣೀಕರಣವನ್ನು ಒದಗಿಸಿ.

4.ಆರ್ ಮತ್ತು ಡಿ ಸಹಕಾರ: ತಾಂತ್ರಿಕ ನಾವೀನ್ಯತೆಯನ್ನು ಉತ್ತೇಜಿಸಲು ಗ್ರಾಹಕರೊಂದಿಗೆ ಹೊಸ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ಜಂಟಿಯಾಗಿ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಿ.

ದತ್ತಾಂಶ ಪಟ್ಟಿ

1 2 ಇಂಚಿನ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (ಸಿಕ್) ತಲಾಧಾರದ ವಿವರಣೆ
ದರ್ಜೆ		EROMPD ಉತ್ಪಾದನೆ ದರ್ಜೆಯ (gard ಡ್ ಗ್ರೇಡ್)	ಪ್ರಮಾಣಿತ ಉತ್ಪಾದನೆ ದರ್ಜೆಯ (ಪಿ ಗ್ರೇಡ್)		ಡಮ್ಮಿ ದಾರ್ಡೆ (ಡಿ ಗ್ರೇಡ್)
ವ್ಯಾಸ		3 0 0 ಎಂಎಂ ~ 1305 ಮಿಮೀ
ದಪ್ಪ	4H-n	750μm ± 15 μm	750μm ± 25 μm
	4H-Si	750μm ± 15 μm	750μm ± 25 μm
ವೇಷಭೂಷಣ		ಆಫ್ ಆಕ್ಸಿಸ್: 4 ಹೆಚ್-ಎನ್ ಗೆ <1120> ± 0.5 °, ಅಕ್ಷದ ಮೇಲೆ: <0001> 4 ಹೆಚ್-ಸಿ ಗಾಗಿ ± 0.5 °
ಮೈಕ್ರೋಪೈಪ್ ಸಾಂದ್ರತೆ	4H-n	≤0.4cm-2	≤4cm-2		≤25cm-2
	4H-Si	≤5cm-2	≤10cm-2		≤25cm-2
ನಿರೋಧಕತೆ	4H-n	0.015 ~ 0.024 Ω · cm			0.015 ~ 0.028 Ω · cm
	4H-Si	≥1e10 Ω · cm			≥1e5 Ω · cm
ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಸಮತಟ್ಟಾದ ದೃಷ್ಟಿಕೋನ		{10-10} ± 5.0 °
ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಸಮತಟ್ಟಾದ ಉದ್ದ	4H-n	N/a
	4H-Si	ಕುಡಿದಿರುವಿಕೆ
ಎಡ್ಜ್ ಹೊರಗಿಡುವುದು		3 ಮಿಮೀ
LTV/TTV/BOW/WARP		≤5μm/≤15μm/≤35 μm/≤55 μm			≤5μm/≤15μm/≤35 □ μm/≤55 □ m
ಒರಟುತನ		ಪೋಲಿಷ್ ರಾ ≤1 ಎನ್ಎಂ
		CMP RA≤0.2 nm			Ra≤0.5 nm
ಹೆಚ್ಚಿನ ತೀವ್ರತೆಯ ಬೆಳಕಿನಿಂದ ಅಂಚಿನ ಬಿರುಕುಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ತೀವ್ರತೆಯ ಬೆಳಕಿನಿಂದ ಹೆಕ್ಸ್ ಫಲಕಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ತೀವ್ರತೆಯ ಬೆಳಕಿನಿಂದ ಪಾಲಿಟೈಪ್ ಪ್ರದೇಶಗಳು ದೃಶ್ಯ ಇಂಗಾಲದ ಸೇರ್ಪಡೆಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ತೀವ್ರತೆಯ ಬೆಳಕಿನಿಂದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮೇಲ್ಮೈ ಗೀರುಗಳು		ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ ಸಂಚಿತ ಪ್ರದೇಶ ≤0.05% ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ ಸಂಚಿತ ಪ್ರದೇಶ ≤0.05% ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ			ಸಂಚಿತ ಉದ್ದ ≤ 20 ಮಿಮೀ, ಏಕ ಉದ್ದ ≤2 ಮಿಮೀ ಸಂಚಿತ ಪ್ರದೇಶ ≤0.1% ಸಂಚಿತ ಪ್ರದೇಶ ≤3% ಸಂಚಿತ ಪ್ರದೇಶ ≤3% ಸಂಚಿತ ಉದ್ದ ≤1 × ವೇಫರ್ ವ್ಯಾಸ
ಹೆಚ್ಚಿನ ತೀವ್ರತೆಯ ಬೆಳಕಿನಿಂದ ಎಡ್ಜ್ ಚಿಪ್ಸ್		ಯಾವುದೂ ಅನುಮತಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿಲ್ಲ ≥0.2 ಮಿಮೀ ಅಗಲ ಮತ್ತು ಆಳ			7 ಅನುಮತಿಸಲಾಗಿದೆ, ತಲಾ ≤1 ಮಿಮೀ
(ಟಿಎಸ್ಡಿ) ಥ್ರೆಡ್ಡಿಂಗ್ ಸ್ಕ್ರೂ ಸ್ಥಳಾಂತರಿಸುವುದು		≤500 ಸೆಂ -2		N/a
(ಬಿಪಿಡಿ) ಬೇಸ್ ಪ್ಲೇನ್ ಸ್ಥಳಾಂತರಿಸುವುದು		≤1000 ಸೆಂ -2		N/a
ಹೆಚ್ಚಿನ ತೀವ್ರತೆಯ ಬೆಳಕಿನಿಂದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮೇಲ್ಮೈ ಮಾಲಿನ್ಯ		ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ
ಕವಣೆ		ಮಲ್ಟಿ-ವೈಫರ್ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ಅಥವಾ ಸಿಂಗಲ್ ವೇಫರ್ ಕಂಟೇನರ್
ಟಿಪ್ಪಣಿಗಳು:
1 ದೋಷಗಳ ಮಿತಿಗಳು ಎಡ್ಜ್ ಹೊರಗಿಡುವ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ಹೊರತುಪಡಿಸಿ ಸಂಪೂರ್ಣ ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ಅನ್ವಯಿಸುತ್ತವೆ. 2 ಗೀರುಗಳನ್ನು ಎಸ್‌ಐ ಮುಖದಲ್ಲಿ ಮಾತ್ರ ಪರಿಶೀಲಿಸಬೇಕು. 3 ಸ್ಥಳಾಂತರಿಸುವ ಡೇಟಾ ಕೊಹ್ ಎಚ್ಚಣೆ ಬಿಲ್ಲೆಗಳಿಂದ ಮಾತ್ರ.

12 ಇಂಚಿನ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ತಲಾಧಾರಗಳ ಪ್ರಗತಿಯನ್ನು ದೊಡ್ಡ ಗಾತ್ರ, ಕಡಿಮೆ ದೋಷಗಳು ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಿರತೆಗಳಲ್ಲಿ ಉತ್ತೇಜಿಸಲು ಎಕ್ಸ್‌ಕೆಹೆಚ್ ಸಂಶೋಧನೆ ಮತ್ತು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯಲ್ಲಿ ಹೂಡಿಕೆ ಮಾಡುವುದನ್ನು ಮುಂದುವರಿಸುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಎಕ್ಸ್‌ಕೆಹೆಚ್ ತನ್ನ ಅನ್ವಯಗಳನ್ನು ಉದಯೋನ್ಮುಖ ಪ್ರದೇಶಗಳಾದ ಗ್ರಾಹಕ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ (ಎಆರ್/ವಿಆರ್ ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ವಿದ್ಯುತ್ ಮಾಡ್ಯೂಲ್‌ಗಳಂತಹ) ಮತ್ತು ವಾಗ್ಮಿಮ್ ಖಾತೆ. ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವ ಮೂಲಕ ಮತ್ತು ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುವ ಮೂಲಕ, ಎಕ್ಸ್‌ಕೆಹೆಚ್ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮಕ್ಕೆ ಸಮೃದ್ಧಿಯನ್ನು ತರುತ್ತದೆ.